티이엠씨 "반도체 공정 특수가스 완전 국산화"

유원양 티이엠씨 대표는 3일 서울 여의도 63빌딩에서 코스닥시장 상장을 앞두고 열린 기업설명회(IR)에서 “수입에 의존하던 희귀가스를 국내 기술력으로 완전히 국산화하겠다”고 말했다. 티이엠씨는 반도체 핵심 공정에서 쓰는 특수가스를 개발해 국내외 반도체 기업에 공급하고 있다. 엑시머 레이저 가스(Excimer Laser gas)와 제논(Xe), 크립톤(Kr), 식각 공정용 일산화탄소(CO)와 황화카보닐(COS), 증착 공정용 혼합가스 디보란(B2H6)을 양산한다. 티이엠씨 매출에서 30%로 가장 큰 비중을 차지하는 엑시머 레이저 가스는 반도체 노광 공정에서 주로 사용하는 혼합가스로, 네온(Ne)이 재료다. 유 대표는 “티이엠씨는 네온과 헬륨을 분리·정제하는 설비를 개발했다”며 “99.9999% 고순도의 네온을 국산화했다”고 설명했다. 티이엠씨는 올해부터 디보란(B2H6)과 황화카보닐, 열처리 공정에 활용하는 중수소(D2)를 양산하기로 했다. 유 대표는 “새로 양산할 제품이 티이엠씨 매출을 늘릴 것”이라며 “반도체·디스플레이 공정에 이미 쓴 희귀가스를 다시 포집해 분리·정제한 뒤 완제품으로 재공급하는 '폐가스 재활용 사업'도 추진할 것”이라고 강조했다. 티이엠씨는 공모 자금을 시설에 투자하기로 했다. 충북 보은군 본사를 중심으로 3공장까지 완공한 상태다. 지난해 착공한 4공장을 올해 완공하고, 중국·미국 등 해외에도 직접 진출하기로 했다. 2015년 설립된 티이엠씨는 지난해 3분기 누적 2천340억원의 매출액을 기록했다. 2021년 연간 매출액은 902억원이다. 티이엠씨는 주당 3만2천~3만8천원에 220만주를 공모한다. 총 공모 금액은 704억~836억원이다. 4일부터 5일까지 국내외 기관 투자자로부터 수요를 예측해 공모가를 정한다. 10일부터 11일까지 일반 투자자 청약을 받아 19일 코스닥시장에 상장할 예정이다. 한화투자증권이 상장을 주관한다.