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산업부, 日 첨단산업 소부장 기업과 한국 투자협력 기회 모색

산업통상부와 KOTRA(대표 강경성)는 17일 일본 도쿄 오쿠라 호텔에서 일본 첨단산업 소부장 기업의 국내 투자유치를 위한 '한-일 투자 설명회'를 개최했다. 이날 투자설명회에는 도쿄일렉트론(TEL)·미쓰이케미칼·도쿄오카공업회사(TOK) 등 일본 첨단기업인 약 150여 명이 참여해 한국 첨단산업 동향과 한국 외국인투자 환경, 첨단산업 분야 한국-일본 기술협력 방안 및 성공 사례 등을 공유하고 투자 협력 방안을 논의했다. 일본 글로벌 반도체 장비 기업인 TEL은 한국 투자 성공 사례를 발표해 일본 기업인들의 관심을 끌었다. TEL은 2006년 한국에 진출한 이후, 반도체장비 공급과 연구개발에 주력하며 우리나라 주요 반도체 앵커기업들과 긴밀히 협력해 왔다. 유법민 투자정책관은 “일본의 소부장 기술력과 한국의 첨단 제조 역량을 결합해 협력한다면 글로벌 공급망 안정과 첨단산업 혁신을 동시에 이룰 수 있다”며 “공급망 안정과 기술력 제고, 일자리 창출에 기여하는 외국인투자 유치를 위해 현금지원 등 인센티브 제도를 더욱 강화하고, 투자에 걸림돌이 되는 규제를 해소하는 등 한국을 세계에서 가장 기업하기 좋은 국가로 만들기 위해 노력하겠다”고 밝혔다.

2025.10.17 15:32주문정 기자

TSMC, 2나노 기술 유출 의혹 직원 해고

전 세계 파운드리(반도체 위탁생산) 1위 대만 TSMC가 내부 모니터링을 통해 2nm(나노미터, 10억분의 1m)급 다음세대 공정 기술 영업비밀 유출 정황을 포착하고 관련 직원들을 즉시 해고했다. 10일 닛케이아시아 등 외신을 종합하면 수사기관인 타이완 고등검찰청 지적재산권부는 국가안보법을 적용, 해당 직원들을 체포하고 주거지 및 관련 장소에 대한 전격 압수수색을 단행했다. 이번 사건은 2022년 개정된 국가안보법이 경제 스파이 행위를 수사한 첫 사례로 꼽힌다. 특히, 일본의 반도체 장비업체 도쿄일렉트론도 이번 사건과 관련된 직원 1명을 대만 법인에서 해고한 것으로 전해졌다. 수사 과정에서 도쿄일렉트론의 대만 사무실도 압수수색을 받은 것으로 파악되고 있다. 또한 일부 유출자로 지목된 직원들이 일본 신생 파운드리 라피더스에 수백 장의 공정 통합 기술 사진을 전달한 정황도 포착됐다. 다만, 라피더스 측이 해당 행위를 사전에 지시했는지는 아직 확인되지 않았다. TSMC는 “영업비밀 보호에 대한 무관용 원칙을 적용하며, 향후 내부 감시관리 체계를 더욱 강화할 계획”이라고 강조했다.

2025.08.10 06:27전화평 기자

위로 쌓는 3D 반도체 시대 도래...핵심은 '극저온 식각'

지난날 반도체는 수평으로 배치됐다. 현재 상보형 금속 산화 반도체(CMOS) 공정 기반 칩이 단층의 수평 평면에 트랜지스터를 배치하는 데 최적화됐기 때문이다. 또, 전류가 흐를 때도 수평 배치된 금속 배선이 더 짧고 균일하게 설계 가능하다는 점도 반도체가 수평 배치되던 이유다. 그러나 오늘날 수평 배치는 집적도의 한계에 부딪혔다. 동일한 평면 위에 넣을 수 있는 트랜지스터 수에 물리적 제한이 걸린 탓이다. 3D 반도체, 평면의 끝에서 시작된 입체 전쟁 이에 반도체 업계에서 주목하는 기술이 3D 반도체다. 3D 반도체는 칩을 쌓아올린 기술이다. 기존 평면(2D) 반도체보다 집적도와 성능이 향상되면서도 전력 효율이 좋다. 3D 기술은 D램, 낸드플래시, SoC(시스템 온 칩) 등 다양한 반도체에 적용될 전망이다. 국내외 기업의 경우 제조업체를 중심으로 3D 반도체 개발에 한창이다. 삼성전자는 로직(시스템 반도체), 메모리, 패키징 전 영역에서 3D 반도체를 구현하려는 유일한 기업이다. 특히 3나노 이하 로직 반도체에 세계 최초로 적용한 GAA(게이트 올 어라운드) 기술에 3D 구조를 적용한다. GAA는 트랜지스터 핵심 구성요소인 채널 4개면을 게이트가 둘러싼 형태로, 기존 3개면이 접합된 핀펫(FinFET) 대비 고성능·저전력 반도체를 쉽게 구현할 수 있다. 삼성전자가 현재 연구 중인 3D GAA 구조는 '3DSFET'으로 불리며, 3D 적층과 GAA를 결합하고 있다. SK하이닉스의 경우 최근 실적을 견인하고 있는 HBM(고대역폭 메모리)이 D램 다이를 적층하고 TSV(실리콘 관통전극)로 연결한 3D 메모리다. 시장 1위인 HBM 기술력을 앞세워 단순 D램, 낸드 등 메모리 제조에서 벗어나, AI·고성능 연산에 적합한 프리미엄 메모리 중심의 기술 리더십 확보에 집중하고 있다. TSMC는 세계 1위 파운드리 기업답게, 3D 패키징과 칩렛 아키텍처에서 독보적인 경쟁력을 보여주고 있다. SoIC(system on Integrated Chips)이 TSMC의 대표적인 수직 적층 3D 기술이다. SoIC는 다양한 기능의 칩을 수직 방향으로 연결해 성능을 높이고 전력 손실을 줄이는 기술로 애플, AMD, 브로드컴 등 글로벌 기업들이 SoIC 기술을 활용하고 있다. 아울러 TSMC는 공정 미세화와 3D 패키징 결합을 통해 파운드리 경쟁력을 유지하며, 고부가가치 설계 기업들과의 파트너십을 적극 강화 중이다. 3D 반도체 핵심 기술 '극저온 식각' 이를 위해 필요한 기술이 바로 '극저온 식각' 기술이다. 식각은 반도체 웨이퍼 표면을 원하는 패턴대로 깎아내는 공정으로, 극저온 식각은 영하 60~70°C 환경에서 식각을 진행한다. 기존 식각 대비 30~40°C 가량이 더 낮은 환경에서 식각을 진행하는 것이다. 이처럼 낮은 온도에서 극저온 식각을 진행하는 이유는 정밀한 식각이 가능하기 때문이다. 해당 기술이 적용될 때 플라즈마는 실리콘 표면을 화학적으로 반응해 깎아낸다. 이후 산소가 산화막을 형성해, 저온 상태에서 고체 보호막으로 표면에 남는다. 이 보호막이 식각 방향성을 제어하며 옆면이 깎이지 않도록 보호하는 것이다. 보호막은 식각 후 온도를 올리거나 플라즈마로 제거한다. 반도체 장비 업계 관계자는 “극저온 식각은 반도체에서 금속간 연결을 담당하는 비아(Via)를 더 일정하고 깊게 팔 수 있도록 돕는다”며 “3D 기술 상용화를 위한 필수 기술”이라고 강조했다. 한편 삼성전자 등 제조사는 램리서치와 도쿄일렉트론(TEL)의 극저온 식각 장비를 테스트하고 있다.

2025.07.14 16:12전화평 기자

TEL코리아, 초등학생을 위한 '제4회 드림업 반도체 캠프' 실시

글로벌 반도체 장비 기업 도쿄일렉트론코리아(TEL코리아)는 지난 5일 경기도 용인시 단국대 죽전캠퍼스에서 '제4회 도쿄일렉트론코리아와 함께하는 드림업 반도체 캠프'(드림업 반도체 캠프)를 실시했다고 7일 밝혔다. 드림업 반도체 캠프는 TEL코리아가 운영하는 초등학생 대상 반도체 체험 교육 프로그램으로, 반도체의 기초 개념부터 공정 실습까지 폭넓은 경험을 제공해 큰 호응을 얻었다. 초등학교 5‧6학년생 40명이 참가했으며, 현직 전문가의 강의와 미래 진로 탐색 기회를 제공했다. TEL코리아 사원들은 올해도 직접 강사로 교육을 담당했다. 사내 모집으로 선정된 강사들은 강의 자료를 미리 제작하는 한편, 현직자의 노하우를 바탕으로 반도체의 기본 개념과 작동 원리, 제조 과정을 초등학생들도 쉽고 재미있게 이해할 수 있도록 준비했다. 흥미진진한 이론 교육에 이은 생생한 실습 이날 교육은 반도체의 기본 개념과 작동 원리, 반도체의 역사, 반도체 칩이 만들어지는 과정에 대한 기초 이론 설명으로 시작됐다. 이어서 러닝 팩토리(Learning Factory)로 이동한 참가자들은 반도체 제조 공정을 실습했다. 방진복, 방진화, 마스크 등을 착용하고 불순물 제거를 위한 에어샤워를 통과하는 등 실제 엔지니어와 동일한 과정을 체험한 참가자들은 이어서 포토, 세정, 식각 등 실제 반도체 공정을 직접 관찰했다. 또 현미경을 이용해 공정에서 만들어진 반도체의 미세 패턴을 확인하고, 클린룸 환경에서의 제조 과정까지 경험하는 시간을 가졌다. AR 콘텐츠 및 유튜버 특강, 레고 조립 등으로 과학에 대한 흥미 자극 체험을 마친 학생들은 과학 커뮤니케이터이자 유튜버인 '엑소쌤'(이선호)이 진행하는 원소와 주기율표 소개, 반도체 이야기 수업에 참석했다. TEL코리아가 자체 제작한 증강현실(AR) 원소주기율표도 자료로 활용해, 학생들은 AR앱을 통해 주기율표를 학습하고 퀴즈를 풀며 과학적 사고력을 키웠다. 참가자들은 이어서 도쿄일렉트론(TEL) 식각 장비인 'Tactras'의 블록 모형을 조립해보는 시간을 가졌다. 첨단 반도체 장비를 아이들의 눈높이에 맞춰 놀이처럼 풀어낸 이 체험은 자연스럽게 장비 구조와 작동 원리에 대한 이해를 도왔다. 실제 참가 학생들은 “방진복을 입고 직접 웨이퍼를 만지고 세척해 보는 과정과 Tactras 조립 등 전체 프로그램을 통해 반도체가 더 친숙하게 느껴졌다”며 “직접 만지고 만들어보니 어렵게만 느껴졌던 내용이 더 잘 이해됐다”고 소감을 밝혔다. TEL코리아 관계자는 “학생들의 적극적인 참여로 인해 하루 동안 공정 체험을 비롯한 밀도 높은 교육을 진행할 수 있었다”며 “이번 캠프가 학생들이 미래 반도체 인재로 성장할 수 있는 출발점이 되길 바란다”고 말했다. 한편 이번 캠프는 TEL코리아의 사회공헌활동 'TEL FOR GOOD'의 일환으로, '기술과 혁신'및 '지역사회와의 공동가치 창조'라는 목표를 실천하기 위해 운영됐다. TEL코리아는 앞으로도 청소년 과학 교육과 반도체 저변 확대를 위한 CSR 활동을 지속해 나갈 예정이다.

2025.07.07 10:35전화평 기자

TEL코리아, 사내 E-스포츠 대회 '2025 텔드컵' 개최

반도체 제조장비 업체 도쿄일렉트론(TEL)코리아는 1일 사내 E-스포츠 대회인 '2025 TELDCUP'(이하 '텔드컵') 결승전을 도쿄일렉트론코리아 화성사무소에서 개최했다고 2일 밝혔다. 이번 행사는 젊은 사원들이 즐기는 E-스포츠를 통해 사원과 경영진과의 커뮤니케이션을 늘리고, 사원 소속감 및 참여의식 향상을 목적으로 진행됐다. 텔드컵 예선은 5월 21일부터 6월 17일까지 진행됐고, 총 110여개팀 약 400여명의 사원이 참여했다. 리그 오브 레전드, 카트라이더 러쉬플러스, 피파 온라인 4, 스타크래프트 리마스터 등 4개 종목에서 예선전을 뚫고 올라온 각 2팀씩이 결승전에 진출해 경기를 진행했다. 실시간 예선 상황과 다음 대진표를 확인할 수 있는 특설 사이트를 개설, 운영하고, 사내 인트라넷과 공식 SNS 채널 등을 통한 홍보도 함께 진행했다. 또한 티저 영상과 메인 홍보 영상을 제작해 공개하고, 화성사무소 외에 동탄, 발안, 평택, 이천, 청주, 파주, 천안 등 타 사무소 사원들을 위해 유튜브 온라인 스트리밍 서비스를 제공하는 한편, 보다 많은 사원들이 즐길 수 있는 편의와 행사의 분위기 조성을 위해서 타 지역을 오가는 사내 버스도 추가 운영했다. 텔드컵에 대한 사원들의 참여도와 흥미를 높이기 위한 다양한 이벤트도 진행됐다. 회장, 사장과 함께 하는 캐치마인드(그림 그리기) 이벤트와 TEL 본사 임원과의 오목 대결 이벤트를 통해 사원들은 행사에 참여하는 동안 색다른 즐거움을 맛볼 수 있었다. 이번 텔드컵은 스타크래프트 중계로 유명한 전용준 캐스터와 전 리그 오브 레전드 프로게이머인 이현우 해설, 그리고 E-스포츠 진행 경험이 풍부한 윤수빈 아나운서가 함께 진행을 담당해서 치열했던 결승전 현장 모습을 생생히 전달했다. 이번 현장 중계는 2년 전 제1회 텔드컵 때보다 더 커진 결승전 현장에 모인 사원들의 참여 열기를 고스란히 전달해 한층 몰입도를 높였다. 행사에 참여한 한 사원은 “업무에 지친 일상 속에서 팀원들과 웃고 경쟁하며 하나되는 경험을 선사해 준 이번 행사는 회사에서 사원들을 얼마나 생각하는지 느낄 수 있는 소중한 시간이었다”고 소감을 밝혔다. 도쿄일렉트론코리아는 이번 전체 우승 상금과 동일한 금액을 산불로 인해 사라진 숲의 복원을 위해 사단법인 '생명의 숲'에 연계 기부할 방침이다. 도쿄일렉트론의 사회공헌활동 'TEL FOR GOOD' 활동 중 '지구 환경의 보전'과도 연관된 활동이다. 도쿄일렉트론코리아는 앞으로도 사원들의 활발한 소통을 도모하는 한편, 소속감 증진을 위한 다양한 활동을 전개해 갈 예정이다.

2025.07.02 17:06장경윤 기자

삼성전자, 차세대 'V10 낸드' 양산 투자 고심…내년 상반기로 늦출 듯

삼성전자가 차세대 낸드인 V10(10세대) 양산 전략을 두고 고심하고 있다. 올 하반기까지 공급망 구성을 위한 평가가 진행될 예정으로, 당초 예상보다 늦은 내년 상반기에나 본격적인 양산 투자가 가능할 전망이다. 고적층 낸드 수요의 불확실성, 신기술 도입 및 비용에 대한 부담감이 발목을 잡는 것으로 풀이된다. 13일 업계에 따르면 삼성전자는 V10 낸드용 양산 설비투자를 내년 상반기로 미루는 방안을 논의 중이다. 삼성전자의 V10 낸드는 셀(Cell; 데이터를 저장하는 최소 단위)을 430단대로 쌓은 차세대 제품이다. 현재 상용화된 가장 최신 세대인 V9(290단대 추정) 대비 100단 이상 높다. 업계는 삼성전자가 이르면 올 하반기 V10 낸드에 대한 양산 투자를 진행할 것으로 전망해 왔다. 다만 삼성전자는 이달까지 식각 등 낸드용 핵심 장비에 대한 공급망을 확정짓지 못했다. 고적층 낸드에 대한 수요 불확실하고, 신규 공정 도입에 따른 비용 효율성 문제가 투자의 발목을 잡고 있어서다. 식각이란 웨이퍼 상에서 불필요한 물질을 제거하는 공정이다. 기존에는 채널 홀(구멍)을 깊게 뚫기 위해 -20~-30°C 수준의 저온 환경이 필요했으나, V10 낸드에 들어서는 -60~-70°C 수준의 극저온 환경이 구축될 것으로 예상돼 왔다. 온도가 낮을수록 화학적 반응성이 낮아져, 보호막 없이도 정밀한 식각이 가능해진다. 이를 위해 삼성전자는 주요 전공정 장비업체인 미국 램리서치·일본 TEL(도쿄일렉트론) 등으로부터 극저온 식각 장비를 도입해, 시생산 등 품질 평가를 진행해 왔다. 그러나 실제 평가 결과 극저온 식각을 곧바로 양산 적용하기에는 어렵다는 결론이 지배적인 것으로 알려졌다. 이에 삼성전자는 램리서치, TEL와 식각 온도를 일부 높여 다시 장비 평가를 진행하는 방안을 추진하고 있다. 식각 및 관련 장비에 대한 추가 평가는 올 하반기경 진행될 예정이다. 평가 일정을 고려하면, 공급망 확정 및 실제 양산 투자가 진행되는 시기는 빨라야 내년 1분기가 될 것으로 전망된다. 신규 장비 도입에 따른 투자 비용 역시 삼성전자가 V10 낸드 양산 투자를 늦추는 주요 요인으로 지목된다. 삼성전자는 기존 낸드용 식각 공정에 대부분 램리서치 장비를 활용해 왔다. TEL을 공급망에 편입하면 장비 이원화를 추진할 수 있으나, 기존 램리서치의 장비 활용도가 감소하고 양사 장비 간의 호환성을 높여야 한다는 문제점이 발생한다. 반도체 업계 관계자는 "삼성전자가 V10, V11 등 차세대 낸드의 양산 수율 확보, 투자 비용, 시장 상황 등 다방면에서 고심을 겪고 있는 것으로 안다"며 "공급망이 확정되는 시점을 고려하면 빨라야 내년 중반에 양산이 시작될 것으로 보인다"고 말했다.

2025.06.13 14:43장경윤 기자

TEL코리아, 자원순환 실천 우수기업 '환경부 장관상' 수상

글로벌 반도체 장비기업 도쿄일렉트론(TEL)코리아는 지난 포시즌스호텔 서울에서 열린 '모두비움, ESG나눔 자원순환 실천대회'에서 폐전기∙전자제품 재활용 우수기업으로 선정돼 환경부 장관상을 수상했다고 20일 밝혔다. 환경부와 E-순환거버넌스는 공공기관과 민간기업에서 버려지는 전기∙전자제품의 적정 재활용을 유도하고, 기관∙기업은 재활용 수익금을 기부하는 '모두비움, ESG나눔 캠페인'을 추진하고 있다. E-순환거버넌스는 폐전기∙전자제품의 회수체계 구축과 친환경 재활용을 선도하기 위해 환경부로부터 인가를 받아 설립된 비영리 공익법인이다. 도쿄일렉트론코리아는 지난해 5월 E-순환거버넌스와 '폐전기∙전자제품의 자원순환 실천 업무협약'을 체결한 후 전 사원 대상으로 '폐전자제품 자원순환 챌린지' 캠페인을 실시하여 자원순환의 중요성에 대한 인식 제고와 함께 가정에서 배출하는 폐전기∙전자제품의 재활용에 많은 참여를 이끌어 냈다. 또한 지난해 9월에는 사무소에서 배출하는 폐가전제품들을 E-순환거버넌스를 통해 일괄 폐기하는 등 재활용 성과를 기록했고, 현재도 온라인 신청 등을 통해 지속적으로 실천해 갈 수 있도록 하고 있다. 회수된 제품은 각 소재별 친환경적 재활용 처리 프로세스를 거쳐 자원순환 체계 구축과 환경오염 방지에 기여했다. 이번 수상에는 심사를 통해 공공부문 10개 기관과 민간부문 10개 기업이 선정되었으며, 캠페인에 참여한 기관∙기업의 재활용 수익금 약 3억원은 초록우산 어린이재단에 사회공헌기금으로 기부될 예정이다. 행사에 참석해 환경부 장관상을 수상한 이혜진 도쿄일렉트론코리아 부사장은 “자원순환 실천 문화 확산에 동참해 지속가능한 경영이 이뤄질 수 있도록 노력한 성과가 인정받아 기쁘다”며 “앞으로도 ESG 경영 선도기업으로서 지구 환경의 보전을 위해 지속적으로 TEL FOR GOOD 활동에 힘써 가겠다”고 밝혔다. 한편 도쿄일렉트론코리아는 'TEL FOR GOOD'이라는 사회공헌활동 브랜드 아래 각종 사내외 활동을 통해 기업의 사회적 책임(CSR)을 다하기 위해 다방면으로 노력을 기울이고 있다. 'TEL FOR GOOD'은 기술과 혁신, 지구 환경 보전, 그리고 지역사회와 공동가치 창조라는 세 가지 목적에 초점을 맞추어 진행되고 있다.

2025.01.20 10:10장경윤 기자