GIST, 반도체 공정 시뮬레이션 활용법 담은 '전문서' 펴내

반도체 소자 제조 과정에서의 시뮬레이션 활용법을 상세히 다룬 실무서가 출간됐다. 광주과학기술원(GIST, 총장 임기철)은 전기전자컴퓨터공학과 홍성민 교수가 대학 출판부 '지스트 프레스(GIST PRESS)'를 통해 신간 '계산전자공학 입문 - 반도체 공정'을 출간했다고 27일 밝혔다. 총 8장으로 구성된 이 책은 반도체 공정 시뮬레이션의 기본 개념부터 실제 CMOS 공정 응용까지 폭넓게 다뤘다. 반도체 공정의 핵심 기술인 산화 공정, 확산 공정, 이온 주입 공정, 박막 증착 공정, 식각 공정 등의 원리를 설명하고, 이를 컴퓨터 시뮬레이션을 활용해 분석하는 방법을 제시했다. 특히, 몬테카를로(Monte Carlo) 기법, 레벨세트(Level-set) 방법 등 최근 주목받고 있는 시뮬레이션 기법을 비롯해 실무에서 중요한 수치해석 기법을 상세히 소개했다. 책에 수록된 예제를 따라가며 반도체 공정 시뮬레이션 코드를 직접 작성할 수 있도록 구성한 점도 반도체 공정 이해에 도움을 준다. 저자인 홍성민 교수는 서울대학교에서 전기컴퓨터공학 박사학위를 받은 후, 독일과 미국에서 연구 활동을 거쳐 현재 GIST에서 부교수로 재직 중이다. 홍성민 교수는 "지난 2021년 입문서를 출간할 당시 반도체 공정 시뮬레이션을 다루지 못한 아쉬움이 컸다"며 "반도체 공정 시뮬레이션을 처음 접하는 학생은 물론 실무에서 상용 프로그램을 활용하는 엔지니어들에게도 큰 도움이 될 것”이라고 말했다.