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'CFE'통합검색 결과 입니다. (7건)

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AMAT, '업계 유일' 계측 장비로 3D·2나노 시장 공략…"이미 상용화 시작"

어플라이드머티어리얼즈(AMAT)가 차세대 전자빔 시스템으로 2나노미터(nm), 3D D램 등 첨단 반도체 시장을 공략한다. 해당 장비는 업계 유일의 CFE(냉전계 방출) 기술과 AI를 결합한 것이 특징으로, 이미 유수의 고객사 공정에 도입된 것으로 알려졌다. 어플라이드머티어리얼즈(AMAT)는 20일 오전 파크 하얏트 서울에서 'SEM비전 H20' 발표회를 열고 회사의 계측 기술력에 대해 소개했다. 장만수 AMAT코리아 이미징 및 프로세스 제어 기술 디렉터는 "반도체 공정이 초미세화되면서, 이제는 옹스트롬(Angstrom; 0.1나노미터)과 3D 트랜지스터 구조 등 첨단 기술이 도입되고 있다"며 "그러나 기존 계측 시스템으로는 이에 대응하기 힘들어, AMAT는 고도의 전자빔 기술과 AI를 결합한 새로운 장비를 개발해냈다"고 설명했다. SEM은 전자현미경의 일종으로, 전자빔을 주사해 표본을 계측하는 기술이다. AMAT의 'SEM비전 H20'은 업계에서 가장 높은 수준의 감도 및 분해능을 구현한 전자빔과 회사의 2세대 CFE 기술을 갖췄다. 전자빔은 빛보다 파장이 짧아 깊은 홈까지 정밀하게 관찰할 수 있다. 덕분에 수 나노미터(nm) 대의 미세 공정과, 트랜지스터를 수직으로 쌓는 3D 구조에도 대응이 가능하다는 게 AMAT의 설명이다. 장 디렉터는 "해당 장비는 이미 실제로 상용화해 고객사들이 활용 중"이라며 "현존하는 모든 최선단 공정에 다 활용이 가능하다고 보면 된다"고 말했다. CFE란 기존 1천500도 이상에서 작동하는 고온전계 방출형 대비 낮은 온도 환경에서 작동하는 기술이다. 온도가 낮아지면 빔 폭이 좁아지고 전가 개수가 많아져, 분해능이 샹항되고 이미징 속도가 크게 빨라진다. 특히 2세대 CFE의 경우, 1세대 대비 이미징 속도가 2배 빠른 것으로 나타났다. 고온전계 방출형 대비로는 3배 빠르다. CFE가 지닌 불순물 취약 관련 문제도 2세대에서는 고진공, 자가 세정 기술 등을 도입해 보완했다. 장 디렉터는 "AMAT가 CFE 기술 상용화를 위해 쏟은 개발기간만 해도 10년이 넘는다"며 "현재 업계에서 이를 상용화한 기업은 AMAT이 유일하다"고 강조했다. AI 역시 SEM비전 H20의 주요 특성 중 하나다. 기존 SEM을 통해 얻은 이미지 상에는 실제 결함과 계측 오류로 인한 노이즈 등이 뒤섞여 있다. 때문에 SEM 이미지를 여러 장 찍어야 하는데, 초미세공정에서는 결함 크기가 줄어들어 육안으로 둘을 구분하기가 힘들다. 이에 AMAT는 AI 기술로 실제 결함과 노이즈를 구분하는 시스템을 도입했다. 실제 회로 설계도에서 얻은 데이터를 추출해 신뢰성을 높였다. 장 디렉터는 "기존 전자빔 기반의 SEM 계측은 3시간 수준의 쓰루풋에도 결함을 완전하게 잡아내지 못하는 문제가 있었다"며 "이번 SEM비전 H20은 1시간 이내로 더 많은 결함을 정확하게 잡아내기 때문에, 첨단 반도체 수율 향상에 상당한 도움을 줄 수 있을 것"이라고 말했다.

2025.02.20 11:49장경윤

무탄소에너지(CFE) 국제기준 마련 본격 착수

산업통상자원부와 무탄소연합(CF연합)이국제기준 마련에 본격 착수했다. 산업부는 지난 7일 산업의 비용효율적인 탄소중립 달성을 위해 재생에너지·원전·청정수소 등 다양한 무탄소에너지원을 기술 중립적으로 활용하는 것을 주요 목표로 하는 무탄소에너지(CFE) 이니셔티브의 글로벌 이행협의체인 'CFE 글로벌 작업반' 1차 회의를 영상으로 개최했다고 밝혔다. 회의에는 한국·일본·체코·아랍에미리트(UAE)·국제에너지기구(IEA)·청정에너지장관회의(CEM) 사무국 등 6개 국가·국제기구·단체가 참여해 무탄소에너지의 정의, 표준, 이행기준(technical criteria) 등에 대해서 논의했다. 참여기업 혜택 등 실질적인 이니셔티브 확대 방안에 대해서도 논의했다. 이회성 CF연합 회장은 “CFE 글로벌 작업반을 통해 국제적으로 통용될 수 있는 무탄소 에너지의 정의 및 표준에 대한 논의 기반을 마련해 나갈 것”이라고 평가했다. 장 프랑소와 가네 청정에너지장관회의(CEM) 사무국장은 “CEM 플랫폼으로 운영중인 CFE 글로벌 작업반의 논의 활성화를 환영하고, 작업반 논의를 통해 협력 기반이 강화될 것으로 기대한다”고 밝혔다. 회의에 참여한 한국·일본·체코·UAE 등 주요국은 CFE 이행기준을 조기에 마련할 수 있도록 관련 논의를 심화해 나가기로 했다. 특히, 오는 8월 25일 개최 예정인 CEM 장관회의를 통해 관련 논의가 진전될 수 있도록 협력을 가속하기로 했다.

2025.02.10 06:28주문정

김완섭 환경부 장관 "RE100과 무탄소에너지(CFE)는 조화롭게 해야"

김완섭 환경부 장관은 7일 “RE100과 무탄소에너지(CFE)는 조화롭게 해야 한다”고 말했다. 김 장관은 이날 취임 100일을 맞아 정부세종청사에서 열린 출입기자 간담회에서 “CFE와 RE100 중 어느 쪽에 방점을 두느냐고 (질문)했는데, 한쪽을 딱 손들기 보다는 수출기업은 RE100 공급망에 들어갈 필요성이 있어서 준비해서 자생적으로 나가고 있는 것으로 알고 있다”며 “RE100으로 할 수 없는 것 있으면 CFE를 통해서 온실가스를 감축해나가면서 기업이 필요한 에너지를 쓸 수 있는 장점이 있기 때문에 조화롭게 해야 한다”며 이같이 말했다. 김 장관은 “재생에너지는 환경부 뿐만 아니라 경제부처에서도 늘려야 한다는 데는 이견이 없다”며 “많이 보급되는 인프라가 깔릴수록 (재생에너지) 단가가 떨어지고 실제 기업이 활동하는 도움이 될 수 있기 때문에 경제부처와 (재생에너지 확대를) 얘기하고 있다”고 덧붙였다. 김 장관은 일회용 컵 보증금제와 관련해 “과연 자율 시행이라 표현하는 게 맞는 건지, 강제로 국민에게 획일적으로 전국에서 똑같이 하는 것은 제가 최선이 아니라고 생각해서 안 하는 건지, 사실 동전의 양면”이라면서 “지킬 수 없는 획일적인 방법을 강제로 동시에 시키는 건 정부가 할 일이 아니라고 생각한다”고 밝혔다. 김 장관은 이어 “일회용 컵 보증금제 일괄 전국확대를 하지 않겠다는 것이지 보증금제 디자인이나 개념 자체를 100% 부정한다는 것이 아니다”며 “일회용 컵 보증금제를 비롯해 다회용기 전환 등을 고민하고 있다”고 말했다. 김 장관은 “(일회용 컵 보증금제의) 목적은 일회용 컵 사용을 줄이자는 것이지 보증금제를 전국에 확대하는 게 아니다”고 강조했다. 김 장관은 “일회용 컵 보증금제에 적극적인 지자체는 제주도”라며 “제주도와 함께 환경부가 공모하는 도시 사업에 응모하는 지자체를 컨택해서 일회용 컵을 줄이는 데 필요한 사항을 지원할 것”이라고 말했다.

2024.11.04 21:33주문정

무탄소에너지(CFE) 글로벌 작업반 공식 출범

한국이 글로벌 논의를 주도하고 있는 무탄소에너지(CFE·Carbon-Free Energy) 이니셔티브의 글로벌 작업반이 지난 3일 공식 출범했다. 또 한국이 내년 청정에너지장관회의(CEM·Clean Energy Ministerial) 의장국을 수임한다. 산업통상자원부는 브라질에서 지난 1일부터 4일까지 열린 CEM 및 G20 에너지장관회의에서 무탄소에너지 이니셔티브 글로벌 작업반 신설을 공식 발표하고 발족 회의를 개최했다고 밝혔다. CFE 글로벌 작업반은 CFE 이행 기준과 활용 방안 등을 논의하는 협의체로, 한국·일본·UAE·체코·국제에너지기구(IEA) 등 5개 국가·국제기구가 참여하고 있다. CFE 글로벌 작업반 발족 회의에서 안덕근 산업부 장관은 영상 개회사를 통해 “그간 다양한 무탄소에너지 활용에 대해 여러 국가와 공감대를 형성해 왔으며, 이를 바탕으로 이번에 출범하는 글로벌 작업반을 통해 더욱 구체적인 논의를 이어나갈 것”을 강조했다. 장 프랑소와 가네 CEM 사무국장도 “모든 무탄소에너지원의 활용 필요성에 적극 공감하며, 국제사회에서 CFE 이니셔티브의 역할을 기대하고 지지한다”고 밝혔다. CFE 이니셔티브는 지난해 9월 UN 총회 계기로 윤석열 대통령이 국제사회에 최초 제안한 이후, 영국·프랑스·네덜란드·체코·루마니아·사우디·UAE·일본·캄보디아·IEA 등 10개 국가와 국제기구로부터 지지를 받고 있다. 특히, 이번 CEM에서 회원국들의 지지에 힘입어 한국이 내년도 제16차 CEM 의장국을 수임하게 됨에 따라, 앞으로 국제사회에서 CFE 이니셔티브 공감대가 확산할 전망이다. 한편, 4일 개최한 G20 에너지장관회의에서는 ▲바이오연료·수소와 같은 지속 가능한 연료 확대 ▲공정한 에너지전환 ▲신흥 개도국의 에너지 계획 수립 지원에 대한 활발한 논의가 이어졌다.

2024.10.07 08:36주문정

"무탄소에너지 활용해야 효과적 탄소중립 실현 가능"

재생에너지·원전·수소 등 다양한 무탄소에너지(CFE)를 폭넓게 활용해야만 효과적인 탄소중립이 실현 가능하다는 전문가들의 공감대가 확인됐다. 대한상공회의소와 CF연합은 15일 대한상의 국제회의장에서'무탄소에너지 잠재력 제고를 위한 세미나'를 공동 개최했다. 이번 세미나에는 산업부 안덕근 장관, 2050탄소중립녹색성장위원회 김상협 위원장 등 정부기관장 외에도 우태희 대한상의 부회장, 주현 산업연구원장, 김현제 에너지경제연구원장 등 경제단체, 대학·기업·연구소 전문가들이 대거 참석했다. 세미나에서는 우리 기업이 심화되는 국제 환경규제에 대응하고, 국제 경쟁력을 지속적으로 유지·증진하기 위한 무탄소 에너지 활용과 확대 방안에 대해 유관기관장과 각 분야 전문가들이 해법을 제시했다. 참석자들은 ▲특정 기술이나 시나리오에 의존하지 않는 다양한 탄소중립 노력 필요(김용건 교수) ▲재생·원전·수소 등 다양한 무탄소에너지의 공급 확대(주현 원장) ▲재생에너지, 원전 등 CFE 이용 극대화를 위한 전력망 확충(박종배 교수) ▲그린수소 생산단가 절감을 위한 기술개발 및 금융지원(문재도 회장) ▲소형모듈원전(SMR) 개발을 통한 원전 경쟁력 유지(정범진 학회장) 등 다양한 의견을 내놨다. 이회성 CF연합 회장은 개회사에서 “우리나라가 세계경제에서 기후위기 대응을 선도하고, 새로운 국제규범을 설정하며, 무탄소화 기술 개발과 확산을 주도하는 것은 우리나라의 국격에 부합하며, 이와 같은 활동이 바로 CFE 이니셔티브”임을 강조했다. 안덕근 장관은 축사에서 “탄소중립은 우리 기업들에게 있어 선택이 아닌, 생존을 위한 필수과제이며, 산업경쟁력과도 직결되는 국가적 과제”라며 “우리 기업의 탄소중립을 지원하기 위해 보조·세제·융자, 기술혁신 등 다양한 노력을 기울여 나감과 함께, 주요국과 조속히 무탄소에너지(CFE) 이행기준을 마련해 국제사회에 통용될 수 있도록 노력해나가겠다”고 밝혔다. 김상협 2050탄소중립녹색성장위원장은 “CFE 이니셔티브의 성공을 위해서는 산업계의 호응과 참여를 얻는 것이 중요하다”며 “글로벌 탄소중립에 기여하는 국제규범으로 폭넓게 인정받을 수 있도록 노력해나가자”고 강조했다. 우태희 대한상의 상근부회장은 환영사를 통해 “제조강국인 우리나라는 탄소중립시대에 신시장을 주도할 수 있는 역량을 보유하고 있다”며 “우리기업의 제조역량에 발전산업부문 무탄소화 전략이 접목된다면 우리기업들이 미래시장을 선점할 수 있는 경쟁력이 될 것”이라고 말했다. 이날 진행된 토론에서 참석자들은 “첨단산업 등 제조업 비중이 높은 우리 산업의 여건 상 '탄소중립 대응'과 '산업경쟁력 확보'를 보다 효과적으로 달성하기 위해서는 지난해 12월 유엔기후변화협약 당사국 총회에서 국제사회가 합의한 것처럼 다양한 무탄소에너지를 적극 활용해야 하며, 무탄소에너지의 잠재력을 실제의 공급 능력 확충으로 연결해야 한다”는 데 공감했다. 대한상의와 CF연합은 올해 첫 공동행사로 이번 세미나를 개최했으며, 후원기관인 산업통상자원부는 앞으로도 무탄소에너지 확산과 탄소중립을 실현하기 위해 두 기관과 지속적으로 협력하기로 했다.

2024.03.15 14:57류은주

민관 전문가, 무탄소에너지(CFE) 확산 '공감'

정부와 민간 전문가들이 무탄소에너지(CFE) 확산에 공감했다. 15일 산업통상자원부가 후원하고 대한상의와 CF연합이 공동 개최한 '무탄소에너지 잠재력 제고를 위한 세미나'에서 기후위기 대응 체계 전환을 위한 '전력과 산업공정의 무탄소화 방안'이 활발하게 논의됐다. 이 자리에서 전문가들은 기존 체계로는 글로벌 기후위기 대응이 어렵고, 재생에너지·원전·수소 등 다양한 무탄소에너지를 폭넓게 활용해야 효과적인 탄소중립이 실현 가능하다는 데 공감했다. 이날 세미나는 안덕근 산업부 장관, 김상협 탄소중립녹색성장위원회 위원장 등 정부 기관장과 주현 산업연구원장, 김현제 에너지경제연구원장 등 국책연구원장, 국내 대학·기업·연구소 전문가가 참석해 의견을 교환했다. 이회성 CF연합 회장은 개회사에서 “우리나라가 세계 경제에서 기후위기 대응을 선도하고, 새로운 국제규범을 설정하며, 무탄소화 기술 확산을 주도하는 것은 우리나라의 국격에 부합하다”며 “이 같은 활동이 바로 CFE 이니셔티브”라고 강조했다. 우태희 대한상의 상근부회장은 환영사에서 “우리 기업의 제조역량에 전력·산업부문 무탄소화 전략이 접목되면 미래시장 선점이 가능하다”고 밝혔다. 참석자들은 ▲특정 기술이나 시나리오에 의존하지 않는 다양한 탄소중립 노력 필요(김용건 교수) ▲재생·원전·수소 등 다양한 무탄소에너지의 공급 확대(주현 원장) ▲재생에너지·원전 등 무탄소에너지 이용 극대화를 위한 전력망 확충(박종배 교수) ▲그린수소 생산단가 절감을 위한 기술개발 및 금융지원(문재도 회장) ▲소형모듈원전(SMR) 개발을 통한 원전 경쟁력 유지(정범진 학회장) 등 다양한 의견을 제시했다. 안덕근 산업부 장관은 “탄소중립은 우리 기업에 선택이 아닌, 생존을 위한 필수과제이며, 산업경쟁력과도 직결되는 국가적 과제”라며 “주요국과 무탄소에너지 이행기준을 조속히 마련하는 등 'CFE 이니셔티브'의 국제 확산을 통해 우리 기업의 탄소중립 달성을 지원해 나가겠다”고 밝혔다. 김상협 탄소중립녹색성장위원장은 “CFE 이니셔티브의 성공을 위해서는 산업계의 호응과 참여를 얻는 것이 중요하다”며 “글로벌 탄소중립에 기여하는 국제규범으로 폭넓게 인정받을 수 있도록 노력해나가자”고 강조했다. 참석자들은 “첨단산업 등 제조업 비중이 높은 우리 산업의 여건 상 '탄소중립 대응'과 '산업경쟁력 확보'를 보다 효과적으로 달성하기 위해서는 지난해 12월 유엔기후변화협약 당사국 총회(COP 28)에서 국제사회가 합의한 것처럼 다양한 무탄소에너지를 적극 활용해야 하며, 무탄소에너지의 잠재력을 실제의 공급 능력 확충으로 연결해야 한다”는 데 대체로 공감했다.

2024.03.15 14:01주문정

이회성 CF연합 회장 "올해 CF연합 글로벌 협의체 도약 원년"

이회성 CF연합 회장은 29일 “올해를 CF연합의 글로벌 협의체 도약 원년으로 삼아 무탄소에너지(CFE) 이니셔티브 확대·발전을 위한 활동을 본격적으로 전개할 것”이라고 밝혔다. 이 회장은 이날 정부세종청사에서 기자들과 만나 “올해 주요 국가들과 함께 CFE 국제표준·인증제도를 설계하고 CFE 글로벌 확산을 위한 국제공조를 강화하는 한편, 개도국 협력 방안을 도출해 나가겠다”며 이같이 말했다. 이 회장은 기후변화에관한정부간협의체(IPCC) 의장을 8년간 역임한 후 지난해 10월 출범한 CF연합을 이끌고 있다. CF연합은 국내 산업부문에서 탄소배출 비중 67%를 차지하는 주요 업종 대표 기업 20곳이 참여하고 있다. 이 회장은 “지난해 12월 유엔기후변화협약 당사국총회(COP28) 합의문에는 COP 역대 최초로 재생에너지뿐만 아니라 원전·수소 등이 주요 탄소 감축수단으로 함께 명기됐고, 재생에너지만으로는 탄소중립 달성이 현실적으로 불가능하기 때문에 가용한 모든 무탄소에너지를 동원해야 한다는 국제사회의 커다란 패러다임 변화가 확인됐다”고 최근 기후변화 관련 글로벌 동향을 전했다. 이 회장은 CFE 이니셔티브가 원전 확대를 위한 것이라는 일각의 우려에 대해 “재생에너지와 원전은 모두 무탄소에너지인 만큼 상호 보완적 관계에 있다”며 “우리 산업이 탄소중립이라는 더 큰 목표를 최소비용으로 달성하기 위해 재생에너지·원전·수소·CCUS 등 다양한 무탄소에너지를 최대한 활용하는 포괄적인 접근법이 필요하다”고 강조했다. 최근 반도체·AI 등 첨단산업은 재생에너지만을 활용해야 수출이 가능하다는 일각의 우려에 대해서도 “일부 글로벌 기업이 국내 기업에 RE100을 요구하는 경우가 있지만, 이는 '자사에 납품하는 비중 만큼'을 요구하는 것”이라며 “국내 기업이 글로벌 기업에 공급하는 제품 매출 비중이 10%이면 10%만 재생에너지로 공급하면 요구 기준을 충족한다”고 설명했다. 이 회장은 이어 “첨단산업 발전과 탄소중립 달성을 병행 추진하고 있는 미국·영국·프랑스 등 주요 선진국도 대규모 전력 수급을 위해 재생에너지·원전·수소 등 모든 무탄소에너지를 조화롭게 확대하는 전략을 구사하고 있다”고 덧붙였다. 산업통상자원부와 CF연합은 다양한 무탄소에너지를 활용해 탄소중립을 더욱 효과적으로 실천할 수 있는 새로운 방안으로 CFE 이니셔티브를 국제사회에 제안하고 있다. 기본적으로 ▲CFE 이니셔티브 ▲RE100 ▲24/7 CFE 컴팩트는 모두 탄소중립 이행을 위한 자율적 규범이라는 점에서는 공통적이다. 다만, CFE 이니셔티브는 RE100과 달리 재생에너지뿐만 아니라 모든 무탄소에너지 사용을 인정하고 있다. 24/7 CFE 컴팩트에서 요구하는 실시간 조달 원칙은 실현 가능성을 고려해 단계적으로 적용해 나간다는 점에서 차이가 있다. 강경성 산업부 제1차관은 “CFE 이니셔티브는 산업 발전과 탄소중립을 동시에 달성해야 하는 우리 산업계의 어려움과 현실적인 고민이 담긴 민관합동의 결과물”이라며 “정부는 이회성 회장을 지난해 10월에 무탄소에너지 특임대사로 임명하여 CFE 이니셔티브를 해외에 적극 알릴 수 있도록 지원하고 있다”고 밝혔다. 강 차관은 “우리나라가 CFE 이니셔티브를 국제사회에 제안한 지 얼마 되지 않았지만 단기간임에도 영국·프랑스·네덜란드·사우디·UAE 등 주요국이 공식적으로 지지를 표명하고 관심을 보여주고 있다”며 “국제사회에서도 시급한 기후위기 대응을 위해 특정 에너지만이 아닌 다양한 무탄소에너지를 모두 적극 활용해야 한다는 방향으로 커다란 패러다임의 변화가 나타나는 등 CFE 이니셔티브가 확산을 위한 좋은 환경이 구축되고 있다”고 덧붙였다. 산업부 관계자는 “CFE 이니셔티브는 여타 규범과 달리 무탄소 전력사용(scope 2·간접배출) 외에 생산공정(scope 1·직접배출)에서의 실질적인 탄소 감축도 포함하기 때문에 탄소 감축을 위한 기업의 다양한 노력이 함께 인정받을 수 있을 것”이라고 설명했다. 이 관계자는 “CFE 이니셔티브는 초기 주요국 중심 글로벌 규범화 단계를 거쳐 중장기적으로 개도국 확산을 추진할 계획”이라며 “산업계의 탄소감축 현실을 반영해 설계되는 만큼 수용성·확장성 측면에서 더욱 설득력을 얻을 것”으로 기대했다.

2024.01.29 11:22주문정

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