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'PSM'통합검색 결과 입니다. (3건)

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SK하이닉스, EUV 공정 고도화…신소재 'PSM' 도입 시작

SK하이닉스가 차세대 D램 양산을 위한 극자외선(EUV) 기술 고도화에 집중하고 있다. 지난해 고개구율(High-NA) EUV 장비를 처음 도입해, 올해부터 관련 기술 연구개발에 본격 착수했다. EUV 성능을 높일 수 있는 '위상변위 마스크(PSM)' 등 신규 소재도 채용 중인 것으로 알려졌다. 박사로한 SK하이닉스 부사장은 10일 경기 수원 컨벤션센터에서 열린 '2026 차세대 리소그래피+패터닝 학술대회(NGL 2026)'에서 "EUV에서 극한의 성능 향상을 위해 PSM을 본격 도입하기 시작했다"고 밝혔다. 현재 반도체 업계는 인공지능(AI) 산업 발전에 따라 고용량·고성능 제품 수요가 급증하고 있다. 메모리 반도체 기업들도 전공정과 후공정 기술 고도화를 통해 차세대 D램·낸드를 개발하고 있다. 대표 기술이 최신 노광 기술인 EUV다. 노광은 빛을 통해 반도체 웨이퍼에 회로(패턴)를 새기는 공정으로, 반도체 제조에서 가장 높은 비중을 차지하고 있다. EUV는 기존 반도체 노광 공정 소재인 불화아르곤(ArF) 대비 빛의 파장이 13분의 1 수준(13.5나노미터)으로 짧다. 덕분에 ArF로 여러 번 노광(멀티 패터닝)해야 하는 초미세 공정을 더 적은, 혹은 단일(싱글 패터닝) 공정으로 구현할 수 있다. 패터닝 수가 줄면 제조비용 저감 및 생산성 향상에 유리하다. SK하이닉스는 차세대 제품 개발을 위해 지난해 하반기 양산용 High-NA EUV 장비를 첫 도입했다. High-NA EUV는 EUV에서 성능을 한 차례 더 끌어올린 기술이다. NA는 렌즈 수차로, 해당 수치가 높을수록 해상력이 향상된다. 기존 EUV 렌즈 수차는 0.33, High-NA EUV는 0.55다. 박 부사장은 "극한의 미세공정 양산을 위해 EUV를 멀티 패터닝하거나, High-NA 싱글 패터닝을 도입하는 등 방안을 모두 고민 중"이라며 "High-NA EUV 장비는 지난해 말 도입해, 올해부터 이를 통한 연구개발을 시작했다"고 밝혔다. EUV 성능 강화를 위한 위상변위 마스크(PSM:Phase Shift Mask)도 채용한 것으로 파악된다. 마스크는 특정 회로가 새겨진 판이다. EUV용 마스크의 경우 들어오는 광원을 반사해 웨이퍼에 회로를 새긴다. PSM은 인접한 회로 모양을 만드는 빛에 위상의 차이를 발생시키는 물질로 구성된다. 덕분에 회로에 도달하는 빛에 각기 다른 위상 차를 주면서, 미세한 회로에서도 명확한 명암비를 가질 수 있도록 만든다. 박 부사장은 "이전 ArF 영역에서 그랬듯, EUV에서도 해상도 향상을 위해 PSM이 본격 도입되기 시작했다"며 "향후에는 High-NA EUV 측면에서도 PSM이 어떻게 발전할 수 있을까에 대한 고민을 같이 하고 있다"고 말했다.

2026.08.10 15:50장경윤 기자

한화파워시스템·PSM, 브랜드 통합…'한화파워'로 새 출발

한화가 발전 설비 공급과 유지·운영 역량을 하나로 묶어 전력 인프라 시장 공략을 강화한다. 한화임팩트의 자회사 한화파워시스템과 미국 가스터빈 서비스 회사 PSM이 브랜드를 통합해 사명을 '한화파워'로 변경한다고 25일 밝혔다. 이번 사명 변경은 개별 설비 중심의 사업 구조에서 벗어나 에너지 인프라 전반에 대응하는 통합 솔루션 기업으로 전환하기 위한 차원이다. 새 사명인 한화파워에는 단순한 에너지 장비 공급과 서비스를 넘어 발전 설비 솔루션 전반을 아우르겠다는 의미를 담았다. 양사는 이번 통합을 통해 가스터빈과 압축기를 중심으로 한 핵심 역량을 결집하고, 주력 설비와 보조기기, 운영, 서비스까지 포괄하는 통합 에너지 인프라 솔루션 체계를 구축할 계획이다. 전기화(연소·기계 동력을 전기 에너지로 대체)와 인공지능(AI) 확산으로 초대형 데이터센터가 늘면서 안정적인 전력 공급의 중요성도 커지고 있다. 분산형 전원 확대와 맞물려 고효율 가스터빈과 정밀 연료 공급 시스템의 역할 역시 부각되는 상황이다. 한화파워는 에너지를 전력으로 전환하는 시스템을 바탕으로 산업 현장의 전력 인프라 수요에 대응한다는 방침이다. 회사 측은 이번 통합으로 고객이 단일 파트너를 통해 설계부터 운영까지 전 주기에 걸친 최적화를 추진할 수 있게 되고, 변화하는 에너지 환경에도 보다 유연하고 안정적으로 대응할 수 있을 것으로 기대했다. 라피 발타 한화파워 대표는 “에너지 장비의 중요성이 커진 상황에서 한화파워는 회전기기 기술력을 기반으로 글로벌 역량을 결집해 전력 산업 가치사슬 전반을 강화하겠다”며 “현지 대응력과 서비스 품질을 높여 발전 플랜트의 신뢰성과 효율성을 끌어올리고, 글로벌 에너지 솔루션 기업으로 도약하겠다”고 말했다. 한화파워는 이번 사명 변경을 계기로 북미·유럽·중동·아시아 거점을 유기적으로 통합 운영하고, 기술 개발과 엔지니어링, 판매, 서비스 전반에서 시너지를 높일 계획이다. 한편 한화파워는 산업용 압축기와 가스터빈 기술을 기반으로 저탄소 연료 발전 기자재와 전 주기 솔루션을 제공하는 에너지 시스템 전문 기업이다. 설계와 제조, 유지보수, 업그레이드까지 아우르는 서비스를 글로벌 시장에 공급하고 있다. 가스터빈용 연료공급압축기와 탄소포집·활용·저장(CCUS)용 이산화탄소 압축기를 통해 연료 공급부터 발전, 탄소관리까지 연결하는 기술 체계도 강화하고 있다. 앞으로는 수소·암모니아 등 저탄소 발전 분야로 사업을 확대하고, 노후 가스터빈의 친환경 전환 솔루션도 고도화할 예정이다.

2026.03.25 10:19류은주 기자

석유공사, 경남권 PSM 협의회 개최…안전경영 노하우 전파

한국석유공사(대표 김동섭)는 지난 19일 경남권 공정안전관리(PSM) 협의회 회장사 첫 회의를 개최하고 안전경영 노하우를 전파했다. 석유공사는 지난해 11월 자율적 안전관리 문화 정착과 무재해 사업장 유지·발전을 위해 한국지역난방공사·동서발전 등 22개 공공기관과 경남권 공공기관 공정안전협의회를 발족했다. 22개 기관 가운데 석유공사 거제지사는 2018년과 2022년 고용노동부 PSM 평가에서 최고 등급인 P등급을 받아 고용부 요청으로 초대 회장사를 맡게 됐다. 경남지역 PSM 사업장 관계자 28명이 참석한 가운데 열린 이번 회의에서 참석자들은 PSM 제도의 실효성을 높이고 지역 내 안전문화를 확산시킬 방안에 대해 논의했다. 또 경남권 중대산업사고예방센터가 PSM 사업장 사고 사례를 안내하고 회원사에 안전사고 예방을 위한 경각심을 일깨웠다. 이후 PSM 우수사업장 사례 발표와 협의회 활성화를 위한 자유 토론이 이어졌다. 김종관 석유공사 거제지사장은 “이번 협의회 참여를 통해 PSM 제도의 국내 확산과 안전문화 정착에 공사가 기여하게 돼 기쁘다”면서 “앞으로도 산업 현장의 안전을 선도하고 국내에 자율적인 안전문화가 뿌리내릴 수 있도록 지속적으로 노력해 안전 분야에서의 상생협력을 실천하겠다”고 밝혔다.

2025.06.20 10:12주문정 기자

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