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엠오티, 작년 매출 역대 최대…영업익도 51% ↑

이차전지 조립 설비 전문 기업 엠오티(대표 마점래)는 이차전지 고객사의 설비투자 증가에 따라 지난해 역대 최대 매출을 달성했다고 12일 밝혔다. 지난해 회사 연결 기준 매출액은 849억원으로 전년 동기 대비 15% 증가했다. 영업이익과 순이익은 각각 65억원, 61억원으로 전년 대비 각각 51%, 130% 증가했다. 글로벌 이차전지 시장 확대와 규모의 경제로 인한 제조원가 감소가 실적 개선에 기여했다. 엠오티 관계자는 “지난해 이차전지 시장이 성장하는 가운데 글로벌 이차전지 고객사의 설비 투자가 증가됐으며 동일 사양 제조설비 제작 및 납품하는 방식으로 규모의 경제로 인한 비용 절감이 있었다”고 설명했다. 엠오티는 양극 및 음극에 탭을 접착해 전류를 흐르게 하는 탭 웰딩 장비와 배터리 형태를 형성하고 밀봉하는 패키징 장비를 제작하는 이차전지 조립 설비 전문 기업이다. 특히 최근 고객사가 전고체 배터리, LFP 배터리, 46파이(지름 46mm) 원통형 배터리 등 차세대 배터리 개발을 본격화함에 따라 엠오티도 관련 조립 설비 기술의 상업화에 박차를 가하고 있다. 전고체 배터리의 경우 개발라인을 납품했으며 올해는 파일럿 라인 개발에 직접 참여할 계획이다. 김충규 엠오티 부사장은 “이차전지 캐즘 상황 속에서도 당사의 독보적인 기술 경쟁력을 바탕으로 역대 최대 실적을 낼 수 있었다”며 “앞으로도 차세대 배터리 생산에 최적화된 조립 설비를 공급해 동반 성장을 지속할 것”이라고 밝혔다. 엠오티는 작년 최대 실적을 달성함에 따라 2024년 결산배당으로 보통주 1주당 100원의 현금배당을 한다고 밝혔다.

2025.02.12 09:43김윤희

한미반도체, 작년 연매출 5589억 최대 실적…HBM 효과

국내 반도체 장비기업 한미반도체는 2024년 매출 5천589억원, 영업이익 2천554억원(연결재무제표 기준)을 기록하며 창사 이래 최대 실적을 달성했다고 3일 밝혔다. 매출은 전년 보다 252% 증가, 영업이익은 639%나 증가한 실적이다. 이같은 실적은 세계적으로 인공지능(AI) 반도체 수요 증가에 따라 글로벌 반도체 제조사에 HBM(고대역폭메모리) 생산용 TC본더를 납품한 게 긍정적인 영향을 끼친 것으로 풀이된다. 현재 한미반도체는 인천 서구 주안국가산업단지에 총 8만9천530m2 (2만7천83평) 규모로 7개 공장의 반도체 장비 생산 클러스터를 조성하고 있다. 이를 통해 회사는 HBM 생산용 TC본더, 반도체패키지용 MSVP, 스마트기기와 위성통신에 적용되는 EMI 쉴드장비와 그라인더, 그리고 생산되는 모든 장비의 소모품 생산라인을 통해 매출 기준 2조원까지 대량 생산이 가능한 시스템을 구축했다. 또한 설계, 부품 가공, 소프트웨어, 조립 그리고 검사공정까지 외주 가공 없이 모두 직접 진행하는 수직 계열화 시스템을 보유하고 있다. 한미반도체 관계자는 "매출 규모가 지속적으로 증가함에도 원자재와 부품의 대량 매수를 통해 고객사에 신속한 납기는 물론이고 합리적인 가격으로 장비를 제공하며 경쟁사 대비 뛰어난 경쟁력을 갖고 있다"며 "AI 시장은 급격한 변화와 성장을 통해 글로벌 HBM 시장은 매년 폭발적으로 성장할 것으로 전망한다"고 밝혔다. 그는 이어 "현재 전 세계 인공지능 시장을 이끄는 엔비디아, 브로드컴에 적용되는 HBM3E 12단과 향후 HBM4, HBM5 출시에도 한미반도체의 TC 본더, FLTC 본더(플럭스리스타입), 하이브리드 본더가 주도적으로 글로벌 생산 기여할 것이라 자신하고 있다"고 강조했다. 한미반도체는 향후 AI시장 확장에 따른 칩 온 웨이퍼 온 서브스트레이트(CoWoS) 시장 성장과 고객사의 요구로 2.5D용 빅다이본더를 고객사에 공급할 계획이다. 또한 주파수변화를 통한 스마트기기와 위성통신기기에 적용 가능한 EMI 쉴드장비, 유리기판시장의 개화에 대응하기 위해 유리기판 절단용 MSVP를 개발해 고객사 납품을 준비하고 있다. 관계자는 최근 딥씨크 출시에 대한 시장의 논란에 대해 "결국 AI반도체 시장이 다양화 되면서 가장 수혜가 되는 분야는 HBM이 될 것"이라며 한미반도체가 보유하고 있는 고유의 기술인 메모리 적층용 어디밴스트 패키지 본더의 수요가 지속적으로 증가할 것"이라고 밝혔다.

2025.02.03 13:46장경윤

나인테크, FO-PLP·유리기판용 습식 공정장비 개발 완료

이차전지·반도체 장비 전문기업 나인테크는 FO-PLP(팬아웃 패널 레벨 패키징) 및 유리기판용 장비 생산을 위한 기술 개발과 테스트를 완료했다고 3일 밝혔다. 나인테크는 지난 3년간 FO-PLP에 적용되는 모든 습식 세정장비를 해외 반도체회사와 글라스 코어기판 회사에 납품하며 관련 기술력을 쌓은 바 있다. 이번에 개발한 장비는 기술적 부분에서 열 팽창 계수의 변화에 따른 기판의 휨(Warpage) 현상을 핸들링 하는 부분과 기판 두께의 얇아짐에 대응하기 위한 기술이다. 장비 개발 및 테스트를 마쳤으며, 유리관통전극(TGV) 공정의 습식 공정 설비 검증도 완료됐다. 회사는 앞으로 예상되는 장비 수요 증가에 대비해 올해부터 추가 증설 추진을 적극 검토하고 있다. FO-PLP는 기존 웨이퍼 레벨 패키징(WLP)보다 큰 패널을 사용해 더 많은 반도체 칩을 동시에 패키징 할 수 있는 장비다. 글래스 코어 기판(유리기판), 실리콘포토닉스와 더불어 차세대 반도체 기술로 주목받고 있다. FO-PLP 방식은 기존 WLP방식보다 생산성이 월등해 효율이 높을 뿐만 아니라 원가 절감에도 효과적이지만 기판이 넓어 열로 인한 휨 형상이 발생하고 이로 인해 칩 배선 불량까지 이어질 수 있다는 단점이 있다. 또한 유리기판은 기존 플라스틱 기판을대체함으로써 열에 대한 내구성을 높이고 회로 패턴의 오류를 줄여 수율을 높일 수 있으나, 유리관통전극(TGV) 공정의 고도화 및 인터포저(interposer)에 구리(Cu)를 채우는 기술 역시 추가 개발이 필요한 상황이다. 삼성전자와 TSMC 모두 인공지능(AI) 반도체를 만드는 FO-PLP 기술을 차기 로드맵으로 결정했으며, 이중 TSMC는 FO-PLP 방식과유리기판을 적용해 엔비디아 등 AI 반도체 패키징의 생산능력 한계와 비용 문제를 해결하려 하고 있다. 나인테크 관계자는 "급변하는반도체 시장에서 FO-PLP의 패키징 기술과 유리기판을 통한 반도체 패키징의 핵심 기술이 대두되고 있어 반도체 패키징 공정 선도기업 TSMC 역시 FO-PLP 방식과 유리기판을 통해 생산능력과 비용 문제를 해결하고 있다"며 "FO-PLP 장비 납품 경험을 통해 추가 수주에 박차를 가하면서, 연구개발과 더불어 수요 증대에 대비한 생산시설 확충도 진행 중"이라고 밝혔다.

2025.02.03 09:33장경윤

주성엔지니어링, 지난해 영업익 943억원…전년比 226% 증가

반도체∙태양광∙디스플레이 장비기업인 주성엔지니어링은 2024년 별도기준 누적 매출액 4천94억원, 영업이익은 943억원을 기록한 것으로 잠정 집계됐다고 31일 공시했다. 해당 매출액과 영업이익은 전년대비 각각 44%, 226% 증가한 수치며, 영업이익률은 23%다. 회사는 매년 주주총회에서 보고하고 승인받은 경영위원회 운영규정 제6조 4-8항(이익배분의 목적 및 규정)에 따라 주주와 임직원의 이익분배 재원을 검토했으며, 회사 경영환경을 고려해 최종적으로 현금배당액과 임직원 인센티브 금액을 결정했다. 특히 같은 날 공시한 현금배당 규모는 약 131억원(1주당 배당금 : 287원)이며, 지난해 10월 취득한 자사주의 금액까지 모두 합산하면 2024년 주주들에게 환원하는 총 금액은 631억원에 달하는 등 계속해서 주주친화정책 실현에 앞장서고 있다. 주성엔지니어링 관계자는 "국내외 반도체 매출 증가에 힘입어 전체적인 실적은 증가했다"며 "미래 성장동력 확보를 위한 투자, 지정학적 리스크의 선제적 대응을 위한 보수적인 회계처리 등 일회성 비용이 반영돼 이익률이 일시적으로 감소했다"고 설명했다. 또한 “해당 일회성 비용은 향후 새로운 시장 창출을 통해 고객다변화로 이어질 예정이며, 국제적 관계가 개선되어 채권 회수가 원활히 이루어지면 향후 영업이익 증가 요인으로 반영될 예정”이라고 말했다.

2025.02.01 15:35장경윤

AI 시대…데이터센터 장비·산업용로봇·AI의료시스템 급부상

인공지능(AI) 시장 급성장과 함께 국내 기업의 새로운 수출 기회가 열리고 있다. 특히 ▲데이터센터 장비 ▲산업용 로봇 ▲AI 의료시스템 등이 유망 분야로 떠오르고 있는 것으로 분석됐다. 산업통상자원부와 KOTRA(대표 강경성)는 글로벌 AI 시장 현황을 분석하고 국내 기업의 수출 기회를 제시하는 'AI 시장의 부상 : 수출 기회의 새로운 장' 보고서를 30일 발간했다. AI 생태계별 국가 맞춤형 수출 기회 제시 보고서는 AI 생태계를 4개 영역으로 분류하고 국가별 특성에 맞는 진출 기회를 제시했다. 기술·인프라(1차) 생태계에서는 말레이시아와 태국에서 글로벌 빅테크 기업의 대규모 데이터센터 투자로 냉각시스템·전력관리장치·고성능 서버 등 데이터센터 장비 수출이 유망하다고 분석했다. 또 독일 재생에너지 확대 정책으로 초고압 케이블과 전선 장비의 수출 기회가 확대될 것으로 전망했다. 효율성 향상(2차) 생태계에서는 미국·독일·중국·일본의 제조업 현장에서 인력 부족 문제 해결과 생산성 향상을 위한 산업용 로봇 수요가 급증함에 따라 국내 기업이 강점을 보유한 로봇 자동화 설비 수출 기회가 커질 것으로 기대했다. 또 벨기에와 싱가포르 금융·제조·물류 분야에서 업무 자동화 수요가 증가하면서 AI 기반 자동화 소프트웨어 시장의 빠른 성장을 예상했다. 서비스 강화(3차) 생태계는 영국이 국민보건서비스(NHS) 개혁의 일환으로 AI 의료시스템을 적극 도입하면서 의료영상 분석·진단 지원 시스템 등 의료 AI 솔루션 수출 가능성이 커졌다. 일본과 싱가포르에서는 AI 기반 금융 서비스 수요가 급증하면서 투자분석·리스크 관리 등 금융 AI 솔루션의 진출 기회가 확대되고 있다고 전했다. 산업 혁신(4차) 생태계에서는 독일이 연방 디지털·교통부를 중심으로 지능형 교통 시스템 구축을 선도하면서 AI 기반 교통관제·스마트 주차 등 관련 솔루션 수요가 증가하고 있다. 태국은 국가 전략인 '30@30' 정책에 따라 전기차 인프라 구축을 가속하고 있어, 충전 인프라 관련 장비의 수출이 유망할 것으로 전망된다. 주요국, AI 정책 제도 정비 가속 각국의 AI 정책도 빠르게 진화하고 있다. EU는 세계 최초 AI 규제인 'AI법'을 시행했다. 캐나다는 AI 활용 확산을 위해 '범 캐나다 인공지능 전략'을 도입했다. 일본은 'Society 5.0'을 통해 인간 중심의 AI 실현을 추구하고 있고, 중국은 '인공지능+ 액션플랜'으로 AI와 실물 경제의 융합을 가속하고 있다. 싱가포르는 'National AI Strategy 2.0'을 통해 AI 생태계 구축에 주력하고 있다. 이지형 KOTRA 경제통상협력본부장은 “우리 기업은 반도체·배터리 등 하드웨어 분야에서 이미 세계적인 경쟁력을 보유하고 있어 AI 시장에서도 성공 가능성이 매우 높다”며 “KOTRA는 3월 스페인 바르세롤나에서 열리는 MWC 전시회와 6월 태국 방콕에서 열리는 ICT Expo 등 맞춤형 해외진출 방안을 제공해 국내 기업의 새로운 도약을 적극 지원하겠다”고 밝혔다. 한편, 보고서는 KOTRA 해외시장뉴스에서 무료로 제공된다.

2025.01.30 20:28주문정

기상청 혁신제품 제1호 나왔다…국산 기상장비 경쟁력 강화 앞장

기상청은 17일 기상청 서울청사에서 파코코리아인더스의 '필터링 알고리즘 적용 및 분리형 멀티센서 모듈 기반 기압계'를 기상청 제1호 혁신제품으로 선정하고 인증서를 수여했다고 밝혔다. 기상청 혁신제품은 지난해 제정한 '기상청 혁신제품 지정 지침'에 따라 조달 적합성을 검토하고 외부 전문가로 구성한 평가위원의 서류·현장 심사를 거쳐 선정됐다. 파코코리아인더스의 기압계는 기존 제품과 달리 3개 감지기(센서)에서 측정한 오차범위 내 값 평균값을 산출해 신뢰도 높은 데이터를 수집하고, 탈부착 가능한 분리형 감지기다. 고장나면 구성 요소(모듈)만 교체할 수 있어 유지보수 비용을 절감할 수 있다. 기상청 혁신제품으로 지정된 장비는 조달업무 특례 규정을 적용받아 공공조달 수의계약 대상이 된다. 기상청 기상장비 입찰 참가 시 제안서 기술평가에서도 가점(2점)을 받을 수 있다. 또 조달청 혁신장터에 등록돼 제품 홍보와 함께 중소벤처기업진흥공단을 통해 기술개발 정책자금(운전자금 5억원 이하, 시설자금 30억원 이하)도 지원받을 수 있다. 장동언 기상청장은 “앞으로 혁신제품을 지속해서 발굴해 중소기업의 우수 기술이 공공과 민간 시장에서 활용될 수 있도록 지원할 예정”이라며 “기상장비 혁신제품 지정은 기술 상용화와 함께 국제 기상산업 시장으로의 진출 가능성을 열어 국내 기업의 경쟁력 강화에 도움이 될 것”으로 기대했다.

2025.01.18 00:30주문정

ASML 반도체 장비 수출 정부 허가받아야…中 반발

네덜란드 정부가 ASML의 반도체 장비 수출 통제를 강화하자 중국이 반발했다. 중국 상무부는 15일(현지시간) 반도체 제조 장비와 소프트웨어 수출 통제를 강화한 네덜란드에 우려를 표한다고 발표했다. 상무부는 반도체 산업은 고도로 세계화된 분야라며 수출 통제를 남용해 반도체 공급망을 흔드는 일부 국가에 반대한다고 강조했다. 또 네덜란드는 세계무역기구(WTO) 회원국으로서 국제 무역 규칙을 지키기 바란다며 각국 기업의 정당한 권익을 보장해야 한다고 주장했다. 네덜란드 정부는 오는 4월부터 ASML 같은 자국 업체가 반도체 장비를 수출하려면 정부로부터 허가받도록 했다. ASML은 반도체 미세 공정에 쓰는 극자외선(EUV) 노광 장비를 세계에서 유일하게 생산한다. 미국이 제재해 ASML은 첨단 장비에 이어 구형 장비도 중국에 수출하기 어려워졌다.

2025.01.16 16:13유혜진

KRISS, "수소연료 불순물 실시간 모니터링 장비 오는 2월 기술이전"

한국표준과학연구원(KRISS) 반도체디스플레이측정그룹이 수소연료 품질 실시간 모니터링 장비를 국내 처음 개발했다. 수소연료는 내연 기관 연료에 비해 생산·운반·저장 시 오염 가능성이 크다. 수소연료 생산공정이 내연 연료에 비해 복잡할 뿐만 아니라 저장과 운송, 이용을 위한 고압 처리 과정에서 불순물이 발생할 확률이 높다. 연구진은 "오염된 수소연료가 수소차에 주입되면 폭발 및 사고 위험성이 크게 증가한다"며 "수소충전소 수소연료 불순물은 국제표준화기구(ISO)가 제안한 기준에 맞게 측정·관리해야 한다"고 설명했다. 그러나 국내에서는 분기당 1회 검사 기관이 충전소를 방문해 수소연료를 채취한 후 전용 설비에서 불순물을 측정했다. 이번에 개발한 장비는 수소 충전기에 설치해 차량으로 주입하는 수소연료 속 불순물의 성분과 농도를 실시간 모니터링한다. 수소 연료 상태를 주입과 동시에 점검하는 것. 연구진은 "국제표준화기구(ISO)가 관리 대상으로 규정하고 있는 불순물 14가지 중 8가지 성분을 정확히 측정할 수 있다"고 말했다. 8가지 성분은 수증기(H₂O), 산소(O₂), 아르곤(Ar), 이산화탄소(CO₂), 메탄(CH₄), 일산화탄소(CO), 질소(N₂), 황화수소(H₂S) 등이다. 개발을 주도한 이정순 책임연구원은 "수소연료 품질을 상시 점검·유지할 수 있어 수소차의 안전성을 강화하고 사용자의 불안을 줄일 수 있을 것"으로 기대했다. 이 연구원은 "현재 현장에서는 생산 수소의 불순물 검사를 위해 값비싼 외산 장비를 사용하고 있는데, 장비당 1~2개의 성분만 분석할 수 있고 유지관리도 쉽지 않아 원활한 품질 검사에 어려움을 겪었다"고 말했다. 표준연은 지난 해 11월부터 충주시 수소버스충전소에서 장비 실증을 진행 중이다. 오는 2월 실증이 마무리되면 국내 가스장비 전문업체에 이를 기술이전할 계획이다. 이 연구성과는 KRISS 기본사업과 산업통상자원부 '수소충전소 및 배관망 안전 제고를 위한 필수 장비 국산화 기술 개발' 사업의 지원을 받았다.

2025.01.14 15:54박희범

환경공단, 올해 1조6293억원 규모 발주

환경부 산하 한국환경공단(이사장 안병옥)은 새해 총 1조6천293억원 규모 사업을 발주하기로 했다고 밝혔다. 환경공단의 올해 발주 물량은 총 842건으로 지난해 863건 보다 2.5%(21건) 감소했으나, 발주규모는 지난해 1조2천463억원 보다 30%(3천829억원) 가량 늘어났다. 환경공단은 전체 발주금액 가운데 약 70%인 총 1조1천245억원에 해당하는 603건을 상반기 안에 조기 발주해 경기 활성화에 힘을 보탤 예정이다. 주요 사업은 과천공공하수처리시설 현대화사업·동부권 광역자원회수시설 증설사업 등 시설공사 85건(1조2천667억원), 폐비닐재활용처리시설 민간위탁운영·2025년 화학물질 유해성시험자료 생산 등 용역 395건(2천90억원), 대기연속측정장비 등 물품 362건(1천535억원) 등이 포함됐다. 한편, 올해 환경공단 발주계획의 자세한 내용은 환경공단 누리집에서 확인할 수 있다.

2025.01.10 15:33주문정

코레일, 설 황금연휴 승차권 172만석 판매

한국철도공사(코레일)가 지난 6일부터 9일까지 나흘간 진행한 올해 설 특별수송기간(1월 24일~2월 2일) 승차권 예매 결과, 공급 좌석 333만석 가운데 172만석이 팔려 예매율 51.7%로 집계됐다고 밝혔다. 주요 노선별 예매율은 경부선 55.4%, 경전선 56.0%, 호남선 54.5%, 전라선 59.8%, 강릉선 42.0%, 중앙선 56.7%이다. 귀성객이 가장 많은 날은 연휴 이틀 전인 27일로 이날 하행선 예매율은 87.0%(경부선 93.0%, 호남선 90.9%), 귀경 예매율은 설 명절 다음날인 30일 상행선이 89.4%(경부선 95.9%, 호남선 93.8%)로 가장 높았다. 이번 설 명절은 27일 임시공휴일 지정으로 6일에서 최대 9일간의 황금연휴가 이어짐에 따라 수요가 분산돼 지난 설 대비 예매율은 감소했지만, 예매 좌석은 84만석 늘었다. 교통약자 예매 좌석은 지난해 7만8천석 보다 6만3천석 늘어 14만1천석이 팔렸다. 예매한 승차권은 12일 자정(24시)까지, 교통약자는 15일 자정까지 결제해야 한다. 기간 내 결제하지 않은 승차권은 자동으로 취소되고, 예약 대기 신청자에게 배정된다. 잔여석은 코레일 홈페이지나 모바일 앱 '코레일톡', 역 창구와 자동발매기에서 평소처럼 구매할 수 있다. 코레일은 사전예매와 잔여석 판매 이후 남은 좌석이 있는 일부 열차를 대상으로 운임을 30~40% 할인하는 역귀성 여행상품을 운영할 계획이다. 코레일 측은 올해 설 명절 예매부터 노쇼 피해를 최소화하고 실수요자의 권리를 보호하고자 환불 위약금을 2배로 상향 조정한 만큼 승차권 반환 시에는 변경 내용을 확인해야 한다고 전했다. 이민성 코레일 고객마케팅단장은 “안정적인 명절 예매를 위해 서버와 네트워크 장비 등을 평시보다 늘려 철저히 대비했다”며 “국민의 편리한 열차 이용을 위해 명절이 끝날 때까지 암표 등 부당거래 예방과 단속도 한층 강화하겠다”고 밝혔다.

2025.01.10 14:37주문정

환경보전원, '유해화학물질 안전교육 전문기관' 지정

한국환경보전원(원장 신진수)은 '유해 화학물질 안전교육 전문기관'으로 지정됐다고 밝혔다. 유해 화학물질 안전교육 전문기관은 화학물질관리법에 따라 화학물질안전원이 서류 심사, 현장 및 강의 평가를 거쳐 인력·시설·장비·강의력 등 다양한 요소를 종합적으로 평가해 지정한다. 환경보전원은 쾌적한 시설·최첨단 장비·우수한 강의력을 인정받아 1월 유해화학물질 안전교육 전문기관으로 지정받아 '유해 화학물질 안전교육 전문기관'으로서 공식 운영을 시작했다. 현재 운영 중인 유해 화학물질 안전교육 전문기관 가운데, 공공기관은 환경보전원이 유일하다. 환경보전원은 이번 지정으로 기술인력 및 관리자, 취급 담당자, 운반자 등을 대상으로 한 정기 교육과 자격 취득 과정을 운영한다. 이를 통해 유해화학물질 안전교육 사각지대를 해소하고, 화학물질 취급 과정에서 발생할 수 있는 사고 예방과 대응 역량 강화를 목표로 하고 있다. 또 서울·대구·광주 등 전국 3개 지역에 전용 교육장을 마련해 교육 접근성을 높였다. 각 교육장은 최대 100명을 수용할 수 있는 강의실과 최신 실습 장비를 갖췄다. 신진수 환경보전원장은 “이번 지정으로 환경보전원은 모든 환경 분야의 법정 교육을 담당하는 공공기관으로 확고히 자리매김하게 됐다”며 “앞으로도 국민의 안전과 건강을 최우선으로 삼아 공공 영역을 지속해서 확대해 나가겠다”고 말했다.

2025.01.09 10:33주문정

산업부-국방부, 국방분야 3D프린팅 기술 협력 강화

산업통상자원부와 국방부는 2일 '국방분야 3D프린팅 기술협력을 위한 업무협약(MOU)'을 체결했다. 지난 2017년 3D프린팅 분야 업무협약을 체결, 부품 제조기술개발과 전문인력 양성 분야 등으로 협력을 추진해 온 산업부와 국방부는 단종되었거나 조달이 어려운 군함·전차 등의 부품을 대체해 무기체계 가동률을 높이고 3D프린팅 부품 제조기술력을 확보하는 등 성과를 창출했다. 이날 협약은 2017년부터 계속해 온 국방분야 3D프린팅의 부처 간 협력을 지속·연장하고, 더욱 고도화된 국방부품 제조능력 확보 등을 위해 체결했다. 두 기관은 국방 3D프린팅 관련 ▲부품 수요 발굴 및 실증 ▲기술개발 및 제조공정 데이터베이스 구축 ▲부품 공급망 및 산업 생태계 구축 ▲전문인력 양성 등의 분야에서 협력을 강화하기로 했다. 산업부는 이번 협약으로 핵심부품 제작을 위한 기술력 확보 외에도 3D프린팅 부품 활용 확대에 따른 시장 확대와 함께 련 산업생태계 강화에도 기여할 것으로 내다봤다. 윤성혁 산업부 첨단산업정책관은 “산업부가 축적해온 연구개발(R&D)·인프라·인력 등의 자산과 국방부·생산기술연구원의 역량이 결집돼 다양한 성과 창출이 예상된다”며 “이번 협력이 국방력 강화뿐만 아니라 3D프린팅 업계 산업경쟁력 강화에도 기여하는 상생 협력 모델이 될 것”이라고 밝혔다. 이갑수 국방부 군수관리관은 “이번 협약은 국방분야에 3D프린팅 기술의 확대 적용과 군의 자체 생산기반 구축을 위해서 한 단계 도약할 수 있는 좋은 기회”라며 “앞으로도 3D프린팅 기술을 활용한 국방부품의 자체 제작능력 확보를 추진하여 전투장비의 가동률 향상에 기여하겠다”고 밝혔다. 한편, 산업부는 3D프린팅의 소재·부품·장비·공정 연구개발을 지속해왔다. 최근에는 3D프린팅 관련 디지털전환·조선 유지보수(MRO) 관련 기술도 지원 중이며 앞으로도 3D프린팅 분야 발전을 위한 지원을 지속할 예정이다.

2025.01.02 19:48주문정

파인텍, 54억원 규모 이차전지 제조장비 공급계약 체결

파인텍은 국내 이차전지 부품 제조기업과 이차전지 제조장비 공급계약을 체결했다고 2일 공시를 통해 밝혔다. 이번 계약 규모는 54억원으로, 회사의 2023년 연 매출액의 12%에 해당한다. 계약 종료일은 오는 4월 30일까지다. 다만 구체적인 고객사는 상대방의 비밀유지 요청에 따라 공개되지 않았다. 기존 파인텍은 LCD, OLED 등 디스플레이 장비를 주력 사업으로 영위해왔으나, 지난 2019년 이차전지 관련 사업부를 설립하며 제품 다각화를 추진했다. 이후 3년간 100억원 수준의 연구개발비를 들여 장비군을 꾸준히 확장해왔다. 파인텍의 대표적인 이차전지 장비로는 자동 테이핑 및 검사장비, 2D 레이저 마킹 장비, 캡 어셈블리 장비 등이 있다. 이 중 캡 어셈블리 장비는 가장 최근 상용화된 장비로, 파인텍의 이차전지 사업을 주력 사업으로 끌어올리는 데 중추적인 역할을 할 것으로 전망된다. 캡 어셈블리는 이차전지 내 압력 상승 시 외부로 가스를 배출시켜 폭발을 방지하는 캡을 조립하는 공정이다. 각형 배터리 제조에 쓰인다. 이를 위해 파인텍은 캡 내 13가지 부품을 자동으로 검사, 용접, 조립하는 장비를 개발해냈다.

2025.01.02 12:49장경윤

美, 중국산 인터넷 공유기 사용 금지 검토

미국 정부가 중국 티피링크(TP-Link)의 인터넷 공유기(라우터)를 자국에서 사용금지할 것으로 보인다. 미국 국방부·상무부·법무부는 중국 티피링크를 조사하고 있다고 미국 일간지 월스트리트저널(WSJ)이 18일(현지시간) 보도했다. 안보를 위협한다는 이유다. 미국 정보기술(IT) 회사 마이크로소프트(MS)는 지난 10월 중국 해킹 단체가 티피링크 공유기 수천개로 연결한 인터넷을 쓴다고 발표했다. 내년부터 티피링크 공유기를 미국에서 살 수 없을 것으로 WSJ은 내다봤다. 이렇게 되면 티피링크 공유기는 중국 최대 통신장비 업체 화웨이테크놀로지가 미국에서 철수한 뒤로 가장 많이 퇴출되는 중국산 통신 장비가 된다는 설명이다. 도널드 트럼프 1기 행정부는 2019년 화웨이를 미국 시장에서 내쫓았다. 트럼프 2기 행정부는 내년 1월 20일 출범한다. 소식통은 “티피링크 공유기가 보안 결함이 있는 상태로 소비자에게 배송되는 경우가 많다”며 “티피링크는 대부분 문제를 해결하지 못한다”고 말했다고 WSJ은 전했다. 이에 류펑위 주미국중국대사관 대변인은 “미국이 국가 안보를 구실로 중국 기업을 억누른다”며 “중국 기업의 합법적 권리와 이익을 단호하게 지키겠다”고 밝혔다. 업계에 따르면 미국 가정과 소기업에 설치된 공유기 가운데 티피링크 제품이 65%다. WSJ은 티피링크 공유기가 세계 최대 전자상거래 망 아마존에서 가장 많이 팔리는 공유기라며 미국 국방부와 연방정부 기관에 인터넷 통신을 지원한다고 소개했다.

2024.12.19 17:17유혜진

한화정밀기계, 한미반도체 특허침해 소송에 "허위 주장 바로 잡겠다" 반박

한화정밀기계는 19일 반도체 후공정용 TC본더 특허 침해 소송과 관련해 "특정사가 자신의 특허를 침해했다는 주장은 사실과 다름을 분명히 밝힌다"며 법적 대응에 나설 것임을 밝혔다. 앞서 한미반도체는 지난 4일 서울중앙지법에 한화정밀기계를 상대로 TC본더 관련 특허권침해금지 소송을 제기했다. 다만 한미반도체가 특허 침해를 주장한 구체적인 조항은 밝혀지지 않았다. TC본더는 열·압착을 통해 칩과 웨이퍼를 붙이는 반도체 후공정 장비다. 특히 여러 개의 D램을 수직으로 적층해 TSV(실리콘관통전극)로 연결하는 HBM(고대역폭메모리)을 제조하는 데 필수적으로 쓰인다. 한화정밀기계는 "당사는 30년이 넘는 반도체 장비 관련 R&D 기술을 기반으로 자체 개발한 제품을 제조 및 판매하고 있다"며 "개발과정에서 선행기술 조사과정을 거치고 있으므로, 특정사(한미반도체)가 자신의 특허를 침해했다는 주장은 사실과 다름을 분명히 밝힌다"고 강조했다. 회사는 이어 "당사는 공정 경쟁을 최우선의 가치로 삼고 있으며, 관련 기술개발을 위한 업계의 특허권을 존중해 사업을 운영하고 있다"며 "적법하지 않거나 경쟁사의 권리를 침해하는 방식으로 사업을 진행하지 않는다"고 덧붙였다. 한미반도체의 특허침해 소장 내용에 대해서는 "해당사의 일방적인 주장만을 담고 있는 것으로, 당사는 이에 대한 반박과 함께 강력한 법적인 대응을 준비하고 있다"며 "한미반도체의 부당한 주장은 법원의 절차를 통해 명백히 확인될 것"이라고 밝혔다. 한미반도체가 한화정밀기계로 이직한 전 연구원에게 청구했던 부정경쟁행위금지 소송에 대해서도 입장을 밝혔다. 한화정밀기계는 "한미반도체 TC본더 연구원을 채용 영업비밀을 취했다는 의혹에 대해서는 이미 지난 5월 첫 보도 당시, 전혀 사실이 아님을 공식적으로 밝힌 바 있다"며 "해당 사건은 연구원 개인을 피고로 한 소송으로 한화정밀기계와 직접적인 관련이 없을 뿐만 아니라, 해당 소송에서도 해당 연구원이 한미반도체의 영업비밀을 침해했다는 내용은 전혀 확인된 바가 없다"고 설명했다. 끝으로 한화정밀기계는 "한미반도체의 특허침해 주장은 전혀 사실이 아님을 다시 한 번 밝히며 전문기관 및 법원을 통해 한미반도체의 허위 주장을 반드시 바로잡겠다"며 "앞으로 사업을 전개함에 있어 합리적이고 정정당당한 방식으로 최선의 결과를 도출할 수 있도록 노력하겠다"고 밝혔다.

2024.12.19 14:54장경윤

위브, 욜인텔리전스 '2024 마이크로 LED 산업 보고서'에서 소개돼

차세대 광분석 기술 기업 위브(대표 주성빈)가 시장조사업체 욜인텔리전스의 '2024년 마이크로 LED 기술, 장비 및 제조업 보고서'에서 광발광(PL) 검사 기술 분야 글로벌 대표 기업으로 소개됐다고 17일 밝혔다. 욜인텔리전스는 위브 기술력에 대해 '마이크로 LED 검사 분야에서 높은 해상도와 빠른 검사 속도를 모두 만족시키기 위한 차세대 검사 장비'라고 평했다. PL 검사는 광발광 현상을 보이는 물질의 광학·전자적 특성을 파악하기 위한 방법론이다. 반도체, 일부 나노 물질 등은 빛 에너지를 받으면 이를 흡수했다가 일부를 방출하는 성질을 갖고 있다. PL 검사에서는 레이저를 분석 대상에 조사하고, 방출되는 빛의 파장과 밝기를 참고해 물질 특성을 알아낸다. LED 분야에서는 LED 소자의 광발광 패턴을 분석해 각종 검사를 진행할 수 있다. 위브가 개발 중인 검사 장비 '반디'는 마이크로 LED 제조 전 공정에서 활용할 수 있는 다양한 검사 기능을 탑재했다. 일반적인 장비가 소자 외형 검사와 발광 불량 분석만을 제공하는 데 반해, 반디는 LED 소자를 제조하고 디스플레이 기판에 전사하는 전 과정에서 ▲소자 외형 ▲발광형태 ▲발광세기 ▲색도 검사 기능을 제공하며, 제조 이전 단계에서 웨이퍼 품질 검사까지 가능하다. 주성빈 위브 대표는 "현재 마이크로 LED 양산에서 가장 큰 허들은 높은 제조단가로, 이것만 극복하면 그야말로 '꿈의 디스플레이'를 실현할 수 있다"며 "전 공정에서 불량 현황을 정밀하게 확인할 수 있는 검사 장비는 공정 자체가 갖고 있는 문제점을 파악하고 개선을 위한 인사이트를 도출하는 데 효과적"이라고 말했다.

2024.12.17 11:38백봉삼

KIAT, 연구기반 활용 활성화 위한 교류·협력 확대

한국산업기술진흥원(KIAT·원장 민병주)은 17일 서울 소공동 롯데호텔에서 2024년 연구기반 총괄협의체를 개최하고 연구기반 활용 활성화를 위한 협력 방안을 논의했다. 연구기반 센터 총괄협의체는 산업통상자원부의 산업기술 기반구축 사업 280여 개 과제를 수행하는 연구개발기관들의 협의체다. 연구기반센터의 총괄 책임자와 실무자들이 참여해 정보를 교류하고 상호 협력 기회와 사업 개선 방안을 모색하는 등 기반구축 사업 활성화를 추진하고 있다. 이날 회의에서는 담당자 400여 명이 참석해 연구기반 구축사업을 수행하면서 발생하는 애로사항 극복 방안과 기업 지원 우수 사례를 공유하고 센터 간 협력 방안에 대해 논의했다. KIAT는 이날 KTR(한국화학융합시험연구원·원장 김현철), 한국광기술원(원장 신용진), 한국기술교육대학교(총장 유길상)와 산업기술 연구기반 구축 및 활용 활성화를 위한 업무협약을 체결했다. 이번 협약 체결에 따라 연구기반 센터는 기획재정부의 중소기업기술마켓 인증기업, 녹색인증 기업, 월드클래스 및 월드클래스플러스 기업, 규제샌드박스 승인 기업이 센터 장비를 활용하면 이용료 감면 혜택을 주기로 했다. KIAT는 앞으로 연구시설 및 장비 활용에 대한 효율성을 높이기 위해 이러한 기관 간 협력 체제 구축을 확대해 나갈 예정이다. 민병주 KIAT 원장은 “인공지능(AI)의 영향으로 경제와 사회가 모두 급격하게 재편 중인 가운데, 산업 초격차를 유지하려면 전국에 있는 연구기반 센터들의 역할이 중요하다”며 “앞으로도 센터 간 협력을 강화하는 노력을 지속하겠다”고 말했다. 한편, KIAT는 연구시설과 장비를 보유한 연구기반 센터의 안전관리를 강화하기 위해 연구과정에서 화재 발생 시 도움이 될 구조 손수건 총 3천개를 배포했다.

2024.12.17 11:00주문정

올해 반도체 장비 시장 6.5% 성장...AI 투자로 '역대 최고치'

올해 전세계 반도체 장비 시장 규모가 AI 시장 성장에 힘입어 사상 최대치를 기록할 전망이다. 특히 중국이 전세계 규모액의 35% 이상을 차지하며 가장 많은 규모의 장비를 구매했다. 이런 성장세는 2026년까지 지속적될 것으로 예상된다. 글로벌 전자 산업 협회 SEMI는 17일 올해 세계 반도체 장비 시장이 전년 대비 6.5% 성장한 1천130억 달러(약 160조4천600억원)로 사상 최대치를 기록할 것으로 전망했다. 이런 성장세는 전공정과 후공정 전반에서 지속되어 2025년 1천210억 달러(약 171조8천200억원), 2026년 1천390억 달러(약 197조3천800억원) 규모로 3년 연속 확대될 전망이다. 아짓 마노차 SEMI CEO는 "반도체 제조 투자가 3년 연속 증가세를 보이는 것은 우리 산업이 기술 혁신을 주도하는 핵심 역할을 하고 있음을 보여준다"며, "중국의 적극적인 장비 구매와 AI 시장 성장에 힘입어 올해 시장 전망이 지난 7월 대비 개선됐다"고 밝혔다. 전공정, 장비 올해 5.4% 성장...후공정, 하반기부터 회복세 세부 분야별로 살펴보면, 웨이퍼 팹 장비 부문은 작년 960억 달러(약 136조3천200억원)에서 올해 1천10억 달러(약 143조4천200억원)로 5.4% 성장이 예상된다. 이는 SEMI가 올해 중반 발표한 전망치 980억 달러(약 139조1천600억원)를 상회하는 수치다. 투자액이 증가한 요인은 AI용 D램과 고대역폭 메모리(HBM) 수요 증가와 중국의 대규모 투자가 성장을 견인한 결과다. 첨단 로직과 메모리 반도체 수요 증가에 힘입어 웨이퍼 팹 장비는 2025년 6.8%, 2026년 14% 성장해 1천230억 달러(약 174조6천600억원) 규모까지 확대될 전망이다. 후공정 장비 시장은 2년간의 침체에서 벗어나 2024년 하반기부터 강한 회복세를 보이고 있다. 테스트 장비는 2024년 13.8% 증가한 71억 달러(약 10조820억원), 어셈블리·패키징 장비는 22.6% 증가한 49억 달러(약 6조 9,580억원)가 예상된다. 후공장 장비 성장세는 더욱 가속화되어 테스트 장비는 2025년에 14.7%, 2026년에 18.6% 증가하며, 어셈블리 및 패키징 장비는 2025년에 16%, 2026년에 23.5% 증가할 것으로 예측된다. 고성능 컴퓨팅(HPC)에 필요한 반도체 디바이스의 복잡성 증가와 모바일, 자동차, 산업용 시장에서의 수요 확대에 힘입어 후공정 부문의 성장세가 예상된다. 파운드리 투자 작년과 비슷....HBM 투자 폭발적 응용 분야별로 살펴보면, 파운드리·로직 부문 장비 매출액이 매출액은 머츄어 노드(Mature Node)에서의 견조한 투자에 힘입어 올해 586억 달러(약 83조2천120억원)로 전년 수준을 유지할 전망이다. 이후 파운드리 웨이퍼 팹 장비 매출액은 2025년 2.8%, 2026년에는 15% 성장해 693억 달러에 이를 것으로 전망된다. 선단 기술에 대한 수요 증가, 게이트-올-어라운드(GAA) 등 새로운 디바이스 아키텍처 도입, 생산 능력 확대에 따른 투자가 증가하고 있다. 메모리 부문에서는 AI를 위한 HBM 수요 증가와 지속적인 기술 전환에 힘입어 2026년까지 큰 폭의 증가세를 보일 것으로 전망된다. 낸드 장비 시장은 공급과 수요가 점진적으로 정상화되면서 올해 0.7% 증가한 93억 달러로 적은 수준으로 성정할 전망이다. 하지만 2025년에는 47.8% 늘어난 137억 달러, 2026년에는 9.7% 증가한 151억 달러로 높은 성장세를 이어갈 전망이다. D램 장비 시장은 올해 35.3% 증가한 188억 달러로 강력한 성장을 보인 뒤, 2025년과 2026년에는 각각 10.4%, 6.2%의 성장률을 기록할 것으로 예측된다. 중국 올해만 490억 달러 투자...가장 많은 규모 중국, 대만, 한국은 2026년까지 최대 반도체 장비 투자 국가의 위치를 지킬 것으로 보인다. 특히 중국의 올해 장비 투자액은 490억 달러로 전세계의 35%를 차지한다. 중국은 2026년까지 가장 큰 반도체 장비 투자국가의 위치를 유지할 것으로 전망된다. 대부분의 지역에서 올해 장비 지출이 감소한 후 2025년에 반등할 것으로 예상된다. 반면, 중국은 투자액이 지속적인 성장하다가 2025년에는 다소 감소될 것으로 보인다. 2026년에는 모든 지역의 반도체 투자액이 증가할 것으로 예상된다.

2024.12.17 10:26이나리

美, 中 첨단 반도체 전·후공정 옥죈다…"韓, 수출 요건 면밀히 봐야"

미국이 연일 중국에 대한 첨단 반도체 수출규제를 강화하고 있다. 최근엔 반도체 장비에 대한 규제범위를 확대하고, EUV(극자외선)을 대체할 첨단 노광기술 분야에 대한 접근을 차단하는 등 규제를 시행했다. 국내 반도체 장비업계 역시 중국 사업 확대에 제동이 걸릴 수 있다는 우려가 제기된다. 이와 대해 전문가들은 먼저 추가된 규제 요건을 면밀히 파악하고, 상황에 맞는 대비책을 세울 필요가 있다고 제언했다. 16일 서울 스페이스쉐어 삼성역센터에서는 '미국의 대중국 반도체 수출통제 강화 설명회'가 진행됐다. 미국산 IC칩 활용 안돼…FDPR 범위 넓힌다 앞서 미국 상무부 산하 산업안보국(BIS)은 지난 2일 중국에 대한 첨단 반도체 및 반도체 제조장비에 대한 새로운 수출 규제를 발표한 바 있다. 이번 규제로 중국에 대한 HBM(고대역폭메모리) 수출 금지, 중국 제재 기업 확대, 반도체 장비 수출에 대한 규제 등이 추가됐다. 장비 수출규제 범위에는 총 24종의 반도체 제조장비와 3종의 반도체 설계용 소프트웨어 툴이 포함됐다. 반도체 제조장비의 경우 첨단 칩 제조를 위한 식각, 증착, 노광, 이온주입, 어닐링, 계측, 세정 등 주요 공정 전반을 다룬다. 특히 이번 규제에서는 한국을 비롯해 말레이시아, 싱가포르, 이스라엘, 대만 등이 FDPR(해외직접생산품규칙) 면제국에 포함되지 않았다. FDPR은 미국이 아닌 타 국가에서 만든 제품도 미국산 소프트웨어나 장비, 기술 등이 적용되면 특정 국가로의 반입을 금지하는 제재다. FDPR의 조건도 2종이 추가됐다. 기존 FDPR은 미국 기술이나 소프트웨어로 생산된 외국산 제품, 또는 미국 기술이나 소프트웨어가 사용된 해외 시설에서 생산된 외국산 제품을 통제했다. 이번 규제에서는 미국 기술이나 소프트웨어가 사용된 생산품(특히 IC칩)을 포함하는 경우도 통제 대상으로 삼기 때문에 범위가 더 넓다. 예를 들어 반도체 장비기업 A사가 미국산 IC 칩을 단 한개라도 활용해, FDPR 규제에 포함된 반도체 장비를 한국에서 제조하는 경우에도 통제 대상에 오르게 된다. 인텔 등 미국산 IC칩은 사실상 반도체 장비에 필수적으로 활용된다. 이에 설명회에 참석한 반도체 장비업계 관계자들은 중국향 수출에 미칠 여파에 우려를 표했다. 이와 관련해 강은희 무역안보관리원 정책연구팀 팀장은 "먼저 수출품의 목적지 및 거래자, 수출 품목 등이 FDPR 규제 대상에 포함되는지 살펴볼 필요가 있다"며 "미국 기술을 활용하더라도 거래처나 제품군이 규제 대상이 아니면 영향을 받지 않기 때문"이라고 설명했다. EUV 대체 기술도 차단…첨단 노광 기술 접근 '원천봉쇄' 규제 품목에 새롭게 오른 장비들도 눈에 띈다. 미국은 반도체에 회로를 새기는 노광 공정용 장비에 고성능 나노 임프린트 노광(NIL) 장비를 추가했다. NIL은 웨이퍼에 감광액(PR)을 도포하고 그 위로 특정 패턴이 각인된 스탬프를 찍어 회로를 형성하는 기술이다. EUV 등 기존 노광 공정과 달리 렌즈를 쓰지 않기 때문에 비용이 저렴하다. NIL은 기존 통제 품목인 EUV의 대체재로 평가받는다. 7나노미터(nm) 이하의 첨단 공정에서도 향후 활용될 가능성이 있어, 일본 캐논 등이 관련 기술을 적극적으로 개발해 왔다. 결과적으로, 해당 규제는 중국이 대체재를 활용해 첨단 노광기술에 접근하려는 시도까지 막기 위한 전략으로 풀이된다. HBM 등 첨단 패키징에서 활용되는 TSV(실리콘관통전극) 식각장비도 규제 대상에 올랐다. TSV는 층층이 쌓인 각 D램이 데이터를 주고받을 수 있도록 하는 일종의 통로다. 이를 위해선 식각장비로 D램에 균일하고 미세한 구멍을 뚫어야 한다.

2024.12.16 18:07장경윤

ACM 리서치, 열·플라즈마 강화 'ALD 퍼니스 장비' 고객사 인증

반도체 장비기업 ACM리서치는 자사의 'Ultra Fn A' 플라즈마 강화 원자층 증착(PEALD) 퍼니스 장비가 중국 반도체 제조 고객사의 공정 적격성 인증(PQ)을 완료해 양산에 진입했다고 12일 밝혔다. 또한 ACM은 지난 2022년에 출시한 Ultra Fn A 열 원자층 증착(Thermal ALD) 퍼니스 장비를 또 다른 중국 주요 고객사의 공정 인증을 성공적으로 완료했다. 해당 인증에서 ACM은 경쟁 장비를 능가하거나 동등한 성능을 입증했다. ACM의 Ultra Fn A PEALD 장비는 초박막 실리콘 질화물(SiN) 박막 증착을 위해 설계됐다. 이 장비는 이중 층 튜브와 공기 흐름 균형 기술을 갖추고 있어 웨이퍼 내 균일도(WIW)와 웨이퍼 간 균일도(WTW) 두 가지 모두를 크게 향상시킨다. 플라즈마 강화 기술을 활용하면 장비의 열 예산을 효과적으로 줄일 수 있다. 뿐만 아니라, 반응 튜브 내 전구체 저장 및 방출량을 정밀 조정함으로써 디바이스의 중요한 치수와 패턴 프로파일을 정확하게 제어할 수 있다. ACM의 Ultra Fn A 퍼니스 ALD 제품은 열 ALD 및 PEALD 두 가지 타입 모두 경성 마스크, 배리어, 스페이서, 측벽 보호층과 같은 다양한 박막 증착 작업을 수행할 수 있어 대상 공정 애플리케이션의 다양한 요구 사항을 지원한다. 두 구성 모두 300mm 웨이퍼를 100개 이상 배치(batch) 처리할 수 있는 6-조 시스템이 특징이다. 또한 장비에는 로딩 영역에서 산소 농도를 제어하는 4개의 로드포트(loadport) 시스템, 통합 가스 공급 시스템(IGS), 그리고 in-situ 건식 세정 기능을 포함하고 있으며, 모두 반도체 제조장비 재료 협회(SEMI) 표준을 충족하도록 설계됐다. 데이비드 왕 ACM 리서치 사장 겸 최고경영자(CEO)는 “현대의 첨단 집적 회로(IC) 제조는 뛰어난 스텝 커버리지와 우수한 품질을 갖춘 초박막 필름 증착에 점점 더 의존하고 있다”며 “실리콘 탄소 질화물(SiCB) 박막, 실리콘 질화(SiN) 박막 및 저유전율(low-k) 박막과 같은 물질을 증착하는 데 있어 복잡성을 해결하려면 진정한 혁신이 필요하며, ACM의 연구개발팀은 우리의 ALD 플랫폼과 공정을 통해 이를 실현했다"고 밝혔다.

2024.12.12 16:46장경윤

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