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한미반도체, 'HBM6 사이드 검사 장비' 출시

한미반도체가 인공지능 반도체용 HBM(고대역폭메모리) 필수 공정 장비인 'HBM6 SIDE 인스펙션' 을 출시했다고 15일 밝혔다. 한미반도체가 처음으로 선보이는 HBM6 SIDE 인스펙션 장비는 실리콘관통전극(TSV) 공법으로 적층된 반도체 칩(Die) 6면을 비전 검사를 통해 불량률을 최소화하는 장비다. 곽동신 한미반도체 부회장은 "이번 신규 장비는 HBM 수율(Yield) 향상을 위해 생산성과 검사 정밀도가 크게 향상된 점이 특징"이라며 "반도체 D램 칩을 수직으로 적층하는 한미반도체 듀얼 TC 본더와 함께 향후 매출에 크게 기여하는 주력 장비가 될 것으로 기대하고 있다"고 말했다. 한미반도체는 2002년 지적재산부를 창설한 후 현재 10여명의 전문인력으로 구성된 전담부서를 통해 지적재산권 보호와 강화에 주력하고 있다. 그 결과 지금까지 총 111건의 특허 포함 120여건에 달하는 HBM 장비 특허를 출원했다. 한미반도체는 작년 하반기부터 현재까지 SK하이닉스로부터 HBM 필수 공정 장비인 '듀얼 TC 본더 그리핀'으로 2천억원이 넘는 수주를 기록한 바 있다. 최근에는 미국 마이크론으로부터 226억원 규모의 '듀얼 TC 본더 타이거' 장비 수주를 받았다.

2024.04.15 08:57이나리

[단독] HBM 투자 나선 美 마이크론, 韓 장비업계 찾아와 '러브콜'

미국 마이크론이 지난달 국내 복수의 반도체 장비기업들을 만나 협업을 논의한 것으로 확인됐다. 현재 마이크론은 미국 등에서 설비투자를 진행 중으로, 국내 신규 공급망 확보와 협력 강화에 적극 나서고 있다. 실례로 한미반도체는 마이크론으로부터 약 226억원 규모의 HBM(고대역폭메모리) 제조용 '듀얼 TC본더 타이거'를 첫 수주했다고 11일 공시한 바 있다. 향후 마이크론과 국내 장비업체 간 장비 수주가 더 확대될지 기대되는 상황이다. 12일 업계에 따르면 마이크론 임원진은 지난달 방한해 국내 반도체 장비업체들과 접촉했다. 이번 방문단은 부사장급 임원을 비롯한 마이크론 주요 관계자들로 구성됐다. 이들은 국내 반도체 장비 기업들을 찾아 협업 및 공급망 구축에 대해 논의했으며, 기존 거래 관계가 없던 기업들도 최소 2~3곳 포함된 것으로 파악됐다. 반도체 장비업계 관계자는 "마이크론이 지난달 말 국내 장비업계를 찾아 공장을 구경하는 등 적극적인 움직임을 보였다"며 "메모리 제조와 관련해 인프라부터 제조공정까지 다양한 분야에 관심을 둔 것으로 안다"고 설명했다. 마이크론은 미국의 주요 메모리 제조업체다. 전 세계 D램 시장에서 삼성전자, SK하이닉스에 이어 점유율 3위를 차지하고 있다. 또한 여러 개의 D램을 수직으로 적층한 HBM를 양산할 수 있는 3개 기업 중 한 곳이기도 하다. 현재 마이크론은 본사를 둔 미국을 비롯해 일본, 대만, 싱가포르 등 아시아 지역에도 생산거점을 두고 있다. 올해에는 설비투자(CAPEX)에 약 80억 달러(10조9천435억원)를 투자할 계획으로, 주로 HBM3E(5세대 고대역폭메모리) 생산능력 확대에 집중하고 있다. 미국 뉴욕주에 건설할 예정인 신규 메모리반도체 제조공장도 국내 장비기업들과 협력과 성장을 촉진할 수 있는 기대 요소다. 현재 협력사들과 장비 납품 계획을 논의 중인 것으로 알려졌다. 앞서 마이크론은 2030년까지 총 200억 달러를 투입해, 뉴욕에 대규모 생산 거점을 마련하기로 했다. 업계 또 다른 관계자는 "최근 마이크론이 뉴욕 신규 팹 구축에 어느 정도로 대응이 가능한 지 문의한 상황"이라며 "마이크론이 미국 설비투자를 본격화하고 있어, 협력사들도 수혜를 볼 수 있을 것"이라고 밝혔다.

2024.04.12 15:07장경윤

원제형 TEL코리아 대표 가천대 특강...산학협력 행보 지속

반도체 제조장비 기업 도쿄일렉트론(TEL)코리아는 지난 11일 경기도 성남시에 위치한 가천대 반도체대학에서 원제형 대표이사가 특별강연을 가졌다고 12일 밝혔다. 원제형 대표이사는 일본 오사카대학 전기공학과에서 반도체 물성연구로 박사학위를 받은 뒤 반도체 업계의 여러 직위를 거쳐 2017년 7월부터 도쿄일렉트론코리아 대표이사로 재직하고 있다. 이번 강연회는 가천대 학생 300여명을 대상으로 진행됐으며, 반도체 시장의 동향과 향후 전망, 각 공정별 최신 반도체 기술 동향, 도쿄일렉트론의 소개 등으로 구성됐다. 이번 강연은 도쿄일렉트론코리아가 국내 여러 대학들과 진행 중인 산학협력 사업의 일환으로 준비됐다. 반도체를 전공하는 학생들의 시야를 넓히고 반도체 산업에 대한 이해를 깊게 하려는 목적에서 이뤄졌다. 원제형 대표이사는 최근 화제가 되고 있는 HBM(고대역폭메모리)를 비롯해 극저온 식각 기술, 초임계 건조 기술 등에 대해 상세히 소개하며 향후 반도체 기술의 로드맵과 발전 전망을 제시했다. 또한 도쿄일렉트론코리아의 R&D 현황과 올해 정기 채용 계획에 대해서도 소개했다. 한편 도쿄일렉트론코리아는 지난해 부산대에 전공서적 200권을 기부한 데 이어 반도체 전공 트랙 사업을 통해 현장 실습 지원, 세미나 개최 등 긴밀하게 산학협력을 진행하고 있다. 지난해 1월에는 원제형 대표이사가 부산대 특임교수로 강연을 실시하기도 했다. 제주대와도 지난 2022년 10월 반도체 전문 인력 양성 및 산학협력 교류를 위한 업무협약을 체결한 뒤 취업 희망 학생을 대상으로 한 모의 면접, 장학생 선발 등 꾸준히 협력을 이어오고 있다. 또한 명지대와도 최근 반도체 장비개발 전문 인재 양성과 채용 연계 반도체 산학 장학생 발굴 육성 등을 위한 업무협약을 체결하는 등 산학협력 행보를 넓혀가고 있다. 이 같은 산학협력은 교과 과정과 기업 현장 실습의 연계를 통해 반도체 장비 개발 인력을 육성하는 의미도 갖고 있다. 원제형 대표이사는 "앞으로도 국내 여러 대학들과 교류와 협력의 폭을 넓혀가는 한편 반도체 분야의 우수 인재를 육성하는 데에도 지원을 아끼지 않을 계획"이라고 밝혔다.

2024.04.12 10:03장경윤

삼성·SK HBM3E 수율 경쟁에 新장비 개발 '후끈'

삼성전자·SK하이닉스·마이크론 등 주요 메모리 기업들의 HBM3E(5세대 고대역폭메모리) 수율 확보 경쟁이 치열해지고 있다. 이에 따라 국내 반도체 후공정 장비 기업들도 연내 상용화를 목표로 신규 장비 개발에 나섰다. 8일 업계에 따르면 국내 반도체 테스트 장비업체들은 최선단 HBM용 테스터 개발에 주력하고 있다. HBM은 여러 개의 D램을 수직으로 적층해, 데이터 처리 성능을 끌어올린 고부가 메모리다. 올해에는 5세대 제품인 HBM3E가 본격적인 상용화 궤도에 올랐다. 이에 유니테스트는 최근 HBM용 웨이퍼 테스터 개발을 위한 TF(태스크포스)를 구성했다. 주요 메모리 고객사의 요청에 대응하기 위한 행보다. 웨이퍼 테스터는 전공정을 거친 웨이퍼 원판의 성능, 신뢰성 등을 검증하기 위한 후공정 장비다. 유니테스트는 기존 개발이나 성능 검증을 진행해 온 D램용 웨이퍼 테스터를 업그레이드하는 방향으로 HBM용 웨이퍼 테스터를 개발하고 있는 것으로 알려졌다. 상용화 목표 시기는 이르면 올 하반기다. 디아이도 올해부터 고객사의 요청에 따라 HBM3E용 웨이퍼 테스터 개발을 추진하기 시작했다. 신규 장비는 자회사 디지털프론티어를 통해 개발 중으로, 연내 개발을 마무리하는 것을 목표로 하고 있다. 테크윙은 HBM의 프로브 테스트를 위한 테스트 핸들러 장비를 개발해, 복수의 반도체 기업과 테스트를 진행 중이다. 이르면 올 3분기부터 상용화에 나설 예정이다. 프로브 테스트란 웨이퍼 상의 개별 칩의 전기적 특성을 전수조사하는 공정이다. 이처럼 HBM용 테스트 장비의 수요가 발생한 주된 이유는 주요 메모리 기업들의 개발 경쟁에 있다. 현재 상용화된 가장 최신 HBM 제품인 HBM3(4세대 HBM)의 경우 SK하이닉스가 사실상 시장을 독과점해 왔다. 그러나 HBM3E부터는 삼성전자와 마이크론도 앞다퉈 상용화를 준비하고 있어, 제품 신뢰성 및 수율이 매우 중요해질 전망이다. 반도체 업계 관계자는 "그간 HBM 시장에서 테스트는 후순위에 해당했으나, HBM3E부터 메모리 3사의 경쟁 과열로 수요가 증가하는 추세"라며 "기존 후공정 장비 기술을 기반으로 하기 때문에 국내 기업들도 개발 성과에 따라 수혜를 볼 수 있을 것"이라고 밝혔다.

2024.04.08 14:46장경윤

AMAT, 2024 인텔 'EPIC 우수 협력사 어워드' 수상

어플라이드머티어리얼즈(이하 AMAT)가 2024년도 인텔 'EPIC(Excellence, Partnership, Inclusion and Continuous Improvement) 프로그램 우수 협력사 어워드'를 수상했다고 1일 밝혔다. 어플라이드는 탁월함과 파트너십, 포용성, 지속적인 품질 개선에 대한 헌신을 통해 인텔의 기대치를 넘어서는 성과를 거뒀다. 케이반 에스파자니(Keyvan Esfarjani) 인텔 글로벌 최고 운영 책임자는 "인텔의 우수 협력사 어워드를 수상한 27개 협력사 중 하나인 어플라이드는 신뢰도 높은 인텔 공급망의 협력사 중에서도 단연 돋보인다"며 "우수 협력사 어워드 수상 기업은 발전을 위한 끊임없는 노력으로 인텔의 기대치를 지속적으로 뛰어넘는 수준의 높은 성과를 거두고, 인텔 생태계 전반에 걸쳐 기준점을 제시하고 있다"고 말했다. 인텔 EPIC 우수 협력사 어워드는 모든 성과 기준에서 고도의 성과를 이어온 협력사에게 주어진다. 전 세계 수 천 개 인텔 협력사 중 오직 몇 백 개만이 EPIC 협력사 프로그램에 참여할 자격을 갖춘다. 인텔 우수 협력사 어워드는 협력사가 받을 수 있는 두 번째로 높은 어워드로, 2024년에는 인텔 공급망 전체에서 27개 기업만이 수상했다. 인텔 EPIC 우수 협력사 어워드 자격 요건을 갖추기 위해 협력사는 기대치를 초과 충족하고, 공격적 성과 목표 및 80점 이상의 연중 성과 평가 점수를 유지해야 한다. 또한 개선 계획 중 80퍼센트 이상을 달성하고 탁월한 품질과 비즈니스 시스템을 입증해야 한다.

2024.04.01 09:43장경윤

인스피언, 평택시에 통합로그관리 솔루션 구축

데이터 보안솔루션 전문업체 인스피언과 평택시가 로그 관리 시스템 도입을 통해 수집된 로그 분석으로 이상 징후를 사전에 차단한다. 인스피언은 평택시에 통합로그관리 솔루션 '비즈인사이더 플러스(Bizinsider PLUS)'를 구축했다고 26일 밝혔다. 평택시는 이번 로그 관리 시스템 도입을 통해 수집된 로그 분석으로 이상 징후 파악 과 사고 발생 시 빠른 대응이 가능해졌다. 개인정보보호법 의무사항과 국가 정보보안 기본 지침에 있는 법적 의무사항을 준수할 수 있는 '비즈인사이더 플러스'를 선택하게 됐다. '비즈인사이더 플러스' 구축을 통해 평택시는 기존 보안 장비의 이벤트 로그만 관리되던 상황에서 일반 응용 서버·웹서버·스위칭 장비 로그 등 주요 시스템에 대한 로그를 통합 수집하고 분석, 보존하게 됐다. 직관적인 실시간 모니터링이 가능하고, 6개월 이상 저장된 로그의 실시간 검색과 조회 등 여러 성능이 향상됐다. 신동하 인스피언 상무는 "이번 평택시의 빅데이터 기반 비즈인사이더 플러스 도입으로 로그 수집 및 분석이 최적화돼 장애 원인 분석과 시스템 운영의 효율성이 제고됐다"며 "더불어 평택시의 서비스 안정성 확보 및 법적 증빙자료 확보가 완벽하게 이뤄져 기쁘다"고 밝혔다.

2024.03.26 09:59이한얼

TEL코리아, 대학생 서포터즈 'TELmate 2기' 수료식 진행

세계적 반도체 제조 장비 기업 도쿄일렉트론코리아(TEL코리아)는 대학생 서포터즈 TELmate 2기의 활동 수료식을 진행했다고 25일 밝혔다. TELmate는 도쿄일렉트론의 'TEL'과 친구라는 뜻을 가진 'mate'의 합성어로 'TEL의 친구 같은 존재이자, TEL을 누구보다 잘 아는 이들'이란 뜻을 담았다. 반도체뿐만 아니라 홍보, 콘텐츠, 마케팅 업무에 관심이 많은 대학생으로 구성되어 있으며 다양한 실무 경험 제공을 통한 차기 업계 인재 육성의 취지를 갖는다. 도쿄일렉트론코리아는 자사 전문성 및 선진 기업문화를 대내외적으로 알리기 위해 지난해부터 대학생 서포터즈를 운영하고 있다. 22일 서울 일대에서 진행된 수료식엔 약 2개월간의 활동을 끝마친 TELmate 2기 12인이 자리했다. 행사는 주요 활동 성과 소개를 시작으로 수료증 수여, 우수 활동자 시상, 소감 공유 순으로 진행됐다. TELmate 2기는 각자 이번 프로그램에서 제작한 콘텐츠를 요약해 의견을 공유했고, 운영진과의 질의응답을 통해서 활동 전반을 마무리하는 시간을 가졌다. 올해 1월부터 도쿄일렉트론코리아의 얼굴이 되어 다양한 홍보 활동을 펼쳐온 이번 서포터즈는 ▲사원 멘토와의 1:1 직무 멘토링 ▲주제별 카드뉴스, 영상 등 디지털 콘텐츠 제작 ▲실무에 도입할 수 있는 아이디어 제안서 작성 등 다양한 활동을 펼쳐 왔다. 특히 지난 29일 화성시 동탄사무소에서는 오프라인 프로그램의 일환으로, TELmate가 직접 제작한 1:1 멘토링 브이로그(V-log) 및 도쿄일렉트론코리아의 현재와 미래를 주제로 한 조별 영상을 상영하는 시사회가 열렸다. 이날 행사에는 도쿄일렉트론코리아 츠츠미 히데유키 회장, 원제형 대표이사를 비롯한 주요 임원 및 사원이 관객으로 참여했으며, 대학생들의 개성 넘치는 영상을 함께 감상하며 격려하는 뜻깊은 시간을 가졌다. 최우수 학생으로 선발된 TELmate 2기 정지호 학생은 “다양한 활동을 통해 실무를 체험할 수 있어 뜻깊은 기회였다”며 “이번 활동을 통해 사원 및 서포터즈 동기들과 교류하며 다양한 생각과 고민을 공유할 수 있었다”고 밝혔다. 도쿄일렉트론코리아 관계자는 “도쿄일렉트론코리아의 엠버서더로서 사명감을 갖고 활동해 준 TELmate 2기에 감사하다”며 “다음에도 서포터즈 프로그램 운영을 통해 더욱 다양한 활동을 펼칠 예정이니 많은 관심을 부탁드린다”고 말했다.

2024.03.25 11:24장경윤

기계연-한라이비텍, 10㎝ 넘는 강판 '한방' 용접기술 개발

두께 100㎜ 이상 강판을 한 번에 용접할 수 있는 기술이 국산화됐다. 잠수함이나 발사체 외관 등 강철판에 활용 가능하다는 것이 연구진 설명이다. 한국기계연구원 (원장 류석현, KIMM) 부산기계기술연구센터 레이저기술실용화연구실 서정 책임연구원 연구팀과 한국전기연구원, 부경대학교, (주)한라이비텍(주관기관) 연구팀은 국내 최초로 60㎾급 고출력 전자빔 용접시스템 국산화 기술과 고신뢰성 공정 기술을 개발했다고 20일 밝혔다. 이 연구성과는 '대한용접·접합학회지(Journal of Welding and Joining)'(2023년 12월)에 발표됐다. 이 논문에는 LNG용 고망간 강판에 대한 전자빔용접(EBW) 기술과 하이브리드 레이저-아크 용접 특성 비교가 담겼다. 이 고망간 강판 EBW는 현재 연구가 진행 중이라는 것이 서정 책임연구원 설명이다.서 책임연구원은 이 논문을 포함해 모두 4편을 발표했다고 덧붙였다. 용접심 자동 추적하는 트래킹 기술도 확보 연구팀은 공동연구를 통해 국산화한 전자총을 탑재한 대형 전자빔 용접 시스템을 설계·제작하고, 100㎜ 이상의 두꺼운 금속부품을 한 번에 용접할 수 있는 기술을 확보했다. 이는 수입 장비보다 50% 저렴하게 장비를 제작할 수 있다. 향후 두께 200㎜이상인 강철판의 소형모듈원자로(SMR) 압력용기를 용접할 수 있는 시스템 국산화도 가능할 것 연구팀은 내다봤다.연구팀은 대형 전자빔 용접시스템에 전자총과 고전압 장치를 장착한 시스템 제작과 운전도 성공했다고 밝혔다.또 대형 진공 챔버 내부에서 수행되는 용접 공정을 외부에서 모니터링하고 전자빔 용접선을 자동으로 추적하는 용접심 트래킹 기술도 개발했다. 이 기술은 향후 무인 자율 전자빔 용접 장비에 적용될 수 있을 것으로 연구팀은 기대했다. 기존에는 국내에서 전자총 등 일부 핵심 장비 개발에 많은 예산이 소요되고, 기술적인 위험으로 대형 전자빔 용접 시스템이 어려웠다. 이 때문에 전자총과 같은 핵심 장비를 독일과 영국, 프랑스, 일본 등에서 수입했다. 기계연 서정 책임연구원은 “이번에 개발한 고출력 대형 전자빔 용접시스템 기술과 현재 기계연에서 개발 중인 국부진공챔버 기술을 접목하면 소형모듈원자로(SMR) 압력용기 용접이 가능해진다”고 말했다. 류석현 기계연 원장은 “최근 기계연-부산시-부산상공회의소가 협약한 'SMR 제작지원센터 유치·구축'과 연계해 이번에 개발한 전자빔 용접시스템이 소형모듈원자로(SMR) 제조기술 혁신에 큰 역할을 할 것으로 기대한다”고 말했다. 이번 기술 개발을 주관한 정인철 한라이비텍 대표는 기술 사업화와 관련 "시제품이 아파트 한채 정도 크기이고, 대당 50억~100억 원 정도 된다"며 "납품은 아직 이루어진 것이 없고, 현장 실사도 마무리되지 않았다"고 덧붙였다. 이 연구는 산업통상자원부 제조기반생산시스템기술개발사업 '첨단소재부품용 전자빔 용접장비 개발' 과제의 지원을 받아 수행됐다. 연구기간과 예산은 2020년부터 2023년 3월까지 55억 원이 투입됐다.

2024.03.20 23:59박희범

삼성 자회사 세메스, 반도체 후공정 '프로버설비' 4000호기 출하 달성

삼성전자의 반도체·디스플레이 장비 전문 자회사 세메스가 반도체 후공정용 '차세대 프로버설비' 4000대를 출하하며 품질을 인정 받았다. 세미스는 지난 18일 천안 본사에서 정태경 대표를 비롯한 회사 관계자 및 협력사 대표 등이 참석한 가운데 반도체 후공정 차세대 프로버설비 4000호기 출하 기념식을 가졌다고 19일 밝혔다. 프로브 스테이션(Probe Station)은 반도체 웨이퍼의 전기적 특성 검사를 위해 테스터와 결합되는 설비다. 세메스는 해당 장비를 2003년 개발 이래 20년만에 4000호기 출하를 달성한 것이다. 이 설비는 2018년 세계 3대 디자인상으로 꼽히는 레드닷 산업디자인 컨셉 부문 최우수상인 베스트 오브 베스트 상을 받은 바 있다. 또 프로브 스테이션 설비는 지난 20년간 성능 또한 업그레이드하며 발전돼 왔다. 정태경 세메스 대표는 “4000호기 출하는 설비의 품질과 신뢰성을 인정받은 결과"라며 "꾸준한 기술개발과 영업망 확대로 매출성장을 이루겠다"고 말했다. 세메스는 삼성전자의 자회사로, 반도체 및 디스플레이 장비를 전문으로 개발하고 있다. 반도체 분야에서는 식각·포토·세정 등 전공정 관련 장비 소터, 본더 등 후공정 장비를 두루 개발해 왔다.

2024.03.19 11:28이나리

국가연구개발 시설·장비 실태 민간도 조사

정부가 매년 실시해온 국가 연구시설장비 부처 합동 실태 조사 대상이 올해부터 민간기업 등 영리 기관으로 확대된다. 과학기술정보통신부(장관 이종호)는 '2024년도 국가연구시설장비 부처합동 실태조사'를 13일부터 실시한다고 밝혔다. 올해 처음 조사 대상을 영리 기관으로 확대한 이유는 민간 기업 등에 국가 연구개발 예산으로 구축하는 연구시설장비가 매년 증가하고 있기 때문이다. 실제 실태 조사 통계에 따르면 연구시설장비가 지난 2019년 239개에서 가장 최근 조사 결과인 2022년엔 550개로 3년 만에 2배 까이 늘었다. 이번에 새로 포함된 조사 대상은 최근 5년내 국가연구시설장비를 도입한 이력이 있고, 장비전주기 관리체계 및 현황 파악이 우선 필요한 영리기관이다. 또한, 올해 실태조사에서는 처음으로 범부처 공통기준인 '국가연구개발 시설·장비의 관리 등에 관한 표준지침'에 따라 실제 현장의 국가연구시설장비 구축‧관리‧운영‧공동활용·처분 등 애로사항을 수렴하고 추후 개선할 방침이다. 이 실태조사는 2011년 처음 도입됐다. 국가연구개발 예산으로 도입한 연구시설장비의 전주기단계별 관리체계와 활용 수준을 파악해 체계적으로 관리하고 공동활용 등 효율적으로 운영하기 위해 시행한다. 비영리기관 484곳, 영리기관 378곳 대상 조사 조사 대상은 대학이나 출연연구기관 등 비영리기관 484곳의 연구 장비 및 시설이다. 영리기관은 378개다. 이번 조사는 13일부터 4주간은 기존 비영리기관, 4월 1일부터 4주간은 영리기관을 대상으로 서면조사가 진행될 예정이다. 기존 대상인 비영리기관은 온라인 조사시스템을 통한 서면조사만 진행해 조사부담을 완화한다. 신규 대상인 영리기관은 서면조사와 장비실사를 포함한 현장조사가 진행된다. 처음 조사를 받는 영리기관 대상으로 오는 27일 서울(더케이호텔)에서 사전설명회를 개최한다. 한편 최근 5년간(2018~2022) 국가연구개발사업 예산 중 연구시설장비에 대한 투자 규모는 총 4조 3천450억 원, 구축된 시설장비는 2만1천574 개다. 또 연구시설장비책임관 지정율은 2021년 79%에서 2022년 83%로 늘었다. 3천만 원 이상 연구장비 공동활용률은 2021년 88.6%에서 2022년 93.4%로 증가했다. 반면 ‧저활용 장비 감소율은 2021년 5.1%에서 2022년 4.4%로 감소한 것으로 나타났다. 이상윤 성과평가정책국장은 “국가 연구개발 활동의 기반이 되는 중요한 자산인 연구시설장비가 해마다 증가함에 따라 연구기관들의 장비 관리체계와 활용 수준을 파악하는 부처 합동 실태조사 중요성이 높아지고 있다”라면서, “국가연구시설장비의 전반적인 관리체계와 활용도를 면밀히 분석하고 연구 현장의 의견을 함께 청취해 국가연구시설장비가 효율적으로 활용될 수 있도록 최선을 다할 것”이라고 밝혔다.

2024.03.12 15:14박희범

"삼성·SK, 美 반발 우려로 반도체 중고장비 판매 중단"

국내 주요 반도체 기업 삼성전자와 SK하이닉스가 미국의 대중(對中) 반도체 수출 규제를 고려해 중고 반도체 제조장비 판매를 중단했다고 영국 파이낸셜타임즈가 12일 보도했다. 파이낸셜타임즈는 업계 관계자들의 말을 이용해 "한국 반도체 기업들이 중고장비를 시장에 내놓는 대신 창고에 보관해 왔다"며 "장비가 제3자의 손에 들어가게 돼 미국 정부와의 관계에 문제가 생길 수 있다는 우려가 있다"고 밝혔다. 미국 정부는 지난 2022년 10월부터 자국 기업이 중국에 반도체 장비를 수출할 경우 별도의 허가를 받도록 하는 규제안을 발표한 바 있다. 해당 규제로 인해 중국은 14nm 이하의 시스템반도체, 18nm 이하 D램, 128단 이상 낸드플래시 등에 대한 투자가 사실상 불가능해졌다. 다만 삼성전자, SK하이닉스가 공정을 전환하면서 발생하는 중고 장비의 경우, 중국으로 유입될 가능성이 상대적으로 높은 것으로 관측된다. 파이낸셜타임즈는 "통상 이들 기업의 중고 장비는 패키지 형태로 경매에 올라가고, 가장 큰 수요는 중국 가전제품, 차량용 칩 제조업체에서 나온다"며 "그러나 노광장비 등은 10년 된 중고 제품이라도 수리를 통해 고급 반도체 제조에 활용될 수 있다"고 설명했다. 삼성전자, SK하이닉스는 파이낸셜타임즈에 이와 관련한 별도의 언급을 거부했다. 다만 파이낸셜타임즈는 관계자를 인용해 "한국 기업의 중고 장비 비중은 미국의 대중 수출 규제 및 러시아 제재와 관련이 있다"고 강조했다.

2024.03.12 14:04장경윤

전기안전공사, 스마트 안전환경 조성…무재해 현장 만든다

한국전기안전공사(대표 박지현)는 '안전 최우선' 안심경영 실천을 위해 사물인터넷(IoT) 기술을 활용한 스마트 안전장비 보급을 확대해 무재해 현자 조성에 박차를 가한다고 12일 밝혔다. 전기안전공사가 새로 보급하는 스마트 안전장비는 ▲특고압 충전부 접근 경보 ▲작업자 간 효율적 통신 ▲자동 조명을 통한 시야 확보 등 4가지 기술을 통합한 스마트안전모와 ▲감지 센서를 활용한 출입자 경보 ▲관리자에게 작업정보 공유 등 IoT 음성경보 장치를 연계한 안전사고 예방 장비이다. 전기안전공사는 그동안 중소기업과 협업해 개발을 추진하고 여러 차례 현장 실증을 거쳐 최종 개발, 관련 기술 3개를 특허 출원했다. 앞으로 기술나눔 등을 통해 스마트 안전기술 확산에도 노력할 예정이다. 김용혁 전기안전공사 안전관리처장은 “공사가 개발한 스마트 안전장비는 최종 시범운영을 거쳐 전국 60개 사업소에 보급할 예정”이라며 “지속적인 사고 예방을 위해 스마트 안전장비 개발과 활용할 계획”이라고 강조했다.

2024.03.12 09:15주문정

아바코, LG엔솔에 이차전지 자동화 장비 109억 규모 추가 공급

이차전지 및 디스플레이 전문 기업 아바코(대표 김광현)는 LG에너지솔루션 미시건 법인과 109억원 규모 이차전지 자동화 장비시스템 2차분 공급 계약을 체결했다고 지난 4일 공시로 밝혔다. 계약 기간은 내년 11월1일까지다. 앞서 아바코는 지난 2월 403억원 규모의 1차분 공급 계약을 체결했다. 1차와 2차 공급 계약 총 규모는 약 512억원으로, 지난해 매출액 대비 27.4%에 해당한다. 아바코는 전방 산업 투자 확대에 따라 지속적으로 수주잔고 확보에 주력해 왔으며, 지난해 약 3천60억원 규모의 신규 수주를 확보했고 올해는 해당 수주가 실적에 반영돼 실적 성장세가 두드러질 것으로 전망했다. 특히 증가하고 있는 수주에 안정적으로 대응하기 위해 선제적 공장 증설을 완료하는 등 올해도 지난해에 이어 수주가 확대될 것으로 기대했다. 아바코 관계자는 “올해도 예년과 비슷한 수준의 신규 수주를 목표로 하고 있으며, 최근 해외 고객사와 디스플레이 장비 수주에 대해 긴밀하게 협의하고 있는 만큼 창사 이래 최대 수주잔고를 달성할 수 있도록 최선을 다하겠다”고 전했다.

2024.03.05 18:10김윤희

AMAT코리아, 4년 연속 '우리 하천 지킴이 활동' 지원

어플라이드머티어리얼즈코리아(이하 AMAT코리아)는 환경실천연합회와 업무협약(MOU)을 맺고 '우리 하천 지킴이 활동'을 4년 연속 후원, 지역사회 내 긍정적 영향력을 전파하겠다고 5일 밝혔다. 2024년 우리 하천 지킴이 활동은 기존 진행해온 경기 남부지역 5개 국가 하천(황구지천, 오산천 등)에 공릉천, 중랑천, 용암천, 문산천, 왕숙천 등 경기 북부지역 5개 하천까지 확대돼 총 10개 하천을 대상으로 운영된다. 대면∙비대면 활동으로 수질을 개선하고 건강한 하천 생태계 조성에 앞장설 계획이다. 대면 활동은 EM(유용한 미생물군) 흙공의 수질 정화 효과에 대한 교육을 받은 후 직접 EM 흙공을 만들어 인근 하천에 투척하는 방식으로 진행된다. 또한 꽃창포, 부들 등 수질정화식물을 심고 환삼덩쿨, 가시박 같은 생태계 교란 식물 퇴치 활동을 진행한다. 비대면 활동은 온라인 이론 교육, 수질 측정 및 개선을 위한 EM 흙공 던지기 등의 실천 교육으로 구성된다. 온라인 이론 교육을 통해 시민들은 하천이 마실 수 있는 물로 정화되는 과정과 경기지역 하천 생태계에 대해 배운다. 또한 수질 측정 방법과 EM 흙공 만드는 법 교육 영상 시청 후 직접 인근 하천 수질을 측정하고 개선하는 활동을 실천한다. AMAT코리아 임직원은 올해 분당, 이천, 화성, 평택 등에서 대면 활동에 참여해 EM 흙공을 직접 만들어 투척하고 수질정화식물을 심는다. 지난해 약 200여명의 어플라이드 코리아 임직원과 대학생 서포터즈 '리얼즈'가 대면 활동에 참여해 3,500평 하천 주위 1.2톤 가량의 교란식물을 퇴치하고 EM흙공 제작 및 투척하는 등 지역사회의 환경 보호를 지원했다. 박광선 AMAT코리아 대표는 “올해 우리 하천 지킴이 활동은 경기 북부지역으로 범위가 확대돼 경기 전역에 걸쳐 국가 하천 수질이 개선될 것으로 기대된다”며 “시민과 학생을 비롯해 임직원, 파트너사와 함께 생태계 보호 활동을 펼침으로써 지역사회와 업계에서 어플라이드의 선한 영향력이 확대될 것”이라고 말했다. 이경율 환경실천연합회 회장은 "우리 하천 지킴이 프로그램을 통해 지난 4년 간 집중 관리한 구간의 하천 수질이 1~3등급으로 나타났다”며 “해를 거듭할수록 청소년과 시민의 참여가 증가하고 있다. 올해는 EM흙공 정화 활동 외에도 수중정화식물 식재, 생태계 교란종 퇴치 활동을 대대적으로 전개해 하천의 건강한 생태계 조성에 일조할 것”이라고 밝혔다. 또한 "지역사회 환경보호를 위한 어플라이드 머티어리얼즈의 지속적인 사회공헌활동에 박수를 보낸다"고 덧붙였다. 우리 하천 지킴이 활동에 지금까지 1만여 명이 참여하고 EM 흙공 24만 개가 하천에 투척됐다. 그 결과 오산천, 아라천, 굴포천의 수질이 좋아지고 특히 굴포천은 2022년 6등급에서 2023년 4등급까지 수질이 개선됐다. 활동 참여를 희망하는 개인 및 단체는 우리 하천 지킴이 공식 홈페이지에서 신청할 수 있다. AMAT코리아는 '위드하모니 오케스트라', '우리 하천 지킴이', '과학 교실 프로그램' 등 다양한 사회공헌활동을 지원하고 있다. 대학생 서포터즈 프로그램 '리얼즈'를 통해서는 반도체 업계 진출을 꿈꾸는 청년들에게 어플라이드를 경험할 수 있는 다양한 기회를 제공 중이다.

2024.03.05 09:30장경윤

올해 디스플레이 장비 시장 성장세 전망

■반도체 장비시장 소폭 반등 예상 ○…한국기계연구원(원장 류석현)은 올해 국내 기계산업이 지정학적 리스크, 고금리 등의 부정적인 요소와 대규모 인프라 투자 등으로 인한 기회요인이 병존하면서 생산과 수출 측면에서 보합세를 보일 것으로 전망했다. 이 내용은 기계연이 지난 2월 발간한 기계기술정책 제115호 '기계산업 2023년 성과와 2024년 전망'에 담겼다. 업종별로는 반도체 장비의 경우는 반도체 시장의 수급 조절과 지난해 기저 효과를 바탕으로 올해 생산과 수출이 소폭 반등할 것으로 전망했다. 디스플레이 장비 분야는 2023년 대중국 수출이 30.1% 줄어 전체 수출이 27.6% 감소했다. IT 제품 등 전방산업의 수요 감소가 반영된 것으로 분석됐다. 다만, 주요 글로벌 업체의 OLED 투자 확대로 올해에는 지난해 대비 성장할 것으로 내다봤다. 플랜트 분야에서는 중동지역 대형 석유화학 프로젝트가 추진되면서 전년 대비 수주액이 23.8% 증가하는 등 올해 호황이 지속될 것으로 내다봤다. 또 공작기계 분야는 멕시코, 중동 등 신흥시장 수출 확대로 지난해 수준을 유지할 것으로 전망했다. ■생명연, 합성 미생물 생태계 플랫폼 개발 ○…한국생명공학연구원은 미국 일리노이 대학과 공동으로 합성생물학 생태계를 이용해 기존대비 2배이상 바이오 연료를 생산할 수 있는 기술을 개발했다. 이 연구는 합성생물학연구센터 신종혁 박사와 미국 일리노이 대학교 어바나-샴페인 캠퍼스(UIUC) 진용수, 팅루(Ting Lu) 교수팀이 공동으로 진행했다. 연구진은 또 합성 미생물 생태계 내 균주 간 역할 분담을 최적화하는 방법으로 원하는 기능을 수행할 수 있는 합성 미생물 생태계 플랫폼도 구축했다. 생명연 신종혁 박사는 “기존의 미생물 생태계는 균주 간 역할 분담 조절의 어려움으로 인하여 산업적으로 응용되기 어려웠다”며, “바이오매스로부터 단일 균주로는 생산이 어려운 고부가 화합물을 만들어내는 혁신 플랫폼이 될 것”으로 기대했다. ■KAIST 초세대 협업연구실 3곳 개소 ○…KAIST(총장 이광형)가 '초세대 협업연구실' 3곳을 개소했다. 최근 개소한 협업연구실은 ▲권인소 전기및전자공학부 교수의 '비전중심 범용인공지능 연구실' ▲ 김천곤 항공우주공학과 교수의 '우주·극한 환경 재료 및 차세대 공정 연구실' ▲변재형 수리과학과 교수의 '편미분방정식 통합 연구실' 등이다. 초세대 협업연구실은 은퇴를 앞둔 교수가 오랜 시간 축적해 온 학문 성과와 노하우를 후배 교수와 협업하며 이어가는 KAIST의 독자적인 연구제도다. 2018년 도입한 이후 지난해 말까지 7개 연구실을 운영 중이다. 권인소, 김천곤 책임교수는 65세 은퇴 후 70세까지 강의와 연구 논문 지도를 이어가는 정년 후 교수 신분으로 이번에 초세대 협업연구실을 개소했다. ■KERI, 태국전력청에 전력기기 시험소 설비 구축 지원 ○…국제공인 전력기기 시험인증기관인 한국전기연구원(KERI)이 태국전력청(EGAT, Electricity Generating Authority of Thailand)이 추진하는 대형 시험소 설비 구축을 지원하기 위한 상호협력 양해각서(MOU)를 최근 교환했다. EGAT는 태국 전력 사용량의 33%를 생산, 공급하는 국영 전력회사다. 연 매출 30조 원, 직원 수는 1만 6천명이다. KERI는 앞으로 태국 내 고전압·대전력 시험설비를 개선하거나 구축하는 다양한 엔지니어링 사업에 참여할 계획이다. 또 시험소 관련 구매발주부터 유지보수까지 전공정에 관한 직원 교육을 2분기부터 실시하는 계약도 추진한다.

2024.02.28 14:12박희범

훈민솔루션, 연마면 품질 자동 검사시스템 노르웨이에 수출

소부장 전문 벤처기업 훈민솔루션은 TIPA(중소기업기술정보진흥원) 연구개발지원으로 개발성공한 '마이크로미터(㎛) 단위 연마면 품질 자동 검사시스템(FAIS)'을 지난해 폴란드에 이어 지난달 노르웨이 FOSS사에 공급했다고 23일 밝혔다. AI 머신비전과 로봇 자동화 기술을 적용한 FAIS는 9um에서 2.5mm 정도 연마면의 품질을 um 단위로 검사해, 제품의 양/불량 여부 판단 및 검사결과를 데이터화 하는 자동 검사 솔루션 제품이다. 오석호 대표는 2020년 TIPA 연구개발지원으로 제품 개발에 성공해 일본 SEIKOH GIKEN사와 글로벌 협력계약을 체결했다. 이후 고 배율 확대 이미지 검사의 신뢰성과 안정성 향상, 액체렌즈를 적용해 검사속도 개선, MTP/MPO 커넥터 단면 검사기능 등 지속적인 성능향상과 기능개선을 진행했다. 그 결과 유럽, 미국 및 일본 시장에서 실증적 성능을 인정받았으며, 지난해 폴란드에 이어 올해 1월 노르웨이 수출∙공급하는데 성과를 거뒀다. 회사는 향후 독일, 이탈리아, 불가리아 등에 추가 수출을 진행할 예정이다. 오석호 대표는 "지속적인 연구개발로 마이크로LED, 반도체 웨이퍼 등의 품질검사 기능과 용접면 품질검사, 3D 표면 품질검사 등 다양한 산업분야에서 활용이 가능한 차세대 FAIS 제품을 출시하는 것이 목표"라고 밝혔다. 훈민솔루션은 측정기 개발을 시작으로 AI 이미지 분석 및 로봇자동화 모션컨트롤 등 다양한 기술분야로 사업영역을 확대하고 있는 소재,부품,장비 전문기업이다.

2024.02.23 15:50장경윤

파인텍, 올해 실적 개선 '청신호'…IT용 OLED 시장 확대 수혜

파인텍이 지난해 디스플레이, 이차전지 등 전방산업 악화로 부진한 실적을 거뒀다. 다만 올해에는 사업이 다시 회복세에 접어들 전망으로 주요 고객사의 IT용 OLED 설비투자에 따른 수혜 효과가 기대된다. 신성장동력인 이차전지 장비사업도 지난해 하반기에 받은 수주가 매출로 연결될 예정이다. 19일 파인텍에 따르면 이 회사는 지난해 연 매출 447억원, 영업손실 42억원을 기록했다. 파인텍은 디스플레이 부품·장비 업체다. 중소형 및 대형, 폴더블 등 다양한 OLED 디스플레이의 모듈 공정에 쓰이는 본딩 장비를 주력 제품으로 개발하고 있다. 2019년에는 이차전지 장비 시장에도 진출해, 자동 테이핑 및 검사장비·2D 레이저 마킹 장비·캡 어셈블리 장비 등으로 영역을 확장하고 있다. 파인텍의 지난해 실적은 다소 주춤하는 모습을 보였다. 매출액은 447억원으로 전년 대비 45% 감소했으며, 영업손익은 42억원으로 적자 전환했다. 이는 전방산업 악화에 따른 주요 시장의 설비투자 감축 기조에 따른 영향이다. 디스플레이 부품 사업은 스마트폰 및 가전의 견조한 수요로 비교적 양호한 실적을 거뒀으나, 디스플레이 장비 사업이 약 120억 원의 수주로 역대 최저치 수준을 기록한 것으로 알려졌다. 이차전지 시장도 전기차 수요의 부진으로 투자가 지연됐다. 다만 파인텍은 올해부터 곧바로 실적 개선세를 이뤄낼 수 있을 것으로 전망된다. 올해 본격화되는 IT OLED 시장 확대, 지난해 수주한 공급계약의 본격적인 매출 발생이 주된 요소다. 대표적으로 미국 애플은 올해 상반기 자사의 첫 OLED 아이패드 2종을 출시할 계획이다. 이에 시장조사업체 유비리서치는 전 세계 IT OLED 출하량이 지난해 790만 장에서 올해 1천880만 장으로 138%의 성장세를 기록할 것으로 내다봤다. 국내 주요 디스플레이 제조업체들도 IT OLED 시장 확대에 대응하기 위한 투자를 적극 진행해 왔다. 특히 올해 초 일부 디스플레이 후공정 소재 업체들이 생산능력을 확대하기 위한 준비에 나선 만큼, 이와 관련된 본딩 장비에 대한 추가 수요도 높아진 것으로 관측된다. 기존 주력 시장인 스마트폰의 경우, 갤럭시S24가 '온디바이스 AI'를 무기로 견조한 판매량을 기록하고 있다는 점이 긍정적이다. 또한 전장용 OLED, 애플 비전프로와 같은 XR(확장현실) 기기용 마이크로 OLED(OLEDoS) 등이 디스플레이 장비 업계의 신성장동력으로 떠오르는 추세다. 이차전지 장비사업도 꾸준한 실적 개선이 기대된다. 앞서 파인텍은 지난해 9월 137억원 규모의 캡 어셈블리 장비 공급계약을 수주했으며, 올해 해당 계약의 매출이 발생할 예정이다. 나아가 하반기를 목표로 추가 공급을 논의 중인 것으로 알려졌다. 이와 관련, 파인텍은 경남 양산공장의 이차전지 장비 생산능력을 기존 연 300억원 수준에서 지난해 최대 1천억원으로 확대하는 등 사업 확대에 대비한 선제 투자를 진행한 바 있다.

2024.02.19 10:36장경윤

美 AMAT, 1분기 매출 67.1억 달러…예상치 상회

미국 반도체 장비기업 어플라이드머티어리얼즈(AMAT)는 지난달 28일 마감한 회계연도 2024년 1분기 실적 발표를 통해 글로벌 매출은 미국 회계기준으로 67억1천만 달러, 매출총이익률 47.8%를 기록했다고 밝혔다. 매출은 전년동기와 비슷한 수준이나, 증권가 컨센서스인 64억8천만 달러를 상회했다. 영업이익과 영업이익률은 각각 19억7천만 달러와 29.3%였으며, 주당순이익(EPS)은 2.41달러를 기록했다. 비일반회계기준(Non-GAAP)으로는 ▲매출총이익률 47.9% ▲영업이익 19억8천만 달러 ▲영업이익률 29.5% ▲주당순이익 2.13달러를 기록했다. 어플라이드 머티어리얼즈는 영업활동으로부터 23억3천만 달러 현금을 확보했으며, 7억 달러의 자사주 매입과 2억6천600만 달러의 배당금을 포함해 총 9억6천600만 달러를 주주에게 환원했다. 게리 디커슨 어플라이드머티어리얼즈 회장 겸 CEO는 "어플라이드는 회계연도 2024 년 1분기 견고한 실적과 함께 5년 연속 업계 평균보다 높은 성과를 달성했다”며 “주요 반도체 분야에서 선도적 위치를 점한 어플라이드는 고객이 향후 몇 년 동안 AI와 사물인터넷(IoT)에 중요한 차세대 칩 기술을 강화하고 지속적인 성과를 낼 수 있도록 지원할 것”이라고 밝혔다. 어플라이드머티어리얼즈는 2분기 실적에 대해서도 긍정적인 전망을 드러냈다. 회사가 제시한 해당 분기 매출 예상치는 61억~69억 달러로, 평균치는 65억 달러다. 이는 증권가 컨센서스인 59억2천만 달러를 크게 앞서는 수치다.

2024.02.16 14:37장경윤

ASML "美 수출 규제-지정학적 긴장, 여전한 위험요인"

네덜란드 반도체 장비기업 ASML이 미국의 대중 수출규제, 지정학적 긴장 등을 여전히 위험 요소로 보고 있다고 로이터통신이 14일(현지시간) 보도했다. ASML은 최근 발간된 2023년 연례 보고서에서 "네덜란드 정부의 동의를 받아 미국이 부과하는 수출 규제 사항이 점차 늘어나고 있다"고 밝혔다. ASML은 반도체 웨이퍼에 회로를 새기는 노광 공정에 필요한 장비를 전문으로 생산하는 기업이다. 업계에 가장 보편적으로 쓰이는 DUV(심자외선) 장비는 물론, 7나노미터(nm) 이하 최선단 공정에 쓰이는 EUV 장비도 다수 출시했다. 현재 전 세계에서 EUV 장비 양산이 가능한 기업은 ASML이 유일하다. 현재 미국은 ASML의 장비가 중국의 반도체 공급망 자립화에 활용되는 것을 막고자, 네덜란드 정부와 협력해 수출 규제를 시행 중이다. 지난 2019년에는 EUV 장비의 수출을 금지했으며, 지난해 3월에는 EUV 보다 한 단계 아래인 고성능 DUV(이머전 DUV) 장비에 대해서도 수출 규제를 적용하기로 했다. 이에 중국 기업들이 수출 규제가 시작되기 전인 지난해 말까지 ASML의 장비를 급하게 사들이는 '사재기' 현상이 일어나기도 했다. 실제로 ASML의 지난해 전체 매출에서 중국이 차지하는 비중은 26.3%로, 한국(25.2%)를 제치고 2위에 올라섰다. 1위는 여전히 대만(29.3%)이 차지했다. 또한 ASML은 일본 캐논, 니콘 등을 DUV 분야의 주요 경쟁사로 지목했다. 캐논, 니콘은 일본의 주요 광학 기술 보유업체로, ASML과 기술적 연관성이 높다. 또한 중국 등 공급망 자립화에 수혜를 받는 반도체 장비기업들도 간접적으로 언급했다. ASML은 "상당한 재정 자원을 갖춘 새로운 경쟁자뿐만 아니라, 지정학적 맥락에서 자급자족을 이뤄내려는 경쟁자들과도 직면해 있다"고 밝혔다.

2024.02.15 09:33장경윤

韓 유진테크-日 코쿠사이 특허소송 쟁점은... '배치 ALD' 장비

일본 코쿠사이엘렉트릭이 국내 경쟁사 유진테크에 제기한 특허 소송에 업계의 이목이 쏠리고 있다. 이번 코쿠사이가 침해를 주장한 장비는 원자층증착(ALD) 장비로, 유진테크가 사업 영역을 적극 확장하고 있는 분야로 알려졌다. 14일 업계에 따르면 유진테크·코쿠사이 양사는 ALD 배치 장비와 관련해 특허 소송을 진행할 예정이다. 앞서 일본 반도체 장비기업 코쿠사이는 지난 5일 국내 경쟁사인 유진테크를 상대로 특허 침해소송을 제기했다. 당시 코쿠사이는 "기판처리장치 등에 관한 4건의 코쿠사이엘렉트릭 그룹 특허기술이 포함됐다"며 "소송 전에 지적재산권 침해 행위를 유진테크에게 알리고 원만하게 해결하려고 했으나, 여의치 않아 소송을 제기하게 됐다"고 주장했다. 이에 유진테크는 즉각 "경쟁 업체의 제소 근거가 무엇인지 아직 법원으로부터 소장을 송달받지 못해 파악하지 못했다"며 "법률기관으로부터 정확한 제소 근거 등에 대한 공문이 접수되는 즉시 해당 분야 전문가 대리인을 선임해 적극 대응할 예정"이라고 밝혔다. 업계에 따르면, 코쿠사이가 침해 행위를 제기한 특허는 한국 등록 기준 제101037961호, 제101969277호, 제102149644호, 제102472052호 등 4건이다. 특허 4건 모두 기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법과 관련돼 있다. 반도체 증착 공정에서 사용되는 가스 공급 및 처리 방식이 주 골자다. 코쿠사이는 유진테크의 장비 중 'Harrier-L' 및 'Harrier-M'를 대표적인 특허 침해 제품으로 제시했다. 두 장비 모두 배치 ALD 장비에 해당한다. Harrier-L은 대량 제조에 특화된 장비며, Harrier-M은 증착 성능을 높인 미니 배치 ALD 장비다. ALD는 원자층을 한층씩 쌓아올려 박막을 형성하는 기술이다. 기존 증착 방식인 PVD(물리기상증착), CVD(화학기상증착) 대비 막을 더 얇게 만들 수 있어 선단 공정을 중심으로 수요가 늘어나고 있다. 동시에 ALD는 기존 방식 대비 생산성이 낮다는 단점이 있으나, 배치형 시스템으로 이러한 문제를 상쇄할 수 있다. 배치형은 50~150의 웨이퍼를 한 번에 처리하는 기술이다. 한 번에 웨이퍼를 1장씩 처리하는 싱글형보다 생산성이 높다. 업계에서는 ALD 배치 장비가 유진테크의 신성장동력인 만큼, 향후 회사가 적극적인 대응에 나설 것으로 내다보고 있다. 기존 CVD 및 플라즈마 분야에 주력해 온 유진테크는 지난 2021년 ALD 장비를 상용화하는 데 성공했다. 당시 삼성전자 메모리 공정에 ALD 장비를 대부분 공급하던 코쿠사이의 시장 점유율을 일부 흡수한 바 있다. 또한 최근에는 최선단 D램용 메탈 ALD 장비, 파운드리용 미니 배치 ALD 장비 등 사업 영역 확장을 추진해 왔다. 반도체 업계 관계자는 "유진테크가 ALD 시장 진입 당시 특허와 관련된 문제가 생길 수 있다는 판단 하에 많은 검토를 했던 것으로 안다"며 "향후 사업 전략에 큰 변수로 작용할 수 있어 회사에서도 면밀한 대응을 준비할 것"이라고 밝혔다.

2024.02.14 13:35장경윤

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