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'텅스텐'통합검색 결과 입니다. (6건)

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램리서치, '新소재 증착장비' 첫 상용화…韓·美 낸드 고객사 잡았다

글로벌 반도체 장비업체인 램리서치가 최첨단 반도체 제조를 위한 '몰리브덴(Mo)' 증착장비를 세계 최초로 상용화했다. 해당 장비는 현재 미국 마이크론, 국내 주요 기업의 최첨단 3D 낸드 공정에 도입된 것으로 알려졌다. 향후에는 파운드리·D램 공정에도 적용이 가능할 전망이다. 램리서치는 20일 오후 '세미콘 코리아 2025' 기자간담회에서 회사의 최신 장비에 대해 이같이 밝혔다. 'ALTUS Halo'는 세계 최초로 몰리브덴 소재를 활용하는 원자층증착(ALD) 장비다. ALD는 원자층을 한층씩 쌓아올려 금속 배선을 형성하는 기술로, 기존 증착 방식인 화학기상증착(CVD) 대비 정밀성이 높다. ALD의 소재로는 텅스텐이 활발하게 쓰였다. 그러나 로직 및 메모리 반도체의 회로 선폭이 수 나노미터(nm) 수준으로 미세화되면서, 텅스텐보다 '비저항'이 낮은 대체 물질의 필요성이 높아지게 됐다. 비저항은 소재가 전류에 얼마나 강하게 저항하는 지 나타내는 척도다. 금속의 비저항이 낮을수록 신호 속도가 빨라져 칩의 성능은 좋아지게 된다. 램리서치는 차세대 소재인 몰리브덴에 주목했다. 몰리브덴은 텅스텐 대비 저항이 낮을 뿐만 아니라, 텅스텐과 달리 별도의 배리어층을 형성할 필요가 없어 제조 공정의 효율성을 높인다. 이에 램리서치는 세계 최초로 몰리브덴 ALD 장비를 개발해, 국내외 주요 최첨단 3D 낸드 양산 업체들에 도입을 시작했다. 낸드는 세대를 거듭할 수록 셀(메모리의 최소 단위)를 높이 쌓아 만든다. 더 많은 층을 밀도 있게 제조하려면 배선 폭이 줄어들어야 하기 때문에, 몰리브덴이 적합하다는 게 램리서치의 설명이다. 특히 미국 주요 메모리 기업 마이크론이 해당 장비를 선제적으로 양산 적용한 것으로 알려졌다. 국내에서는 올해부터 양산 적용이 시작될 예정이다. 박태순 램리서치 KTC 센터 수석 디렉터는 "텅스텐은 금속 배선에서 지난 20년간 활발히 적용돼 왔으나, 최근 초미세공정 환경에서는 적용이 힘들어지는 소자들이 생겨나기 시작했다"며 "ALTUS Halo는 기존 질화 티타늄과 텅스텐을 결합한 증착 기술 대비 저항이 50% 감소한 것으로 나타났다"고 설명했다. 또한 램리서치는 향후 ALTUS Halo의 적용처를 로직 및 D램 분야로도 확장할 계획이다. 2나노 등 최첨단 파운드리 공정에서도 ALTUS Halo 적용을 위한 검증이 진행 중인 것으로 알려졌다. D램 분야에서는 3D D램 등에서 적용될 것으로 예상된다. 램리서치의 주요 경쟁사 역시 몰리브덴 증착 장비를 개발 중이지만, 회사는 경쟁력 확보를 자신했다. 카이한 애쉬티아니 램리서치 ALD·CVD 금속 사업 부문장 겸 부사장은 "경쟁사들도 유사 기술을 연구 중일 것이나, 램리서치는 약 7년간 몰리브덴 증착을 연구개발 해오는 등 업계를 선도하고 있다"며 "특히 낸드에서 비교적 낮은 저항이 필요한 워드라인(WL; 게이트 단자로 전압이 인가되는 라인) 제조 분야에서 독보적인 입지를 보유 중이다"고 강조했다.

2025.02.20 15:03장경윤

애플, 민주콩고에 반박…"'피 묻은 광물' 안 써"

미국 애플이 아프리카 분쟁 지역에서 채굴하는 이른바 '피 묻은 광물'을 쓴다는 의혹에 반박했다고 영국 로이터통신이 17일(현지시간) 보도했다. 로이터에 따르면 콩고민주공화국은 애플이 민주콩고 동부 지역에서 불법으로 캔 광물로 스마트폰 '아이폰'을 만든다며 전날 프랑스와 벨기에에서 애플 현지 자회사를 형사 고발했다. 민주콩고에서 채굴한 광물의 원산지가 다른 곳으로 탈바꿈돼 애플이 사용하면 애플이 민주콩고에서 일어나는 범죄에 공모하는 셈이라고 민주콩고 측 변호인은 비판했다. 민주콩고 동부 지역에는 탄탈룸·주석·텅스텐이 풍부하다. 이들 광물은 전자기기에 들어간다. 로이터가 인용한 국제연합(UN)과 인권 단체에 따르면 민주콩고 일부 광산은 집단 성폭력과 약탈, 민간인 학살을 일삼는 무장 단체가 운영한다. 애플은 이는 사실이 아니라는 성명을 냈다. 애플은 올해 초 민주콩고 갈등이 심해져 공급업체에 여기서 캔 문제의 광물을 쓰지 말라고 했다고 밝혔다. 애플은 지난해 미국 증권거래위원회(SEC)에 낸 보고서에도 공급망에 있는 광산이나 제련소 등이 민주콩고 무장 단체에 자금이나 혜택을 준 적 없다고 썼다.

2024.12.18 14:17유혜진

中 "관세 올리는 美, 무역 질서 망쳐"

미국이 중국산 태양광 웨이퍼 등에 관세를 2배 올리기로 하자 중국 정부가 무역 질서를 망친다며 맞섰다. 중국 상무부는 16일(현지시간) 미국의 일방적인 관세 인상 조치에 반대한다고 발표했다. 상무부는 미국이 중국산 상품 관세를 올려도 미국의 무역적자와 산업 경쟁력 문제를 풀 수 없다며 미국 물가가 올라 미국 소비자가 손해볼 것이라고 경고했다. 상무부는 미국이 국제 경제·무역 질서와 산업망·공급망을 심각하게 파괴한다고 지적했다. 세계무역기구(WTO)는 중국을 향한 미국의 관세가 WTO 규칙을 위반하는 것이라고 판정했다고 전했다. 미국 무역대표부(USTR)는 지난 11일 통상법 301조에 따라 내년 1월부터 미국으로 수입되는 중국산 태양광 웨이퍼와 폴리실리콘에 붙는 관세를 50%로 2배 올린다고 밝혔다. 0%이던 중국산 텅스텐 관세는 25%가 된다. 태양광 웨이퍼와 폴리실리콘은 태양광 전지, 텅스텐은 무기나 컴퓨터 칩을 만드는 데 쓰인다.

2024.12.17 16:52유혜진

美, 중국산 태양광 웨이퍼 관세 50%로 인상

내년부터 미국으로 수입되는 중국산 태양광 웨이퍼와 폴리실리콘에 붙는 관세가 50%로 2배 오른다. 미국 무역대표부(USTR)는 11일(현지시간) 통상법 301조에 따라 내년 1월부터 이같이 시행한다고 발표했다. 0%이던 중국산 텅스텐 관세는 25%가 된다. 태양광 웨이퍼와 폴리실리콘은 태양광 전지, 텅스텐은 무기나 컴퓨터 칩을 만드는 데 쓰인다. USTR은 중국의 해로운 관행을 막으려 관세를 올렸다고 설명했다.

2024.12.12 15:42유혜진

핵융합연, ITER기구와 디지털트윈· 디버터 등 협력연구

한국핵융합에너지연구원(원장 오영국, 이하 핵융합연)은 ITER(국제핵융합실험로) 기구와 연구 협력 및 교류를 강화하기 위한 협약을 체결했다고 25일 밝혔다. 이 협약은 양 기관이 2010년 최초 체결한 협력을 갱신하는 네 번째 협약이다. 협약은 체결일로부터 5년간 유효하다. 핵융합연과 ITER 국제기구는 그동안 KSTAR(한국초전도핵융합연구장치)를 활용한 공동연구를 진행했다. 특히, 플라즈마 제어 시스템 협력 개발을 통해 ITER 초기 운전 준비를 위한 핵심 기술 기반을 마련했다. 핵융합연 측은 "KSTAR가 ITER 운전 기술 확보를 위한 테스트베드 역할이 지속 강화돼 왔다"며 "ITER국제기구는 KSTAR를 활용한 ITER 난제 해결 연구 확대를 적극 요청해 왔다"고 이번 협약의 배경에 대해 설명했다. 양 기관은 핵융합 물리 및 공학 기술 과제 해결을 비롯한 핵융합 전문 인력 양성 등 협력의 범위를 확대·강화하는 데 초점을 맞춰 이번 협약을 체결했다. 핵융합연 측은 "KSTAR는 ITER와 동일한 텅스텐 소재의 디버터 환경을 갖추고 있다"며 "텅스텐 디버터 환경 기반의 핵융합 플라즈마 시나리오 개발 및 불안정 현상 제어에 관한 연구가 강화될 것"으로 전망했다. 이외에도 ITER 장치 조립 과정에서 초전도 자석 등에 관한 테스트 설비 운영, 디지털 트윈 기술을 활용한 시뮬레이션 공동 연구 등을 확대 추진한다. 디버터는 핵융합로에서 초고온 플라즈마를 운전할 때 발생하는 강한 열속으로부터 진공용기를 보호하는 실험로 하단부 장치다. 핵융합로 내부에서 플라즈마와 유일하게 맞닿는 장치로 플라즈마의 형상 조절 및 플라즈마 연소로 발생한 내부 불순물을 외부로 배출시키는 통로 역할도 담당한다. 양 기관은 이번 협약의 효과적인 이행을 위해 협력 주제별로 구체적인 이행 협정을 체결하고, 공동 조정위원회를 구성해 협력 범위 확대에 따른 연구 및 기술 개발을 체계적으로 추진할 계획이다. 오영국 원장은 "ITER와의 협력은 핵융합 연구와 기술 개발 가속화를 위한 필수적 파트너십”이라며, “이번 협약을 통해 KSTAR가 국제공동연구의 중심 장치로 자리 잡고, 글로벌 연구 네트워크를 바탕으로 핵융합 핵심 기술 확보를 위한 선도적 역할을 수행할 수 있도록 최선을 다할 것"이라고 말했다.

2024.11.25 10:52박희범

핵융합연, 인공태양 'KSTAR' 기술 조기 확보나서…미국·프랑스 등과 손잡아

한국핵융합에너지연구원(원장 오영국)이 '한국의 인공태양' 케이스타(KSTAR)의 조기 기술 확보에 나선다. 11일 핵융합연은 케이스타'의 텅스텐 디버터 환경에서 고온·고밀도·고전류 플라즈마 운전 기술 확보를 위한 플라즈마 실험에 착수했다고 밝혔다. 이 실험은 디버터 환경에서 텅스텐의 불순물 발생 억제와 자기장 제어를 통한 텅스텐 불순물 방지, 가열장치를 이용한 불순물 배출 등을 검증하기 위한 실험이다. 디버터는 핵융합로에서 초고온 플라즈마를 운전할 때 발생하는 1억℃의 열에서 진공용기를 보호하고, 불순물을 제거하는 핵심 장치다. 실험기간은 이달부터 내년 2월까지다. 남용운 KSTAR 연구본부장은 "정부 핵융합에너지 가속화 전략에 따라 플라즈마 운전 시나리오 조기 개발에 나섰다"며 "고온·고밀도·고전류 조건에서 높은 가둠 성능을 달성할 수 있는 고성능 시나리오 연구 및 고성능 플라즈마 환경을 방해하는 각종 불안정 현상을 억제할 기술 연구를 확대해 나갈 계획"이라고 말했다. 남 본부장은 핵융합 실증로 운전에 필요한 고성능 플라즈마 운전 시나리오를 조기 개발하기 위해 H-모드나 하이엘아이(High Li)모드, 화이어 모드 등의 시나리오 개발 및 성능 개선에 적극 나설 계획"이라고 설명했다. 남 본부장은 또 효과적인 실험 진행을 위해 주요 연구 주제별로 6개의 워킹 그룹(시나리오, MHD 안정화 연구, 경계면 페데스탈 연구 등)을 구성하고, 국내외 연구 기관과 협력 연구도 적극 추진한다고 부연설명했다. 핵융합연은 특히 미국 DIII-D(핵융합연구용 토카막) 장치 연구팀, 프랑스 WEST(연구용 토카막) 장치 연구팀을 비롯한 일본, 중국 등과 함께 핵융합 난제 해결에 기여할 40여 개 주제의 공동 실험을 추진한다. 핵융합연은 향후 이 같은 국제 협력 연구를 영국, 체코 등으로 확대해 나갈 방침이다. 남용운 본부장은 “KSTAR는 우리나라 뿐 아니라 전 세계 연구자들에게 안정적인 연구 환경을 제공, 핵융합에너지 난제 해결에 기여하고 있다”며, “추가적인 장치 업그레이드를 통해 선도적인 연구를 수행할 수 있는 환경을 갖추어 갈 예정"이라고 전했다.

2024.11.11 12:44박희범

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