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'파크시스템스'통합검색 결과 입니다. (6건)

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파크시스템스, IR 분광 기능 통합된 AFM 장비 'Park FX40 IR' 출시

파크시스템스가 분자 수준의 화학 정보와 표현 형상 정보를 동시에 획득할 수 있는 첨단 계측 장비를 선보인다. 파크시스템스는 나노스케일 적외선(IR) 분광 기능을 통합한 스몰 샘플 전용 자동화 AFM 'Park FX40 IR'를 출시한다고 2일 밝혔다. FX40 IR은 지난해 출시된 FX200 IR 및 FX300 IR의 후속 제품이다. 각각 대형 샘플과 웨이퍼 전(全) 영역 규모에서 제공되던 나노스케일 IR 분석 역량을 스몰 샘플 연구 영역까지 확장한다. FX40 IR은 세계 최초의 완전 자동화 연구용 AFM인 Park FX40 플랫폼을 기반으로 개발됐다. Park FX40은 프로브 교체, 레이저 빔 정렬, 팁 접근, 이미지 획득에 이르는 측정 전 과정을 자동화해 사용 편의성과 재현성을 높였다. 또한 광학 현미경과 Z 스테이지를 분리한 FX 시리즈 고유의 기계 설계를 적용해 외부 진동 영향을 최소화함으로써 낮은 노이즈 플로어, 최소 수준의 열 드리프트, 우수한 기계적 안정성을 구현했다. FX40 IR은 이러한 검증된 AFM 플랫폼에 나노스케일 IR 분광 기능을 통합해 단일 측정 과정에서 분자 수준의 화학 정보와 표면 형상(topography) 정보를 동시에 획득할 수 있도록 지원한다. FX40 IR은 최대 20mm×20mm 크기의 샘플에서 나노스케일 IR 화학 정보와 표면 형상을 동시에 분석할 수 있다. 또한 표면 접촉 없이 5nm 이하의 공간 해상도로 분자 조성을 식별할 수 있다. 특히 비접촉 방식의 나노스케일 IR 측정은 기존 FT-IR(Fourier Transform Infrared Spectroscopy)의 약 10μm 광학 회절 한계를 뛰어넘고, 접촉 기반 광열 방식의 10~20 nm 수준 해상도 대비 향상된 공간 분해능을 제공한다. 조상준 파크시스템스 연구장비사업부 총괄 전무는 “FX40 IR은 단순한 기능 추가형 장비가 아니라, 나노스케일 IR 기능이 완전히 통합된 완전한 AFM 플랫폼”이라며 “FX IR 시리즈 포트폴리오 완성을 통해 고객은 칩 캐리어 수준의 소형 샘플부터 전체 웨이퍼 규모에 이르기까지 동일한 정밀도와 워크플로우, 자동화 환경에서 연구를 수행할 수 있게 됐다”고 말했다. 파크시스템스는 FX40 IR의 단계적 도입 방식도 함께 제공한다. 연구실은 향후 IR 모듈 통합을 고려해 업그레이드 가능한 FX40 시스템을 우선 도입한 뒤, 연구 확장 및 분석 수요 증가에 따라 IR 구성을 추가할 수 있다. 이를 통해 고객은 초기에는 세계적 수준의 자동화 AFM에 투자하고, 이후 장비 교체 없이 나노스케일 IR 분광 기능으로 연구 범위를 유연하게 확장할 수 있다.

2026.06.02 15:37장경윤 기자

파크시스템스, "최첨단 패키징서 연내 성과 기대…AFM 장비 공급 논의"

파크시스템스가 원자현미경(AFM) 장비로 최첨단 반도체 시장을 공략한다. AFM은 수 나노미터(nm)대 초정밀 계측이 가능한 기술로, 최첨단 반도체 전공정은 물론 후공정에서 수요가 확대되고 있다. 올해는 2.5D 패키징향으로 양산 장비 수주가 예상된다. 박상일 파크시스템스 대표는 29일 과천 본사에서 개최한 기업설명회에서 이러한 내용을 밝혔다. AFM은 미세한 크기의 탐침을 시료 표면에 원자 단위까지 근접시킨 뒤, 탐침과 표면 간 상호작용으로 시료 구조를 측정하는 장비다. 전자현미경(SEM) 대비 더 정밀한 나노미터 수준 계측이 가능하고, 시료의 전자기·기계 특성을 확인할 수 있다. 덕분에 AFM은 첨단연구소와 극자외선(EUV) 등 초미세 반도체 공정에서 수요가 증가해 왔다. 현재 국내외 메모리·파운드리 제조사가 파크시스템스의 AFM 장비를 연구 및 양산용으로 적용하고 있다. 'NX-하이브리드(Hybrid) WLI' 장비가 대표적이다. 백색광 간섭계(WLI)는 넓은 영역을 빠르게 계측하는 광학 기술이다. 정밀하지만 계측 속도가 느린 AFM 단점을 보완할 수 있다. 박 대표는 "파크시스템스는 AFM 업계에서 지난 2022년 1등을 기록한 뒤, 경쟁사와 계속 격차를 벌려 왔다"며 "회사 매출도 2015년 상장한 이래 한 번도 하락한 적 없이 매년 20~30%가량 성장해 왔다"고 설명했다. 2.5D 등 최첨단 패키징향 계측장비 'NX-TSH'도 본격 수주가 기대된다. NX-TSH는 대형 및 중량 샘플 계측이 가능한 AFM 장비다. 당초 디스플레이용으로 개발됐으나 대면적 패키징에서도 활용이 가능하다. 2.5D 패키징은 반도체와 기판 사이에 얇은 막 형태 인터포저를 삽입해, 칩 성능을 향상시키는 기술이다. 현재 대만 TSMC가 시장을 주도하고 있다. 엔비디아·AMD 등 글로벌 빅테크의 초고성능 AI 가속기도 모두 TSMC의 2.5D 패키징을 통해 만든다. 현재 파크시스템스는 전세계 최대 파운드리 기업과 NX-TSH 장비 양산 공급을 논의 중이다. 최근 최첨단 패키징 설비투자 규모가 확대되는 만큼, 올해를 시작으로 수주 규모가 지속 확대될 전망이다. 이동춘 파크시스템스 전무는 "최근 개발한 최첨단 패키징 영역은 2마이크로미터 이하 계측을 다뤄, 기존 광학 장비로는 대처할 수 없다"며 "고객들과 AFM 장비 공급을 논의 중이고, 수요는 계속 늘어날 것"이라고 기대했다. 인텔이 2.5D 패키징 사업을 확대하고 있는 점도 기대요소다. 인텔은 파크시스템스의 주요 고객 중 하나로, 최첨단 패키징 분야에서 협력을 이어오고 있다. 인텔은 자체 2.5D 패키징 기술 EMIB(Embedded Multi-die Interconnect Bridge)를 통해 구글 등 글로벌 빅테크를 고객사로 확보했다. 본격 양산 시점은 내년으로 전망된다. 박 대표는 "파크시스템스는 지금까지 성장세를 중장기에도 충분히 지속할 수 있는 여건에 있다"며 "인수합병(M&A) 역시 현재 전세계 5개 정도 기업을 후보로 검토 중이고, 빠르면 올해 안에 성과를 낼 수 있을 것"이라고 밝혔다.

2026.05.29 17:51장경윤 기자

파크시스템스, 과천 신사옥 개관…"나노계측 새 장 열겠다"

원자현미경(AFM) 업체 파크시스템스가 과천 본사 신사옥을 개관했다고 9일 밝혔다. 파크시스템스는 "과천 신사옥은 스탠퍼드에서 출발한 연구벤처였던 파크시스템스가 글로벌 나노계측 선도 기업으로 성장한 여정을 상징적으로 보여준다"고 자평했다. 과천지식정보타운에 위치한 캠퍼스 규모는 지상 15층, 지하 5층이다. 연면적은 2만7000제곱미터다. 지하층 산업용 클린룸은 신사옥 핵심이다. 이 공간은 산업용 계측 시스템을 최대 35대 수용하도록 설계했다. 반도체 제조와 첨단 패키징 분야에서 요구되는 정밀 계측 수요를 지원한다. 전용 연구실과 데모 랩도 마련돼 있다. 고객들은 파크시스템스의 나노계측 포트폴리오 전반에 걸쳐 시료를 직접 측정할 수 있다. 이곳에는 AFM, 이미징 분광 타원계측, 디지털 홀로그래픽 현미경이 포함된다. 애플리케이션과 엔지니어링 팀 지원도 제공된다. 현재 파크시스템스 글로벌 전체 인력의 26% 이상이 연구개발(R&D)에 종사하고 있다. 신사옥은 이러한 R&D 역량을 강화하고 확장하도록 설계했다. 과천 신사옥은 사내 피트니스센터, 직장 어린이집, 골프 시뮬레이터 라운지, 무료 식사를 제공하는 카페테리아 등을 갖췄다. 파크시스템스는 2015년부터 2025년까지 연평균 26% 성장률(CAGR)을 기록했다. 시장조사업체 마켓앤드마켓의 2024년 보고서에서 글로벌 AFM 시장 1위 기업에 선정되기도 했다. 파크시스템스를 창업한 박상일 최고경영자(CEO)는 "지난 30년 동안 나노 스케일 계측 한계를 넓혀왔다"며 "신사옥은 앞으로도 나노계측의 새로운 경계를 개척할 다음 혁신의 출발점이 될 것"이라고 말했다.

2026.04.09 17:37장경윤 기자

"원자현미경(AFM)으로 글로벌 계측장비 기업 도약"

"파크시스템스의 AFM 장비는 기존 반도체 전공정에 이어 첨단 패키징으로 영역을 확장하고 있습니다. 대만 T사에 장비를 공급했고, 국내 기업과도 협업이 진행되고 있죠. 광학 기술 강화를 위한 M&A 등도 준비하고 있습니다." 박상일 파크시스템스 대표는 최근 경기 수원에 위치한 본사에서 기자들과 만나 회사의 향후 사업 전략에 대해 이같이 밝혔다. AFM 후공정 시장 진출…"대만 T사 이어 국내 기업과도 협업" 파크시스템스는 국내 유일의 AFM(원자현미경) 제조 기업이다. AFM은 미세한 크기의 탐침을 시료 표면에 원자 단위까지 근접시킨 뒤, 탐침과 표면 간의 상호작용으로 시료의 구조를 측정하는 장비다. 전자현미경(SEM) 대비 더 정밀한 나노미터(nm) 수준의 계측이 가능하고, 시료의 전자기적·기계적 특성 등을 확인할 수 있다는 장점이 있다. 덕분에 AFM은 EUV(극자외선)와 같은 최첨단 반도체 공정에서 수요가 꾸준히 증가해 왔다. 최근에는 반도체 후공정 산업에서도 기회를 잡았다. 현재 글로벌 빅테크들이 설계하는 AI·HPC(고성능컴퓨팅)용 반도체에는 2.5D와 같은 최첨단 패키징 기술이 필수적이다. 2.5D는 칩과 기판 사이에 얇은 인터포저를 삽입하는 기술로, 회로의 집적도가 높아 AFM의 필요성이 높아지고 있다. 실제로 파크시스템스는 대만 T사의 요청에 따라, 최첨단 패키징 공정향으로 복수의 AFM 장비를 공급한 것으로 알려졌다. 박 대표는 "매우 정밀한 수준의 계측이 필요한 첨단 패키징에서 현재 AFM이 유일한 솔루션으로 주목받고 있다. 파크시스템스 입장에서는 새로운 블루오션 시장이 열리는 것"이라며 "국내 기업들과도 협업이 진행되고 있다"고 말했다. 기술 저변 확대 위해 적극 투자…"추가 M&A 준비" 파크시스템스의 또다른 성장동력은 '제품 다변화'다. AFM에 다양한 광학 기술을 결합해, 각 수요에 따라 유연한 대응을 펼치겠다는 전략이다. AFM은 계측 성능이 뛰어나지만 기존 계측 기술들에 비해 생산성(쓰루풋)이 낮다. 이에 파크시스템스는 AFM의 속도를 높이는 한편, AFM에 WLI(백색광 간섭계)를 접목한 'NX-Hybrid WLI' 장비를 개발해냈다. WLI는 넓은 영역을 빠르게 계측할 수 있는 광학 기술로, AFM의 단점을 보완할 수 있다. 적극적인 M&A(인수합병)도 진행 중이다. 파크시스템스는 지난 2022년에는 이미징 분광 타원계측기(ISE) 및 제진대(AVI) 기술을 보유한 독일 '아큐리온'을 인수했으며, 올해 1월에는 디지털 홀로그래픽 현미경(DHM) 선도기업인 스위스 '린시테크'를 인수했다. DHM은 홀로그램으로 활용해 시료를 3D 스캔하지 않고도 다각도에서 스캔할 수 있는 기술이다. 기존 간섭계 광학 프로파일링 대비 이미징 속도가 100배 이상 빠르다. 박 대표는 "지속적으로 연관 기업을 인수할 예정으로, 현재도 활발하게 논의하고 있는 회사가 국내외에서 5개가 넘는다"며 "이외에도 광학 검사의 핵심인 광원 개발 기업에 지분 투자를 진행하고, 리니어 모터 기업과도 투자를 추진하는 등 협업을 강화하고 있다"고 강조했다. "글로벌 계측장비 기업으로 거듭날 것" 파크시스템스의 지난해 매출은 1천751억원, 영업이익은 385억원으로 집계됐다. 전년 대비 각각 20%, 39% 증가했다. 반도체를 비롯한 산업 전반의 설비투자가 위축된 상황에서도 매출액이 꾸준히 상승하고 있다. 나아가 박 대표는 파크시스템스를 글로벌 계측장비 기업으로 성장시키겠다는 포부를 드러냈다. 박 대표는 "계측장비의 수요가 한정돼 있다는 인식 때문에 대기업으로 성장할 수 없다는 인식이 깔려있는 것 같다"며 "그러나 써모피셔 사이언티픽, 칼 자이스, KLA 등 주요 기업들이 조 단위의 매출을 기록하고 있어, 이들과 같은 글로벌 기업으로 성장하는 것이 목표"라고 밝혔다. 회사의 성장을 위한 신사옥도 과천지식정보타운 내에 건설되고 있다. 총 641억원이 투입됐으며, 연먼적 5만4천173㎡ 규모에 지상 15층 및 지하 5층으로 지어진다. 올해 말 완공을 목표로 하고 있다.

2025.04.14 12:00장경윤 기자

파크시스템스, 'Park FX 라지 샘플' AFM 제품 올 상반기 상용화

원자현미경(AFM) 전문기업 파크시스템스는 '세미콘 코리아 2025'에서 차세대 대형 샘플 원자현미경인 'Park FX Large Sample AFM 제품군'을 공식 발표했다고 19일 밝혔다. 이번 신제품에는 최대 300mm 웨이퍼까지 분석 가능한 'Park FX300'을 비롯해 기존 원자현미경에 적외선 분광(IR Spectroscopy) 기술을 접목한 'Park FX300 IR' 및 'Park FX200 IR' 모델도 함께 출시됐다. 이들 장비는 고정밀 분석이 필요하지만, 완전 자동화된 인라인 시스템 도입은 부담스러운 기업과 인라인 생산 이전에 원자현미경을 도입하려는 기업들을 위한 솔루션이다. Park FX Large Sample AFM 제품군은 대형 웨이퍼 샘플 분석을 위한 첨단 성능과 업계 최상의 자동화 기능을 갖춘 것이 특징이다. Park FX300은 최대 300mm 웨이퍼, 혹은 소형 샘플 16개까지 동시 장착해 분석할 수 있으며, 열에 의한 드리프트를 최소화하고 정밀한 측정을 구현했다. 또한 내장 카메라 및 QR 코드 시스템을 활용한 자동 탐침 교체 및 모니터링, 머신러닝 기반 정밀 레이저 및 광 검출기 자동 정렬 시스템, 다양한 위치에서 자동 순차 측정이 가능한 StepScan 기능을 강화해, 연구자들이 샘플 측정만 집중할 수 있는 환경에서 전기적·기계적·자기적 등의 특성을 분석할 수 있도록 보장한다. 특히 Park FX200 IR 및 Park FX300 IR 모델은 원자현미경과 적외선 분광 기술을 결합해 나노 단위 분석을 지원한다. 광유도력 현미경(PiFM) 기능을 탑재해 고해상도 적외선 스펙트럼 분석이 가능하며, 기존 적외선 해상도의 한계를 수천 배까지 확장해 5 nm 이하의 초고해상도로 소재의 분자 구조와 화학 결합 정보를 정밀하게 분석할 수 있다. 이를 통해 샘플 표면을 손상시키지 않으면서 반도체, 폴리머, 생명과학 소재의 화학 조성을 정밀하게 연구할 수 있는 길을 열었다. 특히 반도체 결함 분석, 고분자 연구, 차세대 신소재 개발 분야에서 강력한 성능을 발휘할 것으로 기대된다. Park FX300은 산업용 연구개발을 지원하는 다양한 옵션도 제공한다. 반도체 후공정에서 구리 패드의 대면적 평탄도 측정을 위한 슬라이딩 스테이지, 웨이퍼 레벨 패키징 공정에서 웨이퍼의 정렬 및 방향을 정밀하게 맞출 수 있는 회전 스테이지, 샘플 관찰 용이성과 특수 광학적 요구사항을 충족시키기 위한 오프엑시스 광학계, 그리고 청정도에 민감한 환경에서 오염을 최소화하는 팬 필터 유닛(FFU) 등의 기능을 통해 산업용 연구개발 실험 환경에 최적화된 방안을 제공한다. 또한 원자현미경 시스템을 제어하고 실험에 필요한 외부 장비나 시스템을 통합 관리하는 시설 제어기(Facility Controller), 실험 중에 발생하는 중요 에러나 장비 상태를 시각적으로 표시하고 경고하는 신호 타워(Signal Tower) 등을 기본 장착해 사용자 편이성을 극대화했다. 조상준 파크시스템스 전무는 “Park FX Large Sample AFM 제품군은 파크시스템스의 오랜 경험과 기술 혁신이 집약된 결과물로 300mm 웨이퍼 측정에 최적화된 기능을 탑재하고 성능을 극대화했다”며 “자동화 측정 소프트웨어를 통해 사용자 편의성을 크게 향상시키는 한편, 적외선 분광 기능을 강화하여 산업용과 연구용 광학현미경의 경계를 허무는 게임 체인저로 자리 잡으며 고객들에게 가장 진보된 원자현미경 솔루션을 제공할 것”이라고 밝혔다. 한편 Park FX Large Sample AFM 제품군은 올 상반기부터 한국을 포함한 미국, 유럽, 일본, 중국 등의 글로벌 시장에서 본격적으로 판매될 예정이다.

2025.02.19 08:28장경윤 기자

파크시스템스, 린시테크 인수로 광학계측 사업 확장

나노계측기기 전문기업 파크시스템스는 디지털 홀로그래픽 현미경(DHM) 기술의 선도 기업인 스위스 린시테크(Lyncée Tec)사를 인수했다고 6일 밝혔다. 이번 인수는 2022년 10월 독일 아큐리온(Accurion)사를 인수한 데 이어 광학계측 포트폴리오를 강화하려는 전략적 행보로 평가된다. 2003년 스위스 로잔 연방공과대학(EPFL) 연구진이 설립한 린시테크는 DHM기술의 연구개발 및 상업화를 선도해 왔다. DHM 기술은 홀로그램을 활용해 샘플의 3D 정보를 스캔 없이 전체 시야에서 빠르게 얻을 수 있는 혁신적인 기술이다. 기존 간섭계 기반 광학 프로파일링보다 100배 이상 빠른 이미징 속도를 제공하는 한편, 크기가 작아 연구 및 산업 생산 환경에서 활용되고 있으며 재료과학, 생명과학, MEMS, 제조업 등 다양한 분야에서 높은 정밀도와 효율성을 인정받고 있다. 박상일 파크시스템스 대표는 “린시테크의 합류는 당사가 반도체 공정 전반에 걸쳐 포괄적인 솔루션을 제공하는 글로벌 리더로 나아가는 데 중요한 전환점이 될 것"이라며 “원자현미경(AFM) 기반 플랫폼에 DHM 기술을 결합해 완전 자동화된 DHM 시스템을 개발하고, 이를 어드밴스드 패키징을 포함한 다양한 반도체 응용분야에 적용할 계획”이라고 밝혔다. 파크시스템스는 우수한 기술력을 바탕으로 원자현미경(AFM) 업계 세계 1위를 차지하고 있으며, 2015년 12월 코스닥에 상장한 이래 연평균 30%의 고속 성장을 이어가고 있다. 본사는 경기도 수원에 있고, 해외 수출을 확대하기 위해 미국, 독일, 영국, 중국, 대만, 일본 등에 판매 법인을 자회사로 운영하여 해외 영업 활동을 강화하고 있다. 11개국에 12개 현지법인을 운영하고, 그 외 30개국에 판매망을 구축해 자체 브랜드 제품을 전 세계 고객에게 직접 공급하고 있다.

2025.01.06 09:14장경윤 기자