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인피니티시마, ASML 등 협력사와 계측 성능 고도화 프로젝트 착수

인피니티시마는 ASML을 비롯한 파트너사들과 함께 3년에 걸친 공동 개발 프로젝트에 착수한다고 23일 밝혔다. 이번 프로젝트에서 'Metron3D' 300mm 인라인 웨이퍼 계측 시스템은 하이브리드 본딩, 고개구율(high-NA) EUV 리소그래피, 그리고 상보성 전계효과 트랜지스터(CFET)와 같은 차세대 3D 로직 반도체 구조 등 첨단 애플리케이션을 위한 계측 솔루션을 최적화하고 탐색하는 데 활용될 예정이다. 이 프로젝트는 인피니티시마의 RPM(Rapid Probe Microscope) 기술과 각 파트너사의 전문 역량을 결합해 고속 이미징, 간섭계 수준의 정밀도, 그리고 깊이 있는 3차원(3D) 표면 분석을 가능하게 하는 것이 목표다. 이를 통해 관련 업계가 고속, 대량 생산 환경에서도 소자 전 구조에 걸쳐 정밀한 3D 계측 데이터를 확보해야 하는 시급한 요구에 대응할 수 있을 것으로 기대된다. 이번 프로젝트의 일환으로, 인피니티시마는 나노일렉트로닉스 및 디지털 기술 분야의 세계적인 연구·혁신 허브인 imec에 장비를 설치할 예정이다. 해당 시스템은 ASML을 포함한 파트너사들이 차세대 디바이스 개발을 가속화하고, high-NA EUV 레지스트의 이미징 특성 분석 및 기술 개발을 지속하는 데 활용된다. 인피니티시마는 imec과의 긴밀한 협력을 통해 새로운 장비 기능을 개발 및 향상해 나갈 계획이다. 이번 협력은 미래형 반도체 디바이스 제조를 위한 핵심 기술인 진정한 3D 공정 제어 구현을 목표로 하고 있다. 인피니티시마와 imec의 파트너십은 인피니티시마의 특허 받은 RPM 기술을 활용한 팁 유도 나노스케일 단층 촬영 감지 기능의 연구 및 고장 분석 분야에 대한 적용 프로젝트로 2021년에 처음 시작됐다. 이번에 새롭게 시작한 협력은 인피니티시마와 imec 간 파트너십을 고속 인라인 생산 계측 분야로 확장하는 것으로, 나노미터 이하 수준의 특성과 점점 더 복잡해지는 3D 구조에 대한 반도체 업계의 정밀 검사 및 계측 요구에 대응하기 위한 것이다. 피터 젠킨스 인피니티시마 회장 겸 CEO는 “imec과의 기존 협력을 확장해 차세대 반도체 공정의 핵심 단계에서 직면하는 중요한 계측 과제들을 지원하게 되어 매우 기쁘다”고 밝혔다.

2025.07.23 13:25장경윤 기자

中, ASML 대체 기술 국산화 박차… 印, 대만과 전략적 경제 협력 강화

미·중 기술 패권 경쟁이 격화되는 가운데, 중국이 네덜란드 반도체 장비업체 ASML을 대체할 자체 노광 기술 개발에 본격 나섰다. 인도는 타이완과의 협력을 강화하며 반도체 중심의 공급망 재편에 속도를 내고 있다. 닛케이신문은 중국이 미국 반도체 장비 수출 규제에 대응하기 위해 극자외선(EUV) 노광 장비 기술 국산화에 나섰다고 현지시간 17일 보도했다. 화웨이 계열의 SiCarrier를 비롯해 상하이 소재의 YLS(SH Yuliangsheng)와 SEME 등 관련 기업들이 광학 부품 및 노광 장비 기술 개발에 집중하고 있으며, 중앙 및 지방정부도 연구개발비를 대거 투입 중이다. 디디에 수세마마 투자은행 뱅크오브아메리카(BofA) 연구원은 “ASML 수준의 장비를 단기간에 따라잡는 것은 어렵겠지만, 중국 자체 생산라인에 적용할 수준의 기술력은 향후 10년 내에 가능할 수 있다”고 분석했다. 印, 대만과 협력 강화…공급망 새 축으로 부상 한편, 인도는 반도체를 포함한 첨단 기술 분야에서 대만과 전략적 연계를 강화하고 있다. 최근 인도 고위급 대표단이 타이베이를 방문했으며, 양국은 금융 중심지인 GIFT시티(구자라트 국제금융기술도시)를 거점으로 한 협력을 본격화하고 있다. 현재 250개 이상의 대만 기업이 인도에 진출해 있으며, 특히 반도체 및 정보기술(IT) 부문에서 공동 투자 및 공급망 구축 논의가 활발하게 이루어지고 있다. 미국은 중국산 기술 제품에 대한 추가 관세를 검토하고 있으며, 이에 따라 중국은 기술 독립에 집중하고, 인도는 '차이나 플러스 원' 전략에 따라 글로벌 기업의 대체 생산기지로 부상하고 있다. IT 기업 위스트론 자프 린 CEO는 “AI 서버 수요는 안정적이지만, 미국의 정책 불확실성으로 소비재 전략 수립이 어려운 상황”이라며 "동아시아 공급망의 재편 가능성이 높다"고 진단했다.

2025.07.20 10:20전화평 기자

ASML, 2분기 실적 호조세…"High-NA EUV 장비 첫 출하"

주요 반도체 장비기업 ASML이 올 2분기 견조한 실적을 거뒀다. 또한 차세대 EUV 장비 첫 출하, 신규 수주액 증가 등 중장기적 성장동력 확보도 순조롭게 진행되고 있는 것으로 나타났다. ASML은 올 2분기 매출액 76억9천만 유로(한화 약 12조4천억원), 순이익 23억 유로(약 3조7천억원)를 기록했다고 16일 밝혔다. 전년동기 대비 매출은 24.2%, 순이익은 43.8% 증가했다. 매출총이익률은 53.7%다. 이번 매출과 수익성은 증권가 컨센서스를 상회하는 수치다. 서비스 매출 증가와 일회성 이익이 영향을 끼쳤다. 또한 고부가 제품인 EUV(극자외선) 장비 매출액이 전년동기 대비 크게 늘어났는데, 차세대 EUV 기술인 High-NA(고개구수) EUV 장비가 해당 분기 첫 출하됐다. 크리스토프 푸케 ASML 최고경영자(CEO)는 "특히 D램 분야에서 공정 미세화가 진전을 보이고 있고, 신규 EUV 장비인 'NXE:3800E'의 도입이 이러한 추세를 강화하고 있다"며 "이번 분기 High-NA EUV 장비인 'EXE:5200B' 시스템을 처음으로 출하했다"고 밝혔다. 3분기 총 순매출은 74억~79억 유로, 매출총이익률은 50%~52%로 전망했다. 올해 연간 총 순매출은 전년 대비 15% 성장을, 매출총이익률은 약 52% 수준으로 내다봤다. 3분기 전망치는 업계 예상을 하회하나, 연간 전망치는 대체로 컨센서스에 부합하는 수준이다. 다만 신규 수주액이 증가했다는 점은 고무적이다. ASML의 올 2분기 신규 수주액은 55억 유로로, 증권가 컨센서스인 48억 유로를 크게 웃돌았다.

2025.07.16 17:19장경윤 기자

한-네덜란드 첨단반도체 고급인재 양성 교류 본격화

산업통상자원부와 한국산업기술진흥원(KIAT·원장 민병주)은 16일부터 20일까지 5일간 네덜란드에서 한-네덜란드 반도체 고급인재 양성과 교류의 장인 '2025 한-네 첨단반도체 아카데미'를 개최한다고 밝혔다. 올해로 2회째인 한-네 아카데미는 양국 반도체 기업 협력을 기반으로 글로벌 첨단반도체 고급인재 양성을 위한 전문 교육과정이다. 이번 아카데미에서는 성균관대·KAIST·UNIST·포항공대·한양대·경북대 등 국내 6개 반도체특성화대학원에 재학 중인 석·박사과정 학생 50명이 ASML·NXP 등 글로벌 첨단반도체 기업과 에인트호번공대·IMEC을 방문, 전문가 특강·팀 프로젝트 챌린지 등 다양한 교육 프로그램을 수행한다. 산업부는 한-네 반도체 아카데미에서 국내 연구생들이 최첨단 반도체 기술개발 동향을 학습하고 국내 반도체 연구개발(R&D) 역량을 한층 더 높일 것으로 기대된다. 이번 한-네 아카데미에서는 '미래반도체'를 주제로 한-네 양국 간 연구협력과 교육방안에 관한 심도 있는 토론을 진행한다. 또 현지 기업에서는 반도체 경량화를 가능하게 하는 패터닝 기술·차량용 반도체 기술 등 전문가 특강도 예정돼 있다. 교육 마지막 날에는 학생들이 팀 프로젝트 챌린지를 통해 학습한 내용을 종합하고, 반도체 기술개발에 관한 창의적인 아이디어를 적극 제안할 예정이다. 한편, 오는 7월과 8월에는 각각 에인트호번공대와 KAIST, 델프트공대와 한국반도체아카데미 간 교류 행사가 예정돼 있다. 9월에는 한국반도체아카데미 우수 수료생 30명을 대상으로 5일간의 현지 교육을 통해 학생에게 실무지식을 함양하고 견문을 넓힐 기회를 제공할 계획이다.

2025.06.16 10:46주문정 기자

ASML, 1분기 실적 견조…"수주 부진·관세 불확실성 우려"

세계 유일의 EUV(극자외선) 노광장비 업체 ASML이 1분기 견조한 실적을 거뒀다. 다만 해당 분기 신규 수주액은 기대에 못 미치는 상황으로, 최근 불거진 관세 정책도 불확실성을 더하고 있다. ASML은 올 1분기 매출액 77억4천만 유로, 영업이익 27억4천만 유로를 기록했다고 16일 밝혔다. 매출은 전년동기 대비 46.4% 증가했으며, 전분기 대비로는 16.4% 감소했다. 영업이익은 전년동기 대비 96.8% 증가했으며 전분기 대비 18.4% 감소했다. 장비별로는 EUV 분야의 성장세가 두드러졌다. EUV 장비 매출액은 32억1천만 유로로, 전년동기 대비 76.2%, 전분기 대비 7.6% 증가했다. 이외에도 EUV의 하위 기술인 이머전 ArF(불화아르곤)은 매출 18억9천만 유로 등을 기록했다. 이번 ASML의 1분기 실적은 증권가 컨센서스에 대체로 부합하는 실적이다. 또한 연간 매출 가이던스는 300억~350억 유로로, 최근 불거진 미국과 중국 간의 관세 정책 속에서도 기존과 동일한 전망을 유지했다. 다만 올 1분기 신규 수주액은 기대치에 미치지 못했다. ASML은 1분기 신규 수주액으로 39억3천600만 유로를 제시했다. 블룸버그의 예상치인 48억2천200만 유로를 크게 밑도는 수치다. 크리스토프 푸케 ASML CEO는 "최근 떠오른 관세 정책이 새로운 불확실성을 만들고 있고, 잠재적인 시장 수요에 간접적인 영향을 미칠 수 있어 동향을 매우 주의 깊게 지켜봐야할 필요가 있다"며 "다만 현 시점에서는 여전히 올해 매출을 300억~350억 유로 사이로 보고 있다"고 말했다.

2025.04.16 17:06장경윤 기자

삼성전자, 'High-NA EUV' 설비 평가 중…차세대 파운드리 시대 준비

삼성전자가 2나노미터(nm) 이하 파운드리 공정 구현을 위한 'High-NA(고개구율) EUV(극자외선)' 기술 개발에 주력하고 있다. 올해 본격적인 설비 도입을 앞두고, 지난해부터 실제 공정 적용을 위한 평가를 진행해 온 것으로 알려졌다. 관련 내용은 다음달 세계적인 학술대회에서 공개될 예정이다. 업계에 따르면 삼성전자는 다음달 23일(현지시간)부터 27일까지 미국 산호세에서 개최되는 'SPIE 첨단 리소그래피 + 패터닝' 학술대회에서 High-NA EUV를 비롯한 첨단 기술을 공개할 예정이다. 삼성전자는 이번 학술대회에서 High-NA EUV를 비롯한 차세대 노광 기술을 대거 발표할 예정이다. 노광은 빛을 통해 반도체 웨이퍼에 회로(패턴)를 새기는 공정으로, 반도체 제조에서 가장 높은 비중을 차지하고 있다. EUV는 기존 반도체 노광공정 소재인 ArF(불화아르곤) 대비 빛의 파장이 13분의 1 수준으로 짧아(13.5나노미터), 초미세 공정 구현에 용이한 광원이다. 7나노 이하의 첨단 파운드리 공정에서 사실상 필수적으로 도입되고 있다. High-NA EUV는 EUV에서 성능을 한 차례 더 끌어 올린 기술이다. NA는 렌즈 수차로, 해당 수치를 높일 수록 해상력이 향상된다. 기존 EUV의 렌즈 수차는 0.33로, High-NA EUV는 0.55로 더 높다. 덕분에 High-NA EUV는 2나노 이하의 차세대 파운드리 공정에 적용될 것으로 기대되고 있다. 삼성전자도 이르면 올해 상반기 ASML의 첫 High-NA EUV 설비인 'EXE 5000'를 1대 도입할 것으로 전망된다. 해당 장비는 가격이 5천억 원을 호가할 정도로 비싸다. 이에 앞서 삼성전자는 지난해부터 High-NA EUV 설비에 대한 공정 적용 평가 등을 진행해온 것으로 알려졌다. 삼성전자는 이번에 발표하는 'High-NA EUV를 이용해 차세대 로직 소자의 패터닝 장애물 뛰어넘기' 논문 초록에서 "지난해 EXE 5000을 사용해 기본적인 장비 성능과 마진 등을 실험해보고 있다"며 "또한 EXE 5000 장비를 레지스트, 현상 등 관련 공정과 연동해보고 있다"고 설명했다. 삼성전자는 이를 기반으로 High-NA EUV 설비가 향후 어떤 제품 로드맵에 적용될 수 있을 지 소개할 예정이다. 현재 삼성전자는 첨단 파운드리 시장에서 대형 고객사를 확보하지 못하고 있는 상황으로, 차세대 공정을 위한 기술력 강화가 절실한 상황이다. 반도체 업계 관계자는 "설비 투자 이전에도 ASML이 보유한 High-NA EUV 설비를 통해 관련 기술을 미리 테스트해볼 수 있다"며 "이를 통해 장비를 보다 안정적으로 도입할 수 있다"고 설명했다. 한편 해당 학술대회는 세계적인 권위를 갖춘 국제광공학회(SPIE)가 주최하는 행사다. 삼성전자, SK하이닉스, 인텔, 마이크론 등 주요 반도체 기업들과 연구기관들이 모여 첨단 노광 기술을 주제로 발표를 진행한다.

2025.01.29 09:26장경윤 기자

ASML 반도체 장비 수출 정부 허가받아야…中 반발

네덜란드 정부가 ASML의 반도체 장비 수출 통제를 강화하자 중국이 반발했다. 중국 상무부는 15일(현지시간) 반도체 제조 장비와 소프트웨어 수출 통제를 강화한 네덜란드에 우려를 표한다고 발표했다. 상무부는 반도체 산업은 고도로 세계화된 분야라며 수출 통제를 남용해 반도체 공급망을 흔드는 일부 국가에 반대한다고 강조했다. 또 네덜란드는 세계무역기구(WTO) 회원국으로서 국제 무역 규칙을 지키기 바란다며 각국 기업의 정당한 권익을 보장해야 한다고 주장했다. 네덜란드 정부는 오는 4월부터 ASML 같은 자국 업체가 반도체 장비를 수출하려면 정부로부터 허가받도록 했다. ASML은 반도체 미세 공정에 쓰는 극자외선(EUV) 노광 장비를 세계에서 유일하게 생산한다. 미국이 제재해 ASML은 첨단 장비에 이어 구형 장비도 중국에 수출하기 어려워졌다.

2025.01.16 16:13유혜진 기자