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기계연, 디지털 노광스캐너 개발…유연전자소자 대량생산 길 열어

잘 휘어지는 반도체 기판에 회로를 연속으로 정확하게 새길수 있는 디지털 마스크리스 노광(리소그래피) 시스템이 개발됐다. 노광은 반도체 핵심 기술이다. 개발은 장원석 한국기계연구원 장원석 나노융합연구본부장 연구팀이 진행했다. 29일 한국기계연구원에 따르면 이들이 개발한 기술은 크게 3개다. 실시간 패턴 보정이 가능한 디지털 리소그래피 스캐너와 이 스캐너를 롤투롤 이송시스템과 결합, 유연전자소자 연속 패터닝 기술을 성공적으로 구현했다. 또 DMD(디지털 마이크로-미러 디바이스) 기반 디지털 노광 기술과 초정밀 이송 제어 기술을 융합해 기판 변형과 위치 오차를 실시간으로 보정할 수 있는 시스템도 구축했다. 이번에 개발한 롤투롤 디지털 리소그래피 시스템은 DMD 기반 디지털 노광 기술을 활용해 원하는 영역에만 자외선을 조사하는 방식이다. 최소 선폭은 10㎛ 이하 고해상도 패터닝 성능을 구현했다. 기판 이송 과정에서 발생하는 사행과 장력 변형을 실시간 측정·보정해 안정적인 패턴 형성도 가능하다. 연구팀은 회전하는 곡면 롤 위에서 직접 패터닝이 이루어지는 라인빔 노광 구조를 적용했다. 보조 기판 없이 유연기판을 직접 이송하면서, 미세한 비틀림이나 흔들림을 실시간 비전 측정으로 즉각 보정한다. 별도 노광 마스크를 제작할 필요 없이, 소프트웨어 설계만으로 다양한 패턴을 즉각 구현할 수 있어 제품 개발 기간과 생산 비용을 획기적으로 절감할 수 있다. 또한, 유연기판을 보조 기판 없이 연속 이송하며 직접 패터닝하기 때문에 기판 길이에 제한이 없는 대면적 양산이 가능하다. 이원섭 기계연 나노리소그래피연구센터 선임연구원은 "나노공정은 반도체 앞단 공정이고, 우린 HBM(고대역메모리) 같은 후공정 PCB기판을 타깃으로 기술 개발을 진행한 것"이라며 "마스크가 필요없는 공정 등은 기존 반도체 라인에 바로 접목해도 무리없을 수준"이라고 설명했다. 장원석 본부장은 “유연 PCB를 비롯해 고해상도 유연전자소자, 반도체 패키징 공정 등 다양한 산업 분야에 적용될 것으로 기대한다”며 “향후 롤 표면 패터닝을 위한 디지털 노광 공정에도 활용할 수 있어 응용 범위가 더욱 확대될 것"으로 전망했다. 한편 연구팀은 기계연 기본사업인 '실시간 보정형 롤투롤 패터닝 장비 핵심기술 개발'과제를 통해 총 3억2,000만원의 기술료 수익을 거뒀다.

2026.06.29 09:33박희범 기자

초이락 새 애니 '터닝메카드갓' 12일 MBC 첫방송

'터닝메카드'의 새 애니메이션 시리즈 '터닝메카드갓'이 오는 12일 오전 8시 10분 MBC TV를 통해 첫 선을 보인다. 초이락컨텐츠컴퍼니(대표 최종일)가 제작한 터닝메카드갓은 회당 12분씩 총 26편의 에피소드로 구성된 풀 3D 액션 어드벤처 애니메이션으로 터닝메카드의 정식 후속작이다. 기존 터닝메카드가 우주의 다양한 세력이 세력 다툼을 하던 세계관이라면, 이번 시리즈는 주인공 나찬 일행이 지구에 불시착한 메카니멀들을 사냥하는 다크 섀도우의 악행과 음모에 맞서 싸우는 이야기다. 메카니멀들 중 '얼티밋 세븐'이라 불리는 일곱 종류의 초강력 메카니멀이 그 중심에 자리한다. 모든 메카니멀은 링 슈팅을 통해 승패가 결정되는 더욱 짜릿하고 강렬한 배틀에 참여하며, 특히 '타나토스', '미리내', '알키온', '래피드파이어' 등 얼티밋 세븐의 멤버들은 다크 섀도우의 핵심 타깃이 되기도 한다. 테이머와 메카니멀의 관계는 더욱 끈끈해진다. 배틀에 있어 메카니멀들이 테이머들의 에너지를 받아 링을 발사하기 때문이다. 즉, 테이머는 링을 쏠 때 에너지 주입해주는 역할을 수행하는 만큼, 테이머와의 우정과 전략 등이 승패에 더욱 중요해진다. 초이락 측은 "기존 터닝메카드에서는 배틀에서 카드로 기술을 쓰고 그것에 의해 체력이 떨어지면 패배하는 데 비해, 이번에는 카드를 쓰면서도 상대에게 타격을 주어 링의 개수를 줄이고 남게 된 링으로 최종 승패를 가르는 방식이 핵심"이라면서 "풀 3D의 영상미에 링이란 새로운 요소를 도입한 배틀에 시청자들이 집중하고 몰입할 수 있도록 이야기를 구성했다. 더욱 높아진 완성도로 시청자의 눈을 즐겁게 하겠다"고 밝혔다. 10일부터 여의도 더현대 서울에서 선보이는 팝업스트어 '초이락 브랜드 스토어'는 터닝메카드갓 코너를 별도 구성했으며, 터닝메카드갓 슈팅을 체험해볼 수 있는 이벤트도 마련했다.

2025.04.11 09:12백봉삼 기자

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