자이스, 용인에 첫 반도체 센터…韓고객과 패키징 협력 강화

글로벌 광학 기업 자이스가 국내 주요 반도체 기업과 협력을 강화한다. 반도체 수율 향상을 위한 포토마스크·패키징 장비를 용인에 도입해, 고객사 평가 및 검증을 앞당긴다는 전략이다. 자이스코리아는 10일 서울 웨스틴 조선에서 미디어간담회를 열고 국내 반도체 사업 강화 전략을 밝혔다. 자이스코리아는 지난 9일 용인에 자사 반도체 사업부의 첫 글로벌 '자이스 반도체 이노베이션 센터(ZSKIC)'를 개소한 바 있다. 총 350제곱미터(㎡) 규모 ZSKIC는 최신 포토마스크 솔루션과 고정밀 계측 및 검사 솔루션 등을 고객사가 직접 체험할 수 있는 시설이다. 이를 통해 고객 양산 환경에 맞춘 솔루션 개발 및 검증을 신속하게 지원할 수 있다는 게 회사 설명이다. 이번 센터는 고대역폭메모리(HBM), 하이브리드 본딩 등 최첨단 패키징 기술 개발 협력에 초점을 맞출 예정이다. 미하엘 헨첼 자이스 SMT 첨단패키징사업부 부서장은 "이노베이션 센터 내 장비로 인공지능(AI) 슈퍼사이클의 큰 원동력 중 하나인 패키징 개발 속도를 높이겠다"고 말했다. ZSKIC에는 자이스의 'NLX-100' 및 'DUNE 100' 장비를 도입했다. NLX-100은 3D 엑스레이 계측·검사 솔루션이다. 복잡한 패키지 구조에 대한 고해상도 진단 및 데이터를 제공한다. DUNE 100은 반도체 웨이퍼 형상을 측정하고 교청하는 솔루션이다. 화학 물질 없이도 반도체 제조 공정에서 발생하는 휨(워피지) 현상과 특정 영역 왜곡을 교정할 수 있다. 매튜 M 윌슨 자이스코리아 반도체사업부장은 "자이스는 전 세계 최고의 광학 기술을 가지고 있고, 이를 고객들이 최대한 빠르게 자사 솔루션에 활용하도록 돕겠다"며 "향후에도 차세대 포토마스크 수리 장비를 도입하는 등 5개년 계획을 가지고 센터 운영을 확대하겠다"고 말했다. 자이스는 지난 1986년 설립된 독일 광학 기업이다. 반도체, 의료, 소비재 등 여러 산업 분야에서 광학 솔루션을 공급해 왔다. 반도체 산업의 경우, 최첨단 공정 기술인 극자외선(EUV) 노광장비용 광학 렌즈에서 독보적 입지를 확보했다.