아이멕, 업계 최초로 극자외선 리소그래피를 사용해 웨이퍼 스케일 고체 나노포어 제작 성공
새로운 기술 혁신으로 확장성과 정밀도를 겸비한 생명 과학 및 의료 분야용 바이오 센서를 생산할 수 있게 되었다 루뱅, 벨기에, 2025년 12월 10일 /PRNewswire/ -- 아이멕(Imec)이 300mm 웨이퍼에 극자외선 (EUV) 리소그래피 기술을 응용하여 업계 최초로 웨이퍼 스케일 고체 나노포어를 제작하는 데 성공했다. 이번 혁신 덕분에 실험 수준에 그쳤던 나노포어 기술을 바이오 센서, 유전체학, 단백질체학 분야에서 확장 방식의 플랫폼으로 활용할 수 있게 되었다. 나노포어는 유전체학 및 단백질체학 분야의 판도를 바꿀 기술로 주목받았지만, 지금까지 고체 나노포어는 미흡한 일관성과 통합 문제 탓에 대량 생산이 불가능했다. 아이멕의 이번 기술 혁신으로 CMOS와 호환되는 고속 바이오 센서 어레이를 양산할 수 있는 길이 열리면서 개인 맞춤 의학, 신속 진단, 분자 데이터 저장 분야의 발전에 탄력이 붙을 것으로 전망된다. 아이멕은 300mm 웨이퍼에 극자외선 리소그래피 기술을 응용해 나노포어 크기가 10nm에 불과하고 웨이퍼 전반에서 뛰어난 균일성을 보이는 웨이퍼 스케일을 제작하는 데 성공했다. 현재의 제작 공정을 더 개선하면 나노포어 크기가 5nm 이하인 웨이퍼 스케일도 제작할 수 있을 것으로 기대된다. 전기 신호와 생체 분자 이동 특성을 분석한 결과, 신호 대 잡음비가 6.2에 달하는 것으로 확인되었다. 아셰시 레이 초두리(Ashesh Ray Chaudhuri) 아이멕 대표 저자 겸 연구개발 프로젝트 관리자는 "이처럼 획기적인 성과를 거둔 비결은 아이멕의 독보적인 기술력에 있다. 메모리 및 로직 분야의 전유물로 여겨지던 극자외선 리소그래피 기술을 이제 생명 과학 분야에도 활용할 수 있게 되었다. 아이멕은 리소그래피 인프라를 활용하여 분자 감지에 필요한 정밀도를 갖춘 고체 나노포어를 양산할 수 있다는 사실을 입증했다. 이번 성과로 의료 등의 분야에 사용하기 적합한 고속 바이오 센서 어레이를 생산할 수 있는 길이 열렸다"라고 강조했다. 아이멕(Imec) 소개아이멕은 첨단 반도체 기술 분야를 선도하는 연구 및 혁신 센터 구실을 하고 있다. 아이멕은 최신 연구개발 인프라와 6500명이 넘는 직원의 전문성을 활용하여 반도체 및 시스템 최적화, 인공지능, 실리콘 포토닉스, 통신, 감지 기술 분야의 혁신을 주도하고 있다. 아이멕의 선도적인 연구 결과는 컴퓨팅, 의료, 자동차, 에너지, 엔터테인먼트, 공업, 농식품, 보안 등 다양한 산업 분야의 혁신을 촉진하는 자양분 구실을 한다. 아이멕은 IC-링크(IC-Link) 서비스를 통해 고객사가 초기 아이디어 구상부터 대규모 제조에 이르기까지 모든 칩 개발 과정을 원활하게 진행하도록 돕고 있다. 아이멕은 반도체 가치 사슬에 속한 유수의 글로벌 기업뿐만 아니라, 플랑드르 지역 및 전 세계의 기술 회사, 스타트업, 학계, 연구 기관과도 협력 관계를 맺고 있다. 아이멕은 벨기에 루뱅에 본사를, 벨기에, 유럽, 미국에 연구 시설을, 3개 대륙에 지사를 두고, 2024년에 10억 3400만 유로의 매출을 기록했다. 자세한 내용은 www.imec-int.com에서 확인할 수 있다. 보도자료 전문: https://www.imec-int.com/en/press/imec-demonstrates-first-wafer-scale-fabrication-solid-state-nanopores-using-euv-lithography
