제덱스, 반도체용 정전척·스퍼터링 타겟·풉 파티클 검사장비 출시

반도체 파티클 제어 전문기업 제덱스(JEDEX)는 정전척(ESC)을 비롯해 스퍼터링 타겟, 풉(FOUP) 등 정밀 파티클 검사가 어려웠던 공정 핵심 부품까지 분석할 수 있는 검사 시스템 'M802ESC'를 출시했다고 19일 밝혔다. M802ESC는 기존 M2000ESC의 차세대 모델로, 나노급 초미세 공정 대응을 위해 개발됐다. M802ESC는 대형·고중량 구조와 표면 정밀도 문제로 인해 기존 방식으로는 정량적 평가가 쉽지 않았던 부품들의 검사가 가능해졌다는 점이 가장 큰 특징이다. 또한 직경 610mm 이내 시료 대응과 최대 50kg 하중 설계를 적용했다. M802ESC는 기본 0.1µm 이상 입자 검출이 가능하며, 옵션 적용 시 10nm 센서를 통해 극초미세 파티클까지 계수할 수 있다. X·Y·Z 로봇 제어 기반 스캔 노즐 방식을 통해 표면의 약 90% 영역을 균일하게 검사한다. 특히 비접촉 방식의 고효율 입자 추출 시스템을 구현해 시료를 오염시키지 않으면서 입자를 분리·회수한다. 특허 기반 회수 헤드와 입자 확산 방지 구조를 적용해 검사 중 2차 오염을 원천 차단했다. 또한 ULPA 필터 기반 클래스 1 초청정 환경을 유지해 데이터 신뢰도를 확보한다. 제덱스 관계자는 "M802ESC의 출시로 이제까지 정량적 검사가 어려웠던 부품까지 데이터 기반 평가가 가능해지면서 공정 수율 관리의 패러다임이 바뀔 것"이라고 밝혔다.