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7년전 개발된 '완벽진공' 시스템…"외산장악 반도체 공정 효자될까"

방사능 폐기물 처분 실증 연구 과정에서 틈새로 개발된 진공펌프 원천기술이 개발 7년만에 반도체·디스플레이 공정용으로 빛을 볼지에 관심이 모아졌다. 한국원자력연구원은 지난2일 벡스코(대표 류재경)와 '고효율 가압·진공 유체이송 시스템' 기술실시계약을 체결했다고 5일 밝혔다. 이 기술은 원자력연 처분성능실증연구부 권장순 박사 연구팀이 사용후핵연료 심층처분 시스템을 연구하던 중 틈새로 나온 로터리 피스톤 방식의 고효율 유체이송 시스템이다. 원자력연은 "이는 원통형 구조 내부에서 로터(회전체)가 회전하며 유체를 흡입·가압·이송하는 완벽한 진공펌프시스템"이라며 "로터가 회전하면서 내부 공간이 넓어지면 압력이 낮아져 외부의 유체가 들어오고, 공간이 좁아지면 압력이 높아지면서 유체가 밀려 나가는 원리를 이용한다"고 설명했다. 입수관, 출수관 방향을 바꿀 수 있어 양방향 유체 이동이 가능하며, 점도가 높은 액체도 안정적으로 처리한다. 또한 별도 외부 장치 없이 유체를 스스로 흡입하고, 진공 상태를 형성하는 등 다양한 기능을 하나의 장치로 구현했다. 기존 회전식 펌프는 고압 형성에 한계가 있고, 왕복식 펌프는 구조가 복잡하고 유량이 제한적이다. 이 같은 장점에도 그동안 활용처를 찾지 못하던 것. 김경인 원자력연 기술사업화팀장은 "본 과제가 아니라 틈새로 개발된 연구라서 원천기술이면서도 이 기술을 어디에 적용해야 할지 찾지를 못하는 상황이 그동안 전개됐다"며 "과제는 2016년부터 2019년 수행됐다"고 말했다. 원자력연 측은 정액기술료 1억원에 매출액의 1.5%를 경상기술료로 받는 조건으로 기술 실시계약을 체결했다. 특허 9건과 노하우 1건도 기술실시에 포함된다. 실시기간은 계약 체결일로부터 10년이다. 누구나 이 기술을 원하면 쓸 수 있는 비독점 통상실시 계약을 체결했다. 김 팀장은 "반도체·디스플레이 제조 공정에서 필요한 초고진공 환경 조성을 위한 고효율 진공펌프 수요가 꾸준히 증가하고 있다"며 "그럼에도 기존 진공펌프는 기밀성이 낮아 초고진공 상태를 만드는데 어려움이 있는 반면 이 기술은 거의 완벽한 진공을 만들 수 있다"고 말했다. 이번에 기술실시계약을 체결한 벡스코는 이 기술을 반도체·디스플레이 공정용 고효율 진공펌프와 초고진공(UHV) 환경 제어 시스템 분야에 적용할 계획이다. 이 시장은 외산이 장악하고 있다. 벡스코는 진공펌프 및 진공시스템을 생산·판매하는 전문기업이다. 임인철 한국원자력연구원 부원장은 “원자력 연구 과정에서 확보한 고부가가치 원천기술"이라며 "해외 의존도가 높은 핵심 장비 분야에서 국산화 가능성을 제시했다는 점에서 의미가 크다. 앞으로도 개발한 기술이 산업 현장에서 활용될 수 있도록 지원할 것"이라고 말했다.

2026.04.05 10:09박희범 기자

로보락, 신제품 스틱형 진공청소기 'H60'·'H60 Pro' 출시

글로벌 스마트 홈 기업 로보락이 스틱형 무선 진공청소기 신제품 'H60'과 'H60 Pro'(H60 프로)를 출시했다고 18일 밝혔다. 이번 신제품 2종은 '구석구석 닿는 유연함과 강력한 청소 기능'을 콘셉트로 다양한 사용 환경에 맞춘 선택지를 제공한다. 가장 큰 특징은 최대 90도까지 구부러지는 플렉서블 스틱을 적용해 편의성을 높인 점이다. 침대나 소파 아래처럼 손이 닿기 어려운 공간도 허리를 굽히지 않고 손쉽게 청소할 수 있다. 사용 후에는 콤팩트하게 접어 보관할 수 있어 공간 활용성이 뛰어나다. 성능의 경우 H60은 115W(와트), H60 Pro는 170W의 강력한 흡입력을 갖췄다. 1회 충전 시 H60은 최대 60분, H60 Pro는 최대 80분까지 사용할 수 있으며, 분리형 배터리 설계로 교체 사용이 가능하다. 두 모델 모두 글로벌 인증기관 TÜV 라인란드(TÜV Rheinland) 인증을 획득해 안전성과 신뢰성도 확보했다. 청소기 헤드에는 140도 초광각 LED 그린라이트를 탑재해 미세한 먼지까지 확인할 수 있으며, 5단계 필터링 시스템으로 0.3마이크론 크기의 미세먼지를 99.95%까지 포집한다. 안티 탱글 브러시가 머리카락 엉킴을 방지하고, 알레르기 유발 물질을 효과적으로 제거하는 데 도움을 준다. 한편 로보락은 지난 7월 말 론칭한 H60 Hub Ultra(H60 허브 울트라)에 이어 이번 신제품 2종 출시로 무선 진공청소기 라인업을 완성했다. 이외에도 무선 물걸레 청소기 'F25 시리즈' 등 다양한 스틱형 청소기를 선보이고 있다. 로보락 관계자는 “이번에 선보인 H60과 H60 Pro는 로보락이 축적한 청소가전 기술력을 기반으로 기존 스틱형 청소기의 한계를 뛰어넘도록 설계한 제품”이라며 “앞으로도 편리하고 효과적인 청소 솔루션으로 소비자 일상을 더욱 스마트하게 만드는 제품을 선보일 것”이라고 말했다.

2025.08.18 09:24전화평 기자

플레이티지, '세미콘 코리아'서 반도체 양산용 첨단 솔루션 공개

반도체 부품 전문기업 플레이티지는 이달 19일부터 21일까지 서울 코엑스에서 열리는 '세미콘 코리아 2025'에서 고대역폭메모리(HBM)와 시스템반도체, 첨단 미세공정 반도체 칩을 양산할 수 있는 최첨단 솔루션을 선보인다고 7일 밝혔다. 플레이티지는 이번 전시회에서 고정밀 자동압력제어장치 '밸브&컨트롤러', 반도체 고성능 유체여과제품(베이퍼 필터, 가스 필터, 디퓨저), 웨이퍼 이송 로봇 제품군인 'XTRON'을 선보이며 반도체 산업의 패러다임을 변화시키는 혁신 기술소개에 나선다. 부스에서는 최신 기술 시연과 비즈니스 상담도 함께 진행할 예정이다. 특히 고정밀 자동압력제어장치는 산업통상자원부로부터 핵심전략기술을 인정 받았으며 반도체 장비사에서도 기존 외산 제품대비 우수한 결과를 얻었다. 또한 국내 소자회사에서 양산 성능평가단계로 본격적인 시장진입을 준비하고 있다. 이번 전시회에서 최초로 공개하는 XTRON 진공로봇 시리즈는 벨트프리구조로 우수한 동작재현성 및 안정성을 확보했으며, 초고속통신네트워크 엔진이 탑재된 빅데이터 기반으로 실시간 모니터링 할수 있어 양산에 최적화된 차세대 AI 진공로봇의 기반을 구축, 반도체 로봇시장의 혁신을 가져 올 것으로 기대된다. 김시습 플레이티지 대표는 “기존 제품들이 장비사와의 상생협력을 통해 양산에 적용되는 가시적인 성과를 내고 있으며, 우수한 품질과 제품개발 능력을 바탕으로 지속적으로 고도화되는 반도체 시장에서 요구되는 부품기술을 공급할 계획"이라고 밝혔다.

2025.02.07 09:03장경윤 기자