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TEL코리아, 자원순환 실천 우수기업 '환경부 장관상' 수상

글로벌 반도체 장비기업 도쿄일렉트론(TEL)코리아는 지난 포시즌스호텔 서울에서 열린 '모두비움, ESG나눔 자원순환 실천대회'에서 폐전기∙전자제품 재활용 우수기업으로 선정돼 환경부 장관상을 수상했다고 20일 밝혔다. 환경부와 E-순환거버넌스는 공공기관과 민간기업에서 버려지는 전기∙전자제품의 적정 재활용을 유도하고, 기관∙기업은 재활용 수익금을 기부하는 '모두비움, ESG나눔 캠페인'을 추진하고 있다. E-순환거버넌스는 폐전기∙전자제품의 회수체계 구축과 친환경 재활용을 선도하기 위해 환경부로부터 인가를 받아 설립된 비영리 공익법인이다. 도쿄일렉트론코리아는 지난해 5월 E-순환거버넌스와 '폐전기∙전자제품의 자원순환 실천 업무협약'을 체결한 후 전 사원 대상으로 '폐전자제품 자원순환 챌린지' 캠페인을 실시하여 자원순환의 중요성에 대한 인식 제고와 함께 가정에서 배출하는 폐전기∙전자제품의 재활용에 많은 참여를 이끌어 냈다. 또한 지난해 9월에는 사무소에서 배출하는 폐가전제품들을 E-순환거버넌스를 통해 일괄 폐기하는 등 재활용 성과를 기록했고, 현재도 온라인 신청 등을 통해 지속적으로 실천해 갈 수 있도록 하고 있다. 회수된 제품은 각 소재별 친환경적 재활용 처리 프로세스를 거쳐 자원순환 체계 구축과 환경오염 방지에 기여했다. 이번 수상에는 심사를 통해 공공부문 10개 기관과 민간부문 10개 기업이 선정되었으며, 캠페인에 참여한 기관∙기업의 재활용 수익금 약 3억원은 초록우산 어린이재단에 사회공헌기금으로 기부될 예정이다. 행사에 참석해 환경부 장관상을 수상한 이혜진 도쿄일렉트론코리아 부사장은 “자원순환 실천 문화 확산에 동참해 지속가능한 경영이 이뤄질 수 있도록 노력한 성과가 인정받아 기쁘다”며 “앞으로도 ESG 경영 선도기업으로서 지구 환경의 보전을 위해 지속적으로 TEL FOR GOOD 활동에 힘써 가겠다”고 밝혔다. 한편 도쿄일렉트론코리아는 'TEL FOR GOOD'이라는 사회공헌활동 브랜드 아래 각종 사내외 활동을 통해 기업의 사회적 책임(CSR)을 다하기 위해 다방면으로 노력을 기울이고 있다. 'TEL FOR GOOD'은 기술과 혁신, 지구 환경 보전, 그리고 지역사회와 공동가치 창조라는 세 가지 목적에 초점을 맞추어 진행되고 있다.

2025.01.20 10:10장경윤

美, 반도체 장비 中 수출 또 규제…HBM도 포함

미국 정부가 한국을 비롯한 다른 나라에서 만든 반도체 장비를 중국에 수출하지 못하게 하는 법안을 마련하기로 했다. 일본과 네덜란드산은 규제를 피했다. 영국 로이터통신은 2일(현지시간) 미국 정부가 중국 140개 기업에 이 같은 내용의 수출을 제한하는 내용을 발표할 예정이라고 보도했다. 반도체 기업 20개사와 반도체 장비 업체 100여개사가 포함됐다. 이에 따라 중국 반도체 장비 기업 나우라테크놀로지그룹, 파이오테크, 사이캐리어테크놀로지 등에 수출이 제한된다. 중국 사모펀드 와이즈로드캐피털과 윙테크테크놀로지도 제재 대상이다. 미국 업체가 이 기업들에 수출하려면 미국 정부로부터 허가 받아야 한다. 중국 최대 반도체 파운드리(위탁생산) 기업 중신궈지(SMIC)에도 규제가 가해진다. SMIC는 2020년 제재 대상에 올랐으나 정책상 이유로 예외가 인정돼 지금껏 수십억 달러 규모 수출이 허가됐다고 로이터는 설명했다. 미국·일본·네덜란드 반도체 장비 업체가 다른 나라에서 만든 장비도 중국에 보낼 수 없다. 말레이시아·싱가포르·이스라엘·대만·한국에서 만든 장비도 마찬가지다. 일본산과 네덜란드산은 예외다. 로이터는 미국 정부가 일본·네덜란드와 오래 협의해 이같이 결정했다고 분석했다. 로이터는 미국 반도체 장비 업체 어플라이드머티어리얼즈(AMAT)·램리서치·KLA 등이 타격을 입을 것으로 내다봤다. 인공지능(AI) 반도체에 필수로 꼽히는 고대역폭메모리(HBM)도 중국 수출이 금지된다. 로이터는 삼성전자와 SK하이닉스, 미국 마이크론 3개사가 만드는 HBM2 이상 제품을 중국에 수출할 수 없다며 업계는 삼성전자가 이번 조치의 영향을 받을 것으로 본다고 전했다.

2024.12.02 17:20유혜진

"美, 中 반도체 수출 추가 규제 수위 낮춘다"

미국 조 바이든 행정부가 반도체 장비와 인공지능(AI) 메모리 반도체를 중국에 팔지 못하게 하는 방안을 내놓으려 하지만 계획보다 제재 수위가 낮아질 것이라고 미국 블룸버그통신이 28일(현지시각) 보도했다. 블룸버그가 인용한 소식통에 따르면 바이든 행정부는 중국 통신장비 기업 화웨이테크놀로지의 6개 협력업체를 겨냥하려 했으나 일부만 규제할 방침이다. AI 메모리 칩 기술을 개발하는 중국 창신메모리테크놀로지(CXMT)가 제재 대상에서 빠진 것으로 알려졌다. 블룸버그는 유명 반도체 장비 기업을 둔 일본과 네덜란드 같은 동맹국과 미국 반도체 장비 회사들이 추가 규제에 반발했다고 전했다. 네덜란드 ASML은 반도체 미세 공정에 쓰는 극자외선(EUV) 노광 장비를 세계에서 유일하게 생산한다. 미국이 제재해 ASML은 첨단 장비를 중국에 수출할 수 없다. ASML을 포함해 미국 어플라이드머티어리얼즈(AMAT)·램리서치·KLA, 일본 도쿄일렉트론(TEL)이 세계 5대 반도체 장비 회사로 꼽힌다. 다만 고대역폭 메모리(HBM) 관련 조항이 이번 규제에 들어갈 것으로 소식통은 예상했다. 그러면서 삼성전자와 SK하이닉스, 미국 마이크론테크놀로지가 영향을 받을 것으로 내다봤다. HBM은 AI 기기에 알맞은 고부가가치 메모리 반도체로 평가된다.

2024.11.29 10:52유혜진

도쿄일렉트론코리아 히나타 부사장, '외국기업의 날' 동탑산업훈장 수상

반도체 제조 장비 기업 도쿄일렉트론코리아는 히나타 쿠니히코 부사장이 '2024년 외국기업의 날' 행사에서 외국인 투자 유치 공로자로 선정되어 동탑산업훈장을 수상했다고 밝혔다. '외국기업의 날' 행사는 산업통상자원부 주관, 한국외국기업협회 주최로 매년 열리며, 외국인 투자 유치를 통해 국가 경제 발전에 기여한 외국인 투자기업과 관계자들을 격려 및 포상하는 자리이다. 히나타 부사장은 1991년 도쿄일렉트론에 입사해 오랫동안 에칭 장비개발 업무를 진행하고 있다. 그는 국내 주요 고객사와 낸드, 파운드리, D램, HBM(고대역폭메모리) 등 다양한 기술 분야에서 협력하며, 신규 장비에 대한 연구소 및 공장 평가를 지원해 한국 내 기술 지원 업무를 확대했다. 또한 한국 반도체 산업 발전과 인프라 강화를 위해 본사와 협력해 한국 내 기술 투자 유치에 기여했다. 대표적으로는 2012년 TEL 테크놀로지 센터 코리아를 유치해 주요 고객사와의 기술개발을 지속적으로 촉진했다. 또 최근 완공된 TEL 테크놀로지 센터 코리아-2를 비롯한 국내 대규모 R&D 센터 투자 유치를 통해 제조 공정 개발과 기술 지원 체계를 강화했다. 이를 통해 국내 반도체 제조 기술 발전과 국제 경쟁력 확보, 고용 창출에 크게 기여한 점을 인정받았다. 히나타 부사장은 “대한민국 반도체 산업 발전에 기여한 점을 인정받아 수상하게 되어 영광스럽다”라며 “앞으로도 국내 반도체 업계와의 상생과 협력, 그리고 적극적인 연구개발을 통해서 국가 경제 발전에 이바지하겠다”라고 소감을 밝혔다. 한편 도쿄일렉트론(TEL) 그룹은 내년부터 2029년까지 R&D에 1조5천억엔을 투자하고, 글로벌 1만 명의 신규 고용을 계획하고 있다. 도쿄일렉트론코리아 또한 올해 기준 신규 인력 400여 명을 채용하려고 하는 등 고용 창출에도 힘쓰고 있다.

2024.11.07 09:30이나리

TEL코리아, 화성에 '반도체 제조 R&D 센터' 운영 시작

반도체 장비 업체 도쿄일렉트론코리아(TEL Korea)가 반도체 제조 공정 R&D 센터 'TEL 테크놀로지 센터 코리아-2(TEL Technology Center Korea-2) 운영을 시작한다. 이 곳은 한국에서의 3번째 R&D 센터다. 도쿄일렉트론코리아는 17일 오전 정명근 화성시장과 가와이 토시키 도쿄일렉트론(TEL) CEO, 관계 기업인 등 200여명이 참석한 가운데 'TEL 테크놀로지 센터 코리아-2' 준공식을 개최했다. 기존 TEL의 화성사무소 옆에 위치한 'TEL 테크놀로지 센터 코리아-2'는 연면적 약 3만9200㎡ 규모로 각종 시설과 장비를 갖추고 반도체 제조에 필요한 첨단 기술을 연구∙개발하게 된다. TEL은 국내 주요 고객에게 속도감을 가지고 요구에 응하기 위해 글로벌 곳곳에 연구개발 거점을 마련하고 있다. 고객과 정보 공유 및 피드백 활성화를 통해 고객사 공정 개발 기간의 단축을 돕고, 개발평가 설비의 조기 양산 안정화에 공헌한다는 취지다. TEL 테크놀로지 센터 코리아-2' 또한 맞춤형 연구개발이 필요한 부분에서 고객의 웨이퍼(Wafer)를 가져와 가공하고(Send Fab) 공정 기술을 개발하는 중요한 역할을 담당할 예정이다. 또한 기존 단위 공정의 평가에서 벗어나 식각, 증착, 세정 등 여러 공정의 모듈화 개발을 추진하고, 개선이 필요한 부품에 대한 평가 작업도 진행한다. 나아가 고객사와 대학이 함께 참여하는 3자 협력 연구 방안도 추진 예정이다. TEL코리아는 "앞으로 1차 반입한 설비들의 설치를 최대한 신속히 완료해 고객사의 개발 평가를 지원하고, 고객과 지속적인 협업을 통해 연구개발 설비의 확충도 진행하겠다"고 말했다. 원제형 TEL코리아 대표이사는 "우리가 아무리 좋은 장치를 만들어도 고객의 생산 프로세스에 맞지 않으면 의미가 없다"며 "고객과의 근접 거리에서 고객의 요구와 설비의 기능을 합치시켜, 신속하고 우수한 기술 개발 및 서비스 지원으로 반도체 산업의 기반 기술을 강화하겠다. 그런 의미에서 한국의 R&D 거점은 높은 가치를 갖고 있다"고 밝혔다.

2024.10.17 16:40이나리

TEL코리아, 하반기 대규모 공개 채용

반도체 장비기업 도쿄일렉트론코리아는 올해 하반기 공개채용을 실시한다고 7일 밝혔다. 지난 5월 신입∙경력사원을 동시 모집한 데 이은 대규모 채용이다. 도쿄일렉트론코리아는 채용 홈페이지에 '2024 하반기 신입∙경력사원 채용' 공고를 내고 오는 10월 14일부터 10월 27일까지 2주간 서류접수를 받는다고 밝혔다. 모집분야는 ▲프로세스 엔지니어 ▲필드 엔지니어 ▲설계 엔지니어 ▲세일즈∙마케팅 ▲경영지원 등의 직무이며, 세 자릿수 규모로 선발할 예정이다. 도쿄일렉트론코리아는 이달 서류접수를 시작으로 공채 절차를 개시하고 서류접수와 AI 역량검사, 1차 면접, 2차 면접, 채용검진 등의 순으로 신입 및 경력사원을 최종 선발하며, 오는 12월 중 최종 합격자를 발표한다. 합격자들은 내년 1월 입사할 예정이며, 직무에 따라 화성, 평택, 이천, 청주, 발안 등의 사무소에서 근무하게 된다. 도쿄일렉트론코리아는 신입사원 채용 시 'TEL-IN(人) Session'이라는 특별한 채용행사를 개최해 지원자의 입장에서 회사와의 조직문화 적합성을 확인할 수 있는 회사 설명회와 선배와의 대화, 그룹 멘토링 세션을 운영하고 있다. 또한 최종전형 합격자들을 대상으로 입사 전 입사를 축하하는 'Welcome Pre-onboarding Lunch'를 진행하는 것이 도쿄일렉트론코리아 신입사원 채용의 가장 큰 특징이다. 상∙하반기에 진행되는 도쿄일렉트론코리아 공채는 청년 취업 준비생들로부터 정기적이고 예측 가능한 취업의 큰 기회로 관심을 받고 있다. 도쿄일렉트론코리아는 불황으로 어려운 여건 속에서도 청년 일자리 창출과 지역인재 발굴을 위해 지속적으로 채용을 진행해오고 있는 기업으로, 작년에는 이러한 공을 인정받아 '2023 대한민국 일자리 으뜸기업'에 선정되기도 했다. 아울러 도쿄일렉트론코리아는 직원들의 유연한 근무환경 및 생활 편의를 위해 ▲시차근무제 ▲30분 단위 연차 사용 ▲사택 제공, 사원들의 자녀 양육에 대한 경제적 부담 완화를 위한 ▲Child Care Program 운영, 직원들의 자기계발을 위한 ▲외국어 교육 △대학원 지원제도 등에 비용을 지원하며 직원과 기업이 함께 성장할 수 있는 복지문화를 지속적으로 확대해 가고 있다. 도쿄일렉트론코리아 채용 담당자는 “도쿄일렉트론그룹은 '반도체 기술혁신에 기여하는 꿈과 활력이 있는 회사'라는 비전을 내세우는 동시에 기업의 성장은 사람, 직원은 가치 창출의 원천으로 자리매김하고 있다”며 “사람을 최우선의 가치로 두고 있는 진정성 있는 기업에 많은 관심과 지원을 부탁드린다“고 말했다.

2024.10.07 11:51장경윤

고개드는 인도 '반도체 굴기'…美·日 기업 모인다

반도체 자립화에 나선 인도에서 올해 첫 '세미콘 인디아' 행사가 열린다. 인도는 기존 중국을 대체할 신규 반도체 공급망 거점으로 평가받는 곳으로, 현지 생태계 구축에 열을 올리고 있다. 이에 마이크론 등 주요 반도체 소자업체는 물론, 어플라이드머티어리얼즈·램리서치·도쿄일렉트론 등 미국·일본의 대형 장비업체의 주요 연사가 현장을 찾을 계획이다. 10일 업계에 따르면 오는 11일부터 13일까지(현지시간) 인도 노이다 지역에서 '세미콘 인디아(SEMICON INDIA)'가 개최된다. 세미콘은 국제 반도체 관련 협회인 SEMI가 매년 북미, 유럽, 아시아(한국·대만·일본·중국) 등에서 개최하는 반도체 소부장 행사다. 인도에서 세미콘이 개최되는 것은 이번이 처음이다. 인도는 반도체 공급망에서 기존 중국을 대체할 새로운 거점으로 떠오르는 국가다. 현재 전 세계 반도체 기업들과 협력해 현지에 제조시설 및 연구개발(R&D) 센터 설립을 강력히 추진하고 있다. 이번 세미콘 인디아의 기조연설 주제도 '인도에서의 활발한 반도체 생태계 구축(Creating a Vibrant Semiconductor Ecosystem in India)', '지역 간 파트너십의 이점(Global Market, Local execution - The Benefits of Cross-Regional Partnerships)' 등이다. 주요 연사로는 미국·일본을 비롯한 전 세계 주요 반도체 업계 인사들이 대거 참여한다. 마이크론·NXP·인피니언·텍사스인스트루먼트(TI) 등 반도체 소자업체는 물론, AMAT·TEL·램리서치 등 주요 장비업체의 최고경영자(CEO) 혹은 임원이 명단에 이름을 올렸다. 한편 국내에서는 에스티아이, 서플러스글로벌 등 소수의 소부장 기업이 부스를 꾸린다. 이들 기업이 첫 세미콘 인디아에 주목하는 이유는 높은 '시장 성장성'에 있다. 시장조사업체 카운터포인트리서치에 따르면 인도 반도체 시장은 2019년 227억 달러에서 2026년 640억 달러로 3배 가까이 성장할 전망이다. 대표적으로 인도 주요 기업 타타그룹은 대만 파운드리인 PSMC와 협력해, 인도 구자라트주에 첫 번째 상업용 반도체 공장을 짓기로 했다. 투자 규모는 총 110억 달러, 주력 생산 공정은 레거시(성숙) 공정인 28나노미터(nm) 급이다. 양산 목표 시점은 2026년이다. 이외에도 타타그룹은 34억 달러를 들여 아삼주에 패키징 공장을 짓는다. 이에 TEL은 이달 타타그룹과 장비 도입 및 엔지니어 교육과 관련한 협력을 강화하는 전략적 파트너십을 체결하기도 했다. 또 다른 인도 기업 CG파워는 르네사스 등과 협력해 10억 달러 규모의 패키징 공장을 신설하기로 했다. 특히 마이크론은 지난해 6월 인도 구자라트 지역에 신규 패키징 공장을 짓기 위해 총 27억5천만 달러를 투자할 계획이다. 이에 인도 중앙정부는 마이크론의 전체 투자의 50%를, 지방정부는 20%를 지원금으로 제공하기로 했다. 해당 공장은 총 2단계 프로젝트로 진행되며, 첫 번째 팹은 올해 말 가동을 앞두고 있다.

2024.09.10 13:50장경윤

원제형 TEL코리아 대표, 반·디학회서 초빙강연 나서

반도체 제조장비 기업 도쿄일렉트론(TEL)코리아는 지난 20일 서울 관악구에 위치한 서울대학교 공과대학에서 원제형 대표이사의 초빙강연을 진행했다고 26일 밝혔다. 이번 강연은 한국반도체디스플레이기술학회(반디학회) 산하 공정진단제어기술연구회에서 주관하는 행사로, 산·학·연에서 개발된 10개의 공정진단제어 관련 기술을 소개하는 자리다. 공정진단제어기술연구회는 공정진단제어 기술 발굴과 기술 협업, 인력 양성 방안을 찾고 있는 모임이다. 이날 강연에서 원제형 대표이사는 '반도체 장치용 플라즈마 강화 공정 기술'을 주제로 강연하며 반도체 시장 동향에 이어 미세화 공정에 기여할 극저온 식각(Cryogenic Etch) 기술, HBM(High Bandwidth Memory)의 중요성에 대해 소개하고 향후 발전 전망과 비전 등을 제시했다. 강연이 끝난 뒤에는 질의응답 시간을 갖고 학회원들의 질문에 답했다. 원제형 대표이사는 “공정진단연구회는 초창기 18년 전 창립 때부터 참가했고 그 때 연구회에서 발표를 했는데, 18년이 지나 다시 만나 뵙게 되어 특히 감회가 새롭다”며 "지속적인 참여를 통해 반도체 분야 산·학·연 협력을 위한 노력을 계속 이어갈 것”이라고 말했다. 원제형 대표이사는 일본 오사카대학 전기공학과에서 반도체 물성연구로 박사학위를 받은 뒤 반도체 업계의 여러 직위를 거쳐 2017년 7월부터 도쿄일렉트론코리아 대표이사로 재직하고 있다. 또한 도쿄일렉트론코리아는 지난해 부산대에 전공서적 200권을 기부한 데 이어 반도체 현장 실습 지원, 세미나 개최 등 긴밀하게 산학협력을 적극 추진하고 있다. 제주대와도 지난 2022년 10월 업무협약을 체결한 뒤 모의 면접, 장학생 선발 등 꾸준히 협력을 이어오고 있다. 명지대와도 지난 3월 반도체 전문 인재 양성 등을 위한 업무협약을 체결하는 등 산학협력 행보를 넓혀가고 있다. 또 지난 4월 가천대에서도 학생 3백여명을 대상으로 특별 강연을 가졌다. 이 같은 산학협력은 교과 과정과 기업 현장 실습의 연계를 통해 반도체 장비 개발 인력을 육성하는 의미도 갖고 있다.

2024.08.26 11:27장경윤

美, 中 반도체 수출 규제 강화한다…TEL·ASML 등 압박

미국 정부가 중국에 대한 최첨단 반도체 제조장비 수출 규제 수위를 높이는 방안을 고려하고 있다고 블룸버그통신이 17일(현지시간) 보도했다. 해당 방안은 네덜란드 ASML, 일본 도쿄일렉트론(TEL) 등 동맹국의 반도체 장비기업이 중국과 지속 거래할 경우, 해외직접생산품규칙(FDPR)을 부과하겠다는 것이 주 골자다. FDPR은 미국이 통제 대상으로 정한 미국산 소프트웨어 및 기술을 사용한 외국 기업에 대해 수출을 금지할 수 있도록 하는 규제다. 블룸버그통신은 익명의 소식통을 인용해 "미국이 일본 및 네덜란드 관료들을 만나 중국에 대한 규제 조치를 자체적으로 강화하지 않고 있음을 지적했다"며 "핵심 목표는 동맹국을 설득해 중국의 첨단 반도체 제조에 대한 접근을 막는 것"이라고 밝혔다. 현재 미국은 네덜란드 정부 및 ASML이 중국에 첨단 반도체 제조장비를 수출하지 못하도록 규제하고 있다. EUV 장비는 2019년부터 규제 대상에 올랐다. 이후 미국 정부는 지난해 3월 고성능 DUV(이머전 DUV) 장비에 대해서도 수출 규제를 적용하기로 했다. 그러나 이러한 조치에도 ASML은 여전히 중국향 매출 의존도가 높은 것으로 나타났다. ASML의 올 2분기 반도체 장비 매출액은 47억6천만 유로로, 이 중 중국이 차지하는 비중은 49%에 달한다. TEL 역시 지난 1분기 전체 매출에서 중국향 매출 비중이 44.4%로 매우 높은 수준을 기록했다.

2024.07.18 09:34장경윤

GST, 주고객사에 '냉매식 칠러' 데모 공급…극저온 추세 합류

국내 반도체 장비업체 GST가 최근 주요 고객사에 냉매식 칠러 데모 장비를 납품한 것으로 파악됐다. 차세대 낸드 공정이 극저온 환경으로 나아가는 추세에 맞춰, 기존 전기식에서 냉매식으로 사업 영역을 확장하기 위한 전략이다. 15일 업계에 따르면 GST는 지닌달 주요 메모리 제조업체에 낸드용 극저온 칠러 데모 장비를 공급했다. 칠러는 제조 환경의 온도를 낮추는 장비다. 반도체 공정 전반에 활용되며, 특히 반도체 회로가 새겨진 웨이퍼 상에서 필요없는 물질을 제거하는 식각 공정에 활발히 쓰인다. 기존 낸드용 식각공정은 영상 20°C 내외에서 진행되며, 채널 홀(구멍)을 깊게 뚫는 과정에서는 온도를 영하 -20~30°C까지 낮추기도 한다. 이에 칠러도 해당 온도에만 대응하면 성능적으로는 문제가 없었다. 그러나 올해부터는 칠러 업계에 급격한 변화가 일어날 것으로 전망된다. 일본 주요 장비업체 TEL(도쿄일렉트론)이 -70°C 내외의 환경에서 더 정밀하고 빠른 식각을 구현하는 신규 장비 'Cryo(크라이오)'를 개발했기 때문이다. 현재 해당 장비는 국내 주요 메모리 제조업체의 공정에서 퀄(품질) 테스트를 거치고 있다. 이에 칠러도 -80°C 수준까지 온도를 낮출 수 있도록 요구되고 있다. 이러한 추세에 선제적으로 대응한 기업은 유니셈과 에프에스티로, 두 기업 모두 냉매(쿨런트)식 칠러를 주력으로 공급하고 있다. 반면 GST는 전기식 칠러를 전문으로 개발해 왔다. 전기식 칠러는 냉매식 대비 에너지 효율이 높고 친환경적이지만, 기술적으로 -20°C 이하의 온도를 구현할 수 없다는 한계가 있다. 이에 GST도 경쟁사와 동일한 냉매식 칠러 개발을 진행해 왔다. 이후 지난달 국내 주요 메모리 제조업체에 데모 장비를 공급하는 데 성공한 것으로 파악됐다. 향후 퀄테스트 등 실제 상용화를 위한 과제가 남아있으나, 칠러 사업의 외연을 확장할 수 있는 기회를 잡았다는 점에서는 의미가 있다는 평가가 나온다.

2024.07.15 11:24장경윤

램리서치·TEL '극저온' 식각 주목…韓 장비업계 수혜 기대감

램리서치·TEL(도쿄일렉트론) 등 주요 반도체 장비업체가 차세대 식각장비 개발의 초점을 '극저온'에 맞추고 있다. 이에 따라 국내 칠러장비 업계도 고부가 제품 공급을 확대할 수 있을 것이라는 기대감이 나온다. 10일 업계에 따르면 램리서치는 최근 주요 메모리 고객사와 차세대 낸드용 극저온 식각장비 개발을 위한 논의를 진행했다. 식각장비는 반도체 회로가 새겨진 웨이퍼 상에서 특정 물질을 제거하는 공정에 쓰인다. 옥사이드, 폴리실리콘, 메탈 등 제거하고자 하는 물질에 따라 장비의 종류가 나뉜다. 최근 업계에서 화두가 된 식각장비는 TEL의 극저온 식각장비 'Cryo(크라이오)'다. 기존 식각공정은 영상 20°C 내외에서 진행되며, 채널 홀(구멍)을 깊게 뚫는 과정에서는 온도를 영하 -30°C 내외까지 낮추기도 한다. TEL의 신규 극저온 식각장비는 이보다 낮은 -60°C~-70°C에서 작동한다. 이 같은 극저온 환경에서는 화학적 반응성이 낮아져 보호막 없이도 정밀한 식각이 가능해진다. 식각률(1분당 막을 식각해내는 참호(Hole)의 깊이) 또한 향상된다. 때문에 삼성전자는 TEL의 극저온 식각장비를 제3 평택캠퍼스(P3) 낸드 라인에 도입해, V10·V11 낸드에 양산 적용하기 위한 테스트를 적극 진행하고 있다. V10·V11은 현재 개발 중인 차세대 낸드로, 각각 430단과 570단대로 추정된다. 이전 세대인 V9은 올해 4월부터 양산되기 시작했다. 삼성전자의 이 같은 기조는 TEL의 주요 경쟁사인 램리서치에게는 위기 요소로 작용한다. 기존 삼성전자는 낸드용 식각장비의 대부분을 램리서치에게서 조달받아 왔다. 때문에 삼성전자의 공급망 전환에 따른 점유율 감소가 유력한 상황이다. 이에 램리서치도 향후 다가올 V12~V14 시장에서 경쟁력을 되찾기 위한 대책 마련에 나섰다. 최근 삼성전자 등 주요 메모리 고객사에 극저온 식각장비를 개발하겠다고 제안한 것으로 알려졌다. 반도체 업계 관계자는 "저온으로 갈수록 식각 성능과 효율이 올라가는 장점이 있어, 램리서치도 적극적으로 차세대 장비를 개발 중"이라며 "TEL과 비슷한 극저온 환경에서 식각을 안정적으로 구현할 수 있는지 살펴보고 있는 것으로 안다"고 설명했다. 한편 램리서치·TEL의 극저온 식각장비 개발은 에프에스티, 유니셈 등 국내 칠러 장비 업계에 수혜로 작용할 전망이다. 칠러는 제조 환경의 온도를 낮추는 장비다. 현재 이들 국내 기업은 냉매(쿨런트)를 활용하는 칠러를 주력으로 공급하고 있다. 냉매식은 전기식에 비해 온도를 낮추는 데 유리하다. 식각장비가 극저온으로 나아감에 따라, 칠러 장비 역시 더 낮은 온도를 구현해야 한다. 이 경우 칠러 장비의 가격도 기존 제품 대비 4배가량 비싸질 것으로 업계는 관측하고 있다.

2024.06.10 11:19장경윤

글로벌 반도체 장비업계, 올 1분기도 中 매출 의존도 '높음'

세계 주요 반도체 장비기업들의 중국 사업이 지난해에 이어 올해에도 호조세를 보이고 있는 것으로 나타났다. 미국의 대중(對中) 수출 규제 움직임 속에서도 중국의 설비투자 기조가 견조하다는 분석이다. 13일 업계에 따르면 도쿄일렉트론(TEL), ASML, 램리서치 등 주요 반도체 장비기업들의 올 1분기 중국향 매출 비중은 40%대에 달한다. 지난 10일 실적으로 발표한 일본 TEL은 올 1분기(회계연도 2024년 4분기) 5천472억 엔(한화 약 4조9천억원)의 매출을 기록했다. 전분기 대비로는 15.3% 증가했으나, 전년동기 대비 2% 감소했다. 해당 기간 TEL의 중국 매출 비중은 44.4%로 집계됐다. 지난해 3분기 42.8%, 4분기 46.9%에서 지속 상승하는 추세다. 지난달 말 실적을 발표한 네덜란드 ASML, 미국 램리서치 등도 매출의 상당 부분을 중국에 의존하고 있다. ASML은 전체 매출에서 중국이 차지하는 비중이 지난해 3분기 46%, 4분기 39%로 집계됐다. 올 1분기에는 해당 비중이 49%로 크게 확대됐다. 램리서치 또한 중국향 매출 비중이 지난해 3분기 48%, 4분기 40%를 기록했으며, 올 1분기 42%로 다시 확대됐다. 현재 중국은 미국의 대중 수출 규제로 첨단 제조장비를 사실상 수입하지 못하는 등의 제약을 받고 있다. 앞서 미국이 지난 2022년 자국 기업들에게 중국에 14나노미터(nm) 이하의 시스템반도체, 18나노 이하 D램, 128단 이상 낸드 제조용 장비를 수출하지 못하도록 한 것이 대표적인 사례다. 그럼에도 중국 기업들은 레거시 등 반도체 생산량 확대에 적극 나서는 분위기다. 국제반도체장비재료협회(SEMI)가 올해 초 발표한 자료에 따르면 올해 전세계에서 가동되는 신규 팹은 35개로, 이 중 중국 지역에서 가동되는 팹의 수는 16개에 이를 전망이다.

2024.05.13 11:34장경윤

삼성전자, 'V11' 낸드 개발 본격화…첫 500단 돌파 시도

삼성전자가 차세대 낸드 개발에 박차를 가하고 있다. 지난해 도입한 최신 낸드 제조설비를 통해 현재 V10, V11 제품 개발을 진행 중인 것으로 파악됐다. V11의 목표 적층 수는 570단대로, 낸드 제품 중 첫 500단 시대를 열 것으로 기대된다. 18일 업계에 따르면 삼성전자는 현재 평택캠퍼스에서 V10, V11 낸드 개발을 위한 TF(태스크포스)를 가동 중이다. 낸드는 셀을 수직으로 쌓아올리는 방식으로 개발돼 왔다. 현재 상용화된 가장 최신 세대는 238단 적층의 V8이다. 삼성전자가 V8을 양산하기 시작한 시점은 2022년 4분기부터다. 다음 세대인 V9(280단대 추정)은 올해 양산될 예정이다. 나아가 삼성전자는 차세대 낸드 개발을 위한 준비에 나섰다. 지난해 P3에 도입한 TEL(도쿄일렉트론)·램리서치의 최첨단 식각장비를 도입한 것이 대표적인 사례다. 식각은 반도체 웨이퍼에 회로를 새긴 뒤 남은 물질들을 제거하는 기술로, 낸드 제조의 핵심 공정 중 하나다. 이를 통해 삼성전자는 지난해 하반기부터 V10 및 V11 개발 TF를 가동 중인 것으로 파악됐다. V10의 경우 현재 양산 평가가 진행 중이다. 적층 수는 430단대다. V10부터는 이전 '더블 스택'과 달리 '트리플 스택'을 적용한다. 스택은 낸드 전체를 몇 번에 나눠 쌓는 지를 나타내는 지표다. 예를 들어 430단 낸드를 트리플 스택으로 구현하려면 150단+150단+130단 등으로 쌓아야 한다. 더블 스택 대비 더 많은 제조비용이 투입되지만, 고적층 낸드를 안정적으로 생산하려면 트리플 스택으로의 전환이 필요하다. 삼성전자는 V11에 대한 개발도 착수했다. V11의 경우 570단대로 구현하는 것을 목표로 삼고 있다. 현재 삼성전자가 싱글 스택을 최대 170단대로 구현할 수 있다는 점을 고려하면, 이론상 최대 목표치에 해당한다. V11의 구체적인 개발 완료 목표 시점은 밝혀지지 않았다. 다만 연구소 및 평택캠퍼스 내에 관련 설비가 이미 소량 도입된 상황으로, 삼성전자 역시 V11 개발에 적극 나서고 있는 것으로 알려졌다. 반도체 업계 관계자는 "통상 삼성전자는 최신 제조장비로 낸드 개발을 2~3세대씩 묶어서 진행한다"며 "이번에는 V9, V10, V11을 같이 개발해왔고, V10이 양산 평가에 돌입한 만큼 V11개발에 박차를 가하고 있는 상황"이라고 밝혔다. 한편 시장조사업체 트렌드포스에 따르면 지난해 4분기 세계 낸드 매출액은 114억8천580만 달러로 전분기 대비 24.5% 증가했다. 올 1분기에도 매출 규모가 전분기 대비 20% 증가할 것으로 예상되는 등 현재 낸드 시장은 뚜렷한 회복세를 보이고 있다.

2024.03.18 13:55장경윤

日 대표 반도체 장비기업, 초봉 40% 인상…인재확보 가속화

일본 주요 반도체 장비기업인 도쿄일렉트론(TEL)이 인재 확보를 위해 신입사원의 초봉을 약 40% 인상할 예정이라고 닛케이아시아가 지난 1일 보도했다. TEL은 식각, 트랙 등 반도체 전공정 장비를 주력으로 생산하는 기업이다. 매출 기준으로 전 세계 5대 반도체 장비기업에 속한다. 보도에 따르면 TEL은 올해 4월 입사하는 모든 신입사원의 월급을 8만5천500엔(한화 약 79만원) 인상한다. 인상률은 약 40%로, TEL이 초봉을 인상한 것은 이번이 7년 만이다. 닛케이아시아는 "이번 인상안에 따라 대학교 및 대학원을 졸업한 신입사원의 월급이 모두 30만엔(276만원)을 초과하게 된다"며 "더 좋은 인재를 확보하기 위해 외국 반도체 장비 기업들과 수준을 맞추려는 것"이라고 밝혔다. 올해 초 시작되는 채용 인원도 400명으로 전년 대비 50명 가량 늘어난다. TEL은 수년 내 해당 채용 규모를 500명으로 확대할 계획도 가지고 있다. 한편 일본 정부기관의 조사에 따르면 지난해 초 현지 민간기업의 평균 초임 월급은 대졸자 21만 엔, 대학원 졸업자가 23만 엔인 것으로 집계됐다. 닛케이아시아는 "TEL은 상반기 및 하반기 성과급을 포함한 연봉이 해외 경쟁사와 동일하거나 그 이상으로 판단하고 있다"며 "다만 일본 내 해외 경쟁사들 대부분의 초임 월급이 30만 엔을 초과하고 있어, 명시한 초봉 만으로는 경쟁사 대비 유리하지 않을 수 있다"고 덧붙였다.

2024.01.03 11:21장경윤

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