프로브카드 기업 피엠티, EVG '마스크리스' 리소그래피 장비 발주
EV그룹(이하 EVG)은 반도체 웨이퍼 프로브 카드 전문기업이자 프로텍 계열사인 피엠티와 리소스케일(LITHOSCALE) 마스크리스 노광 시스템에 대한 공급 계약을 체결했다고 24일 밝혔다. MEMS(미세전자기계시스템)는 미세 공정의 복잡성으로 인해 노광(빛을 투사해 회로를 새기는 공정)의 난이도가 높은 분야다. 때문에 노광공정에 쓰이는 핵심 부품인 마스크도 제조비용이 높다는 부담이 있었다. 반면 EVG의 리소스케일은 실제 마스크 대신 마스크 데이터를 실시간으로 전송해 노광을 진행하는 기술이다. 높은 초점 심도와 고분해능의 성능을 보장함에 따라, 마스크를 사용하지 않고도 미세 피치 프로브 카드의 핵심 기술인 고밀도 재배선 레이어(RDL)와 비아(Via) 연결이 가능하게 해준다. 이번 계약으로 EVG의 리소스케일 시스템은 피엠티 본사에 설치되어 첨단 낸드, D램, 고대역폭메모리(HBM) 디바이스의 웨이퍼 레벨 테스트용 차세대 MEMS 기반 프로브 카드 제조에 사용될 예정이다. 조용호 피엠티 대표이사는 "미세 피치 프로브 카드는 반복적인 리소그래피 패터닝 공정을 통해 제작되어 제조 비용 증가 최소화가 필요하다"며 "기존의 마스크 얼라이너(Mask Aligner)를 이용한 리소그래피 공정을 EVG의 리소스케일로 대체함으로써 제조 비용 절감 및 공정 개발 가속화, 프로세스 성능 향상 등을 기대할 수 있을 것"이라고 밝혔다. 윤영식 EVG 한국지사 지사장은 "피엠티가 자사 제품 포트폴리오를 확장하고 개발 시간을 단축할 수 있도록 돕게 되어 매우 기쁘다"며 "리소스케일은 높은 분해능, 다양한 많은 제품 설계를 처리할 수 있는 뛰어난 유연성, 낮은 소유 비용 특성을 결합한 독창적인 솔루션으로서, 미세 피치 웨이퍼 프로브 카드 제조용으로 매우 이상적”이라고 말했다.
