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AMAT, 새 전자빔 계측장비 공개..."하이-NA EUV 노광 공정 속도 개선"

미국 반도체 장비 회사 어플라이드머티어리얼즈(AMAT)가 최근 선보인 전자빔 계측 장비 '베리티SEM10'으로 반도체 생산 능력을 30%까지 개선할 수 있다고 밝혔다. 베리티SEM10은 극자외선(EUV)과 하이-NA EUV 노광 공정으로 패터닝된 반도체 소자의 패턴 거리 측정(CD)을 정밀하게 하도록 설계됐다. 반도체 제조사는 노광 스캐너가 마스크에서 감광액(PR·포토레지스트)으로 패턴을 그리면 패턴 거리 측정 주사전자현미경(CD-SEM)을 사용해 이를 나노미터(1㎚=10억분의 1m) 이하 단위로 측정할 수 있다. 식각 후에도 설계 패턴과 웨이퍼 상 결과를 비교하기 위해 CD-SEM이 쓰인다고 AMAT는 소개했다. 이석우 AMAT 이미징 및 프로세스 제어 기술 총괄은 24일 온라인 기자간담회에서 “베리티SEM10을 일반적인 CD 공정에 쓴다면 생산 능력을 10% 정도 끌어올릴 수 있다”며 “하이-NA EUV처럼 진화되는 공정에서는 30%까지 처리량을 늘릴 수 있다”고 말했다. 이 총괄은 “AMAT의 베리티SEM10은 기존 CD-SEM보다 30% 빠른 스캔 속도로 포토레지스트와 상호 작용을 축소하고 처리량을 늘린다”며 “반도체 제조사는 공정을 빠르게 개발하고 대량 생산 수율을 높일 수 있다”고 설명했다. 특히 “하이-NA EUV 공정에서 포토레지스트 두께가 얇아지면서 반도체 기기 소자 패턴 거리를 측정하기가 점점 어려워지고 있다”며 “나노미터 이하로 정확하게 계측해 고분해능 이미지를 캡처하려면 CD-SEM이 매우 얇은 포토레지스트가 있는 좁은 공간에 얇은 전자빔을 정확하게 쏘는 기술이 필요하다”고 강조했다. AMAT는 지난 1년 동안 베리티SEM10을 30개 이상 출하했다. 이 총괄은 “국내외 주요 로직·메모리 반도체 회사가 관심을 나타냈다”며 “여러 고객이 게이트올어라운드(GAA) 트랜지스터를 개발하는 도구로 이 장비를 선택했다”고 전했다.

2023.04.24 16:54유혜진

작년 반도체 장비 매출액 1076억 달러…역대 최고

지난해 세계 반도체 장비 매출액이 역대 최고 기록을 갈아치웠다. 국제반도체장비재료협회(SEMI)는 지난해 세계 반도체 장비 매출액이 2021년 1천26억 달러에서 5% 늘어난 1천76억 달러(약 140조원)로 집계됐다고 14일 밝혔다. 지역별로 보면 중국이 3년째 반도체 장비를 가장 많이 샀다. 투자액이 5% 줄었지만 지난해 283억 달러를 기록했다. 두번째로는 대만 구매액이 8% 증가한 268억 달러로, 4년 연속 성장했다. 한국에서는 14% 감소한 215억 달러의 매출액을 나타냈다. 유럽은 63억 달러로 93% 급증했다. 북미 또한 38%의 높은 성장률로 105억 달러를 기록했다. 부문별로는 지난해 웨이퍼 가공 장비 매출액이 8%, 기타 전공정 부문은 11% 늘었다. 패키징·조립 장비 매출은 19%, 시험 장비는 4% 줄었다. 아짓 마노차 SEMI 최고경영자(CEO)는 “고성능 컴퓨팅과 차량용 반도체 산업이 커져 반도체 공장에서도 생산 능력을 확장해야 한다는 요구가 많다”며 “이 덕에 지난해 반도체 장비 매출액이 역대 최고치를 찍었다”고 말했다.

2023.04.14 15:03유혜진

어플라이드머티어리얼즈, 친환경·비용 절감 패터닝 장비 신제품 선봬

미국 반도체 장비 회사 어플라이드머티어리얼즈(AMAT)는 2일 패터닝 장비 신제품 '센튜라 스컬프타(Centrua Sculpta)'를 선보였다. AMAT는 비용이나 재료, 에너지를 더 쓰지 않고도 반도체 제조사가 설계를 축소할 수 있도록 고객사와 협력해 이를 개발했다고 설명했다. 반도체 제조사는 싱글 극자외선(EUV) 패턴을 프린팅한 다음 스컬프타 장비로 패턴 형태를 원하는 방향으로 길게 늘려 소자 간 간격을 줄이고 패턴 밀도를 높일 수 있다. 최종 패턴은 싱글 마스크로부터 생성되기 때문에 설계 비용이 줄고 덜 복잡하며 더블 패터닝 정렬 오류 탓에 수율이 떨어질 가능성도 없다고 AMAT는 소개했다. 반도체 제조사가 스컬프타 장비를 쓰면 ▲10만 WSPM(Wafer Starts Per Month) 생산능력당 2억5천만 달러 절감 ▲웨이퍼당 50달러 이상 생산 비용 절감 ▲웨이퍼당 15kWh 이상 에너지 절약 ▲웨이퍼당 0.35kg 이상 온실가스 배출량 감축 ▲웨이퍼당 15리터 이상 용수 절약 효과를 볼 수 있다고 AMAT는 강조했다. 프라부 라자 AMAT 수석부사장은 “스컬프타 장비의 패터닝 형성 기술은 AMAT의 리본 빔(ribbon-beam)과 재료 식각 기술을 결합한 혁신”이라고 말했다. 라이언 러셀 인텔 부사장은 “인텔은 공정 설계부터 AMAT와 협력하고 있다”며 “스컬프타 장비로 설계·제조 비용을 아끼고 공정 시간을 줄이면서 환경도 보호할 것”이라고 나섰다. 박종철 삼성전자 파운드리사업부 식각기술팀 마스터는 “패터닝 한계를 극복하려면 팁 간격 조절, 패턴 브릿지 결함, 라인 에지 러프니스(roughness) 과제를 해결해야 한다”며 “스컬프타 장비가 이 문제를 극복하고 생산 비용을 줄이는 데 도움 될 것”이라고 기대했다.

2023.03.02 17:07유혜진

세계 반도체 장비 1위 AMAT "경기도에 연구소 설립...부지 물색 중"

매출 기준 세계 1위 반도체 장비 회사인 미국 어플라이드머티어리얼즈(AMAT)가 경기도에 연구소를 짓기 위해 관련 부지를 찾고 있다며 곧 선정할 것이라고 밝혔다. 박광선 어플라이드머티어리얼즈 한국지사장은 13일 서울 삼성동 그랜드인터컨티넨탈서울파르나스호텔에서 열린 기자간담회에서 “경기도와 업무협약(MOU)을 맺고 연구소를 어디 지을지 찾고 있다”며 “조만간 결정할 것”이라고 말했다. 어플라이드머티어리얼즈는 지난해 9월 22일(현지시간) 윤석열 대통령이 유엔총회에 참석하고자 미국을 찾은 가운데 개최된 북미 지역 투자 신고식에서 반도체 장비 연구소를 경기도에 신설하겠다고 발표했다. 박 사장은 “어플라이드머티어리얼즈 장비의 70%를 미국 텍사스 오스틴에서 만든다”며 “한국에서 생산하는 비중은 작지만, 연구소를 지어 고객과 협업할 것”이라고 설명했다. 어플라이드머티어리얼즈 한국연구소는 삼성전자와 SK하이닉스 반도체 공장이 있는 경기 용인·화성·평택시 인근에 자리 잡을 것으로 보인다. 박 사장은 “고객사와 무조건 가까운 쪽으로 가려고 한다”고 언급했다. 그는 “경기도 연구소는 어플라이드머티어리얼즈가 해외에 짓는 첫 번째 전공정 설비 연구소”라며 “대만에도 없고, 당분간 그곳에 지을 계획도 없다”고 강조했다. 그러면서 “한국 반도체 기업과 메모리 반도체는 물론이고 반도체 위탁생산(Foundry·파운드리)까지 아우르는 협력 장소를 만드는 데 의미가 있다”고 설명했다. '투자 금액과 완공 일정이 궁금하다'는 물음에는 “예측하기 어렵다”며 “부지를 정하고 나서 땅값과 디자인·건축 비용을 고려해야 한다”고 답했다. 다만 “최대한 빠르게 진행해 내년까지 완공하고 싶었지만 부지를 찾고 법률을 검토하느라 미뤄졌다”며 “부지를 고르고 2년이면 다 짓지 않을까 싶다”고 덧붙였다. 한편 어플라이드머티어리얼즈는 이날 전자빔(eBeam) 기술을 활용한 반도체 계측·검사 장비 신제품을 공개했다. '프라임비전 10 결함 검출 장비'는 반도체 실리콘 원판(Wafer·웨이퍼) 표면에 미세한 결함이 있는지 검사한다. 이석우 어플라이드머티어리얼즈 한국지사 기술 담당은 “나노미터(1㎚=10억분의 1m) 단위 3차원(3D) 게이트올어라운드(GAA) 구조 로직 소자와 고종횡비(High Aspect Ratio) 메모리 소자 수율에 영향을 미치는 치명적인 결함을 검사한다”고 소개했다.

2023.02.13 14:08유혜진

美 반도체장비 업체 AMAT, SKC 앱솔릭스에 투자

미국 반도체 장비 업체 어플라이드머티어리얼즈(AMAT)가 SKC의 반도체 글라스 기판 자회사 앱솔릭스에 투자한다. 3일 금융감독원 전자공시시스템에 따르면 SKC는 종속회사 앱솔릭스가 시설 자금 1천659억원을 조달하기 위한 제3자 배정 유상증자를 결정했다고 최근 공시했다. 신주 13만주를 발행하는 유상증자에 SKC와 어플라이드머티어리얼즈가 참여한다. SKC가 9만주, 어플라이드머티어리얼즈가 4만주 취득하기로 했다. 앱솔릭스는 미국에서 반도체 글라스 기판 공장을 짓는 데 이번 자금을 쓰기로 했다. 내년 말까지 2억4천만 달러를 들여 1만2천㎡ 규모 생산 시설을 건설하기로 했다.

2023.01.03 10:08유혜진