에스엠, 반도체 가스 누출 0.5초내 감지…"반도체 라인에 적용 준비"
초음파 센서로 단 0.5초만에 반도체 가스 누출을 감지하는 시스템을 대기업에 납품하고, 현재 반도체 라인 적용을 준비중이다." 올해로 창업 20년을 맞은 김영기 에스엠인스트루먼트(에스엠) 대표는 18일 가진 '비전선포 및 기자간담회'에서 "가스와 전기새는 소리 분야에 집중하고 있다. 최근엔 신제품 '배트캠-씨엑스(BATCAM CX)'로 글로벌 반도체 가스 캐비닛 시장을 공략 중"이라며 이같이 말했다. 배트캠-씨엑스 모델은 반도체 가스 캐비닛용 초음파 누출감지 솔루션이다. 방폭형 모델로 '배트캠-이씨엑스'(BATCAM eCX)도 함께 출시했다. 방폭은 가연성 가스 등 폭발 위험이 있는 장소나 설비를 막는다는 말이다. 김 대표는 "그동안 실증 단계에 머물던 초음파 기반 가스누출 감지 기술을 실제 반도체 양상 라인에 즉시 투입 가능한 수준으로 제품화한 것은 에스엠이 업계 최초"라고 말했다. 에스엠은 원천기술로 오로라(AURORA) 플랫폼을 개발, 보유하고 있다. 오로라는 산업 현장에서 발생하는 다양한 신호를 통합적으로 분석하는 멀티모달 AI 엔진이다. 음향과 영상 데이터를 결합해 기존에는 감지하기 어려웠던 이상 징후를 정밀하게 식별한다. 특히 복잡하고 노이즈가 많은 환경에서도 핵심 이상 신호를 선별적으로 추출하고, 설비 상태와 잠재적 문제를 실시간으로 분석한다. 김 대표는 "오로라는 단순 이상 감지를 넘어 다양한 산업 영역으로 확장되는 지능형 플랫폼으로 진화하고 있다"고 말했다. 이번에 출시한 '배트캠 씨엑스'도 오로라를 기반으로 그동안 반도체 가스 누출 감지에 수분 이상 걸리던 것을 0.5초 이내로 감지할 수 있는 것이 특징이다. 반도체 공정은 수소, 실란, 암모니아 등 위험한 독성 및 가연성 가스로 구성돼 있어, 초동 대처가 중요하다. 그러나 기존의 농도기반 가스센서는 누출된 가스를 센서로 탐지할 때까지 짧게는 수십초에서 길게는 수분까지 걸리는 단점이 있었다. '배트캠 씨엑스'는 가스가 새어 나올 때 발생하는 미세한 초음파를 최대 200m까지 떨어져 있어서 0.5초 이내에 잡아낼 수 있다. 실제 이날 5층에 마련된 포럼 장 시연에서 10m 정도 떨어져 뿌린 미세한 스프레이 소리를 즉각 검출했다. 김영기 대표는 "S반도체 기업 등에서도 실증을 진행 중"이라며 "대기업 S사와 또다른 S사 반도체 공정에만 수요가 8만대 정도, 시장 규모는 3,000억~5,000억 원 대 시장이 열릴 것으로 예상한다"고 말했다. 에스엠은 올해 매출 130억 원을 예상했다. 글로벌 시장 점유율이 35% 정도된다는 것이 김 대표 설명이다. 에스엠은 지난 2006년 KAIST 창업보육센터에 처음 둥지를 틀었다. 김 대표가 LG전자를 다니다, 한국항공우주연구원으로 자리를 옮겨 위성 개발 부문에서 음향을 담당하다 소리 매력에 빠져 창업한 케이스. 소음·진동 전문가인 김양한 KAIST 기계공학과 교수 지원을 받았다. 미국 뉴어크 공항에는 항공사 유나이티드에 항공기보조동력장치(APU) 모니터링 시스템 5대를 공급했다. 이는 항공기가 대기중 불필요한 시동으로 매년 수백 억원씩 연료가 낭비되는 요인을 막을 수있다. 또 에스엠은 대전 유성구 갑동에 지능형 교통소음 단속 시스템을 실증 중이다. 오토바이 소음을 진단, 정확한 위치를 실시간 제공한다. 김영기 대표는 "올해가 20주년, 전환점이다. 비전도 '산업지능'으로 정했다. 코스닥 상장할 때도 됐다. 내년 상장을 목표로 주간사도 선정했다"며 "향후 세계시장을 장악한 글로벌 기업 플루크와 본격적으로 경쟁해 나갈 것"이라고 덧붙였다.
