위드텍, 파이퍼베큠 특허 비침해 인정…무효화는 실패
반도체 공정 분자오염 측정장비업체 위드텍이 독일 파이퍼베큠 특허를 침해하지 않았다는 판단을 받았다. 쟁점 기술은 웨이퍼 캐리어 입자 오염 측정 기술이다. 특허심판원은 지난 14일 위드텍이 파이퍼베큠의 '반도체 기판을 대기압에서 이송하고 보관하기 위한 운반 캐리어의 입자 오염을 측정하는 스테이션 및 방법' 특허 2건(등록번호 2179362, 2179366)을 상대로 청구한 소극적 권리범위확인심판(소극심판) 심결에서 위드텍 손을 들어줬다. 소극심판은 청구인이 상대 특허를 침해하지 않았다는 판단을 구하는 분쟁이다. 특허심판원은 이번에 위드텍의 '웨이퍼 캐리어의 파티클 측정장치'가 파이퍼베큠 특허 권리범위 안에 있지 않다고 판단했다. 소극심판에 사용한 각 특허의 청구항은 '362 특허는 1항, '366 특허는 1항과 10항이다. 하지만 특허심판원은 위드텍이 파이퍼베큠의 '366 특허(청구항 1, 2, 3, 7, 8, 9항)를 상대로 청구한 무효심판은 기각했다. 위드텍은 파이퍼베큠의 '362 특허에 대해선 무효심판을 청구하지 않았다. 특허심판원의 이번 소극심판과 무효심판 심결에 대해 불복하는 업체는 특허법원에 심결취소소송을 제기할 수 있다. 위드텍의 이번 분쟁은 파이퍼베큠이 지난해 7월 위드텍을 상대로 서울중앙지방법원에 제기한 특허침해소송에 대한 대응 차원이다. 위드텍이 특허심판원에 심판을 청구한 시점은 지난해 8월이었다. 위드텍이 특허심판원에서 파이퍼베큠 특허를 침해하지 않았다는 심결을 받았지만, 서울중앙지법 판단은 다를 수 있다. 동일한 특허의 침해를 다투는 심판과 소송도 쟁점이 다른 경우가 많다. 양측은 특허심판원 판단의 논리를 따져서 서울중앙지법 특허소송 대응책을 구체화할 것으로 예상된다. 위드텍은 관련 기술로 최근부터 장비 매출을 올린 것으로 알려졌다. 회사 전체 매출에서 차지하는 비중은 아직 작다. 파이퍼베큠이 위드텍의 시장 진입을 막으려 특허침해소송을 제기한 것으로 추정된다. 위드텍의 지난해 실적은 매출 578억원, 영업이익 51억원 등이다. 전년비 각각 32%, 430% 뛰었다. 위드텍은 지난해 실적에 대해 "반도체 제조환경(AMC·클린룸 내 분자 형태 화학오염물질) 측정장비 매출 증가 영향"이라고 밝혔다. 고객사는 SK하이닉스, 삼성전자 등이다.
