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제덱스, 반도체용 정전척·스퍼터링 타겟·풉 파티클 검사장비 출시

반도체 파티클 제어 전문기업 제덱스(JEDEX)는 정전척(ESC)을 비롯해 스퍼터링 타겟, 풉(FOUP) 등 정밀 파티클 검사가 어려웠던 공정 핵심 부품까지 분석할 수 있는 검사 시스템 'M802ESC'를 출시했다고 19일 밝혔다. M802ESC는 기존 M2000ESC의 차세대 모델로, 나노급 초미세 공정 대응을 위해 개발됐다. M802ESC는 대형·고중량 구조와 표면 정밀도 문제로 인해 기존 방식으로는 정량적 평가가 쉽지 않았던 부품들의 검사가 가능해졌다는 점이 가장 큰 특징이다. 또한 직경 610mm 이내 시료 대응과 최대 50kg 하중 설계를 적용했다. M802ESC는 기본 0.1µm 이상 입자 검출이 가능하며, 옵션 적용 시 10nm 센서를 통해 극초미세 파티클까지 계수할 수 있다. X·Y·Z 로봇 제어 기반 스캔 노즐 방식을 통해 표면의 약 90% 영역을 균일하게 검사한다. 특히 비접촉 방식의 고효율 입자 추출 시스템을 구현해 시료를 오염시키지 않으면서 입자를 분리·회수한다. 특허 기반 회수 헤드와 입자 확산 방지 구조를 적용해 검사 중 2차 오염을 원천 차단했다. 또한 ULPA 필터 기반 클래스 1 초청정 환경을 유지해 데이터 신뢰도를 확보한다. 제덱스 관계자는 "M802ESC의 출시로 이제까지 정량적 검사가 어려웠던 부품까지 데이터 기반 평가가 가능해지면서 공정 수율 관리의 패러다임이 바뀔 것"이라고 밝혔다.

2026.02.19 11:01장경윤 기자

신성이엔지, 습도·정전기 동시 제어 'EDM 이오나이저' 공개

클린룸 및 에너지 솔루션 전문기업 신성이엔지가 반도체 생산 인프라의 핵심인 정전기와 습도를 동시에 제어하는 신기술을 선보이며 글로벌 반도체 시장에서 기술 리더십을 공고히 한다. 신성이엔지는 챔버 내부에 제습 유닛과 이오나이저(Ionizer)를 일체화해 설치 공간을 최소화하고 정전기를 제거하는 '이오나이저를 구비한 이에프이엠챔버' 특허를 공개했다고 16일 밝혔다. 이번 특허는 기존 장비의 설치 공간 부족과 건조 환경 내 정전기 발생 문제를 동시에 해결한 것이 특징이다. 반도체 미세 공정이 고도화되면서 웨이퍼 파티클 및 환경 오염 관리 요구 수준이 높아지고 있다. 기존에는 설비 내부 습도를 낮추기 위해 EFEM 외부에 별도 제습 공기 공급장치를 설치하고 배관을 연결해야 했으며, 이는 설비 부피 증가와 공간 부족(Footprint) 문제를 초래했다. 신성이엔지가 개발한 이번 기술은 제습 유닛을 챔버 본체 내부 상측에 팬 필터 유닛(FFU)과 일체화해 외부 제습 장치와 배관을 제거했다. 이를 통해 설비 전체 부피를 줄여 반도체 팹(FAB)의 공간 활용도를 극대화하고 제조 원가를 절감할 수 있게 됐다. 이번 기술은 단순 제습을 넘어 '정전기 제어' 솔루션까지 통합했다. 통상 공기 중 수분이 제거되어 습도가 낮아지면 정전기 발생이 증가하고, 이로 인해 기판에 파티클이 쉽게 부착된다. 신성이엔지는 이를 해결하기 위해 제습 유닛 하단과 필터 사이에 이오나이저를 배치했다. 이 구조는 제습된 청정 공기에서 정전기를 즉각 제거해 기판 표면의 파티클 부착을 방지한다. 기존에는 파티클 제거를 위해 송풍팬 풍속을 높여야 했으나, 이오나이저 적용으로 과도한 풍속 증가 없이도 오염을 방지해 에너지 소비를 줄일 수 있다. 신성이엔지 관계자는 "수십 년간 축적한 클린룸 및 공조(HVAC) 엔지니어링 역량을 바탕으로 이번 기술을 완성했다"며 "특히 HBM(고대역폭메모리) 같은 첨단 반도체 패키징 및 초미세 공정 비중이 커지는 추세에서, 당사의 정밀 제어 기술은 글로벌 반도체 제조사의 생산성을 높이는 핵심 인프라 솔루션이 될 것"이라고 말했다.

2026.01.16 15:48장경윤 기자

[ZD 코인 리포트] 코인원, 파티클 네트워크(PARTI) 원화 마켓 상장

국내 가상자산 거래소 코인원이 파티클 네트워크(PARTI)를 원화 마켓에 상장합니다. 거래는 21일 오후 6시부터 지원되며, PARTI는 BNB 스마트체인(BEP-20) 기반으로 운영됩니다. 파티클 네트워크(PARTI) 거래 정보 -입출금 일정 입금 오픈: 2025년 8월 20일 오후 5시 출금 오픈: 2025년 8월 21일 오후 12시 5분 -거래 지원 일정 매도 오픈: 2025년 8월 21일 오후 6시 매수 오픈: 2025년 8월 21일 오후 6시 5분 시장가·예약가 오픈: 2025년 8월 21일 오후 8시 5분 기준가: 248.7원 출금 수수료: 2 PARTI 지원 네트워크: BNB Smart Chain (타 네트워크 입금 미지원) 파티클 네트워크(PARTI) 프로젝트 소개 파티클 네트워크는 체인 간 경계를 넘는 '계정 추상화(Account Abstraction)'를 목표로 하는 블록체인 인프라 프로젝트입니다. 핵심 구조는 다양한 블록체인 생태계에서 하나의 계정과 잔액으로 모든 활동을 수행할 수 있는 범용 계정(Universal Account, UA) 체계를 구현하는 데 있습니다. PARTI는 이 생태계에서 거버넌스 참여, 스테이킹, UA 기반 트랜잭션 수수료 지불 등 다양한 유틸리티 역할을 수행합니다. 체인 간 이동성과 상호운용성이 중요해지는 다중 체인 환경에서 핵심 인프라로 주목받고 있습니다. PARTI는 바이낸스, 바이비트, 비트겟, MEXC, OKX 등 주요 해외 거래소에서 거래 지원 중입니다.

2025.08.21 16:36김한준 기자