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'이오나이저'통합검색 결과 입니다. (2건)

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신성이엔지, 습도·정전기 동시 제어 'EDM 이오나이저' 공개

클린룸 및 에너지 솔루션 전문기업 신성이엔지가 반도체 생산 인프라의 핵심인 정전기와 습도를 동시에 제어하는 신기술을 선보이며 글로벌 반도체 시장에서 기술 리더십을 공고히 한다. 신성이엔지는 챔버 내부에 제습 유닛과 이오나이저(Ionizer)를 일체화해 설치 공간을 최소화하고 정전기를 제거하는 '이오나이저를 구비한 이에프이엠챔버' 특허를 공개했다고 16일 밝혔다. 이번 특허는 기존 장비의 설치 공간 부족과 건조 환경 내 정전기 발생 문제를 동시에 해결한 것이 특징이다. 반도체 미세 공정이 고도화되면서 웨이퍼 파티클 및 환경 오염 관리 요구 수준이 높아지고 있다. 기존에는 설비 내부 습도를 낮추기 위해 EFEM 외부에 별도 제습 공기 공급장치를 설치하고 배관을 연결해야 했으며, 이는 설비 부피 증가와 공간 부족(Footprint) 문제를 초래했다. 신성이엔지가 개발한 이번 기술은 제습 유닛을 챔버 본체 내부 상측에 팬 필터 유닛(FFU)과 일체화해 외부 제습 장치와 배관을 제거했다. 이를 통해 설비 전체 부피를 줄여 반도체 팹(FAB)의 공간 활용도를 극대화하고 제조 원가를 절감할 수 있게 됐다. 이번 기술은 단순 제습을 넘어 '정전기 제어' 솔루션까지 통합했다. 통상 공기 중 수분이 제거되어 습도가 낮아지면 정전기 발생이 증가하고, 이로 인해 기판에 파티클이 쉽게 부착된다. 신성이엔지는 이를 해결하기 위해 제습 유닛 하단과 필터 사이에 이오나이저를 배치했다. 이 구조는 제습된 청정 공기에서 정전기를 즉각 제거해 기판 표면의 파티클 부착을 방지한다. 기존에는 파티클 제거를 위해 송풍팬 풍속을 높여야 했으나, 이오나이저 적용으로 과도한 풍속 증가 없이도 오염을 방지해 에너지 소비를 줄일 수 있다. 신성이엔지 관계자는 "수십 년간 축적한 클린룸 및 공조(HVAC) 엔지니어링 역량을 바탕으로 이번 기술을 완성했다"며 "특히 HBM(고대역폭메모리) 같은 첨단 반도체 패키징 및 초미세 공정 비중이 커지는 추세에서, 당사의 정밀 제어 기술은 글로벌 반도체 제조사의 생산성을 높이는 핵심 인프라 솔루션이 될 것"이라고 말했다.

2026.01.16 15:48장경윤 기자

저스템, 1분기 영업익 17.6억원…수주 확대로 '흑자전환'

반도체 디스플레이 장비 전문기업인 저스템은 지난 1분기 매출액 104억원, 영업이익 17억6천만원을 기록했다고 15일 잠정실적공시를 통해 밝혔다. 전년동기 대비 매출액은 178% 증가했으며, 영업이익은 흑자전환했다. 전분기 대비 매출액은 비슷하나, 영업이익이 128% 증가하는 등 수익성이 개선됐다. 저스템은 지난해까지 이어진 글로벌 반도체 장비 시장의 침체로 소규모 적자를 기록한 바 있다. 그러나 올해 초부터 수주물량의 지속적 확보와 수익성 개선작업을 병행하며 단 시간 내에 흑자로 전환했다. 저스템의 1분기 매출성장은 반도체 습도제어 솔루션 2세대인 JFS(Justem Flow Straightener)의 수주확대에 기인한다. 최근 글로벌 반도체기업 M사의 대만, 일본, 싱가포르 라인에 전방위로 공급을 확대하며 매출이 늘어났다. 현재 M사는 HBM 개발과 생산에 전략적 집중을 하고 있는 만큼 저스템은 수율 향상에 필수사양인 습도제어 솔루션이 향후에도 지속적인 주목을 받을 것으로 기대하고 있다. 또한 JFS의 생산증가에 따른 매출원가 절감과 비용효율화를 위한 내부 개선작업도 영업이익 제고에 크게 도움이 됐다. 저스템은 1분기 실적호전이 계속해서 이어질 것으로 내다보고 있다. 반도체부문은 국내 글로벌 반도체기업과 JFS 솔루션을 현재 평가진행 중에 있고 디스플레이 부문에선 고진공 이오나이저 솔루션이 올 하반기부터 중화권 시장에 본격 진출할 것으로 예상하고 있다. 지난해 주요 매출원 중의 하나인 태양광사업부문도 후속 업무를 추진 중이다. 김용진 저스템 사장은 “1분기에 수익과 성장을 동시에 실현하며 지난해 저점을 바로 회복하는 전환점을 마련했다"며 "각 사업부문에서 글로벌 기업들과 업무협의가 구체적으로 진행되고 있는 만큼 창업이래 최고 실적 달성을 위해 최선을 다하고 있다”고 말했다.

2025.05.15 13:29장경윤 기자

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