TEL코리아, 화성에 '반도체 제조 R&D 센터' 운영 시작

반도체 장비 업체 도쿄일렉트론코리아(TEL Korea)가 반도체 제조 공정 R&D 센터 'TEL 테크놀로지 센터 코리아-2(TEL Technology Center Korea-2) 운영을 시작한다. 이 곳은 한국에서의 3번째 R&D 센터다. 도쿄일렉트론코리아는 17일 오전 정명근 화성시장과 가와이 토시키 도쿄일렉트론(TEL) CEO, 관계 기업인 등 200여명이 참석한 가운데 'TEL 테크놀로지 센터 코리아-2' 준공식을 개최했다. 기존 TEL의 화성사무소 옆에 위치한 'TEL 테크놀로지 센터 코리아-2'는 연면적 약 3만9200㎡ 규모로 각종 시설과 장비를 갖추고 반도체 제조에 필요한 첨단 기술을 연구∙개발하게 된다. TEL은 국내 주요 고객에게 속도감을 가지고 요구에 응하기 위해 글로벌 곳곳에 연구개발 거점을 마련하고 있다. 고객과 정보 공유 및 피드백 활성화를 통해 고객사 공정 개발 기간의 단축을 돕고, 개발평가 설비의 조기 양산 안정화에 공헌한다는 취지다. TEL 테크놀로지 센터 코리아-2' 또한 맞춤형 연구개발이 필요한 부분에서 고객의 웨이퍼(Wafer)를 가져와 가공하고(Send Fab) 공정 기술을 개발하는 중요한 역할을 담당할 예정이다. 또한 기존 단위 공정의 평가에서 벗어나 식각, 증착, 세정 등 여러 공정의 모듈화 개발을 추진하고, 개선이 필요한 부품에 대한 평가 작업도 진행한다. 나아가 고객사와 대학이 함께 참여하는 3자 협력 연구 방안도 추진 예정이다. TEL코리아는 "앞으로 1차 반입한 설비들의 설치를 최대한 신속히 완료해 고객사의 개발 평가를 지원하고, 고객과 지속적인 협업을 통해 연구개발 설비의 확충도 진행하겠다"고 말했다. 원제형 TEL코리아 대표이사는 "우리가 아무리 좋은 장치를 만들어도 고객의 생산 프로세스에 맞지 않으면 의미가 없다"며 "고객과의 근접 거리에서 고객의 요구와 설비의 기능을 합치시켜, 신속하고 우수한 기술 개발 및 서비스 지원으로 반도체 산업의 기반 기술을 강화하겠다. 그런 의미에서 한국의 R&D 거점은 높은 가치를 갖고 있다"고 밝혔다.