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'식각'통합검색 결과 입니다. (24건)

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삼성전자, 'V11' 낸드 개발 본격화…첫 500단 돌파 시도

삼성전자가 차세대 낸드 개발에 박차를 가하고 있다. 지난해 도입한 최신 낸드 제조설비를 통해 현재 V10, V11 제품 개발을 진행 중인 것으로 파악됐다. V11의 목표 적층 수는 570단대로, 낸드 제품 중 첫 500단 시대를 열 것으로 기대된다. 18일 업계에 따르면 삼성전자는 현재 평택캠퍼스에서 V10, V11 낸드 개발을 위한 TF(태스크포스)를 가동 중이다. 낸드는 셀을 수직으로 쌓아올리는 방식으로 개발돼 왔다. 현재 상용화된 가장 최신 세대는 238단 적층의 V8이다. 삼성전자가 V8을 양산하기 시작한 시점은 2022년 4분기부터다. 다음 세대인 V9(280단대 추정)은 올해 양산될 예정이다. 나아가 삼성전자는 차세대 낸드 개발을 위한 준비에 나섰다. 지난해 P3에 도입한 TEL(도쿄일렉트론)·램리서치의 최첨단 식각장비를 도입한 것이 대표적인 사례다. 식각은 반도체 웨이퍼에 회로를 새긴 뒤 남은 물질들을 제거하는 기술로, 낸드 제조의 핵심 공정 중 하나다. 이를 통해 삼성전자는 지난해 하반기부터 V10 및 V11 개발 TF를 가동 중인 것으로 파악됐다. V10의 경우 현재 양산 평가가 진행 중이다. 적층 수는 430단대다. V10부터는 이전 '더블 스택'과 달리 '트리플 스택'을 적용한다. 스택은 낸드 전체를 몇 번에 나눠 쌓는 지를 나타내는 지표다. 예를 들어 430단 낸드를 트리플 스택으로 구현하려면 150단+150단+130단 등으로 쌓아야 한다. 더블 스택 대비 더 많은 제조비용이 투입되지만, 고적층 낸드를 안정적으로 생산하려면 트리플 스택으로의 전환이 필요하다. 삼성전자는 V11에 대한 개발도 착수했다. V11의 경우 570단대로 구현하는 것을 목표로 삼고 있다. 현재 삼성전자가 싱글 스택을 최대 170단대로 구현할 수 있다는 점을 고려하면, 이론상 최대 목표치에 해당한다. V11의 구체적인 개발 완료 목표 시점은 밝혀지지 않았다. 다만 연구소 및 평택캠퍼스 내에 관련 설비가 이미 소량 도입된 상황으로, 삼성전자 역시 V11 개발에 적극 나서고 있는 것으로 알려졌다. 반도체 업계 관계자는 "통상 삼성전자는 최신 제조장비로 낸드 개발을 2~3세대씩 묶어서 진행한다"며 "이번에는 V9, V10, V11을 같이 개발해왔고, V10이 양산 평가에 돌입한 만큼 V11개발에 박차를 가하고 있는 상황"이라고 밝혔다. 한편 시장조사업체 트렌드포스에 따르면 지난해 4분기 세계 낸드 매출액은 114억8천580만 달러로 전분기 대비 24.5% 증가했다. 올 1분기에도 매출 규모가 전분기 대비 20% 증가할 것으로 예상되는 등 현재 낸드 시장은 뚜렷한 회복세를 보이고 있다.

2024.03.18 13:55장경윤

램리서치, 박준홍 신임 한국법인 총괄 대표이사 선임

미국 반도체 장비기업 램리서치는 박준홍 부사장을 램리서치코리아의 한국 법인 총괄 대표이사로 선임했다고 30일 밝혔다. 박준홍 대표이사는 2002년 노벨러스 시스템스 미국 본사에 입사해 2012년 램리서치가 노벨러스 시스템즈를 합병하며 램에 합류했다. 이후 기술 개발 리더십 분야에서 반도체 장비 개발 및 전 세계 반도체 고객 지원 업무를 담당해왔다. 2016년에는 램리서치코리아에서 식각 담당 최고기술임원직을 역임했고, 2018년부터 고객사업부 부문장직을 성공적으로 이끌며 리더쉽을 인정받았다. 박준홍 대표이사는 램리서치의 한국 법인인 램리서치코리아, 램리서치매뉴팩춰링코리아, 그리고 글로벌 R&D 센터인 램리서치 코리아테크놀로지 센터를 총괄하며, 고객사의 성공을 위해 혁신적인 장비와 솔루션을 제공하고 한국 반도체 생태계의 일원으로써 파트너들과 협력하는데 주력할 방침이다. 닐 페르난데즈 램리서치 글로벌 고객 운영그룹 수석 부사장은 “램리서치는 1989년 한국 법인을 설립한 이후, 지난 35년 동안 한국 고객 및 K-반도체 생태계와 긴밀한 협력을 통해 함께 성장해왔다"며 "이러한 여정에서 반도체 업계에 대한 깊은 지식과 폭넓은 경험을 가진 박준홍 신임 대표이사가 램리서치코리아를 훌륭하게 이끌어 나갈 것으로 기대한다"고 밝혔다. 박준홍 신임 대표이사는 "전 세계 반도체 업계를 이끌어가는 한국 시장의 비즈니스를 이끄는 중책을 맡게 돼 매우 자랑스럽고 기쁘지만 한편으로 큰 책임감도 느낀다"며 "램리서치는 고객 중심주의를 지향하고 있다. 고객에게 더 빠르고 차별화된 서비스를 제공하고, 한국 반도체 산업의 지속가능한 발전에 이바지 하기 위해 파트너들과 협력해나가는 믿을 수 있는 성장 동반자가 되겠다"고 밝혔다. 한편 현 이상원 대표이사는 올해 6월까지 원활한 업무 이행을 지원할 예정이다. 34년 동안 글로벌 반도체 장비 업계를 누비며 업력을 쌓은 이 대표는 2021년 램리서치코리아 대표이사 취임 후 글로벌 R&D 시설인 코리아테크놀로지센터 및 매뉴팩춰링을 총괄하며, 램리서치코리아의 국내 입지를 굳건히 하는데 기여해왔다.

2024.01.30 15:02장경윤

AMAT, '세미콘 코리아 2024'서 최신 반도체 트렌드·기술 공유

재료공학 솔루션 분야 글로벌 선도 기업 어플라이드머티어리얼즈(AMAT)는 31일부터 2월 2일까지 서울 코엑스에서 열리는 국내 최대 반도체 산업 전시회 '세미콘 코리아 2024'에 참가한다고 29일 밝혔다. 이번 행사에서 어플라이드 전문가들은 반도체 업계 최신 기술 솔루션에 대해 발표한다. 또한 반도체 업계 여성 참여도를 확대하기 위해 마련된 '우먼 인 테크놀로지' 세미나를 후원하고 연사로 참여한다. 31일과 2월 1일 양일에 걸쳐 진행되는 SEMI 기술 심포지엄(STS)에 어플라이드 프라딥 수브라만얀(Pradeep Subrahmanyan) 인플렉션 솔루션 책임자가 '고종회비(HAR) 디바이스 통합의 오버레이 제어'를, 수미트 아가왈(Sumit Agarwal) 제품 마케팅 이사가 '극저온에서 10 나노미터 이하 건식 식각 활성화'를 주제로 강연한다. 사르베시 문드라(Sarvesh Mundra) 제품 마케팅 수석 매니저는 1일 MI(Metrology and Inspection) 포럼에서 'EUV 수율 저하 결함 및 3D GAA(Gate-All-Around) 미세 기저부 결함 검사를 가능케 하는 새로운 결함 검사 기술'을 소개한다. 2월 2일 어플라이드 머티어리얼즈가 후원하는 '우먼 인 테크놀로지'에는 김정선 어플라이드 코리아 자동화 제품 그룹 소프트웨어 엔지니어링 매니저가 연사로 나선다. 김 매니저는 '경력 여정에서 일하기 좋은 기업'에 대한 강연으로 현업 종사자 및 사회 진출을 준비하는 청년들에게 조언을 전한다. 어플라이드는 반도체 산업의 미래 인재 양성을 위해 마련된 '전문가와의 만남' 멘토링 세미나에도 참가한다. 이보배 어플라이드 코리아 하드웨어 엔지니어(CE)가 반도체 산업으로 진로를 희망하는 청년들에게 업계 관련 다양한 정보와 경험을 공유한다. 어플라이드 머티어리얼즈 관련 프로그램 일정 및 참가에 대한 자세한 정보는 세미콘 코리아 웹사이트에서 확인할 수 있다.

2024.01.29 09:10장경윤

티씨케이, 와이컴·와이엠씨 상대 SiC링 물성특허 최종 승소

반도체 부품기업 티씨케이는 지난 10일 특허법원에서 와이엠씨 및 와이컴을 상대로 진행 중인 특허 무효 사건(사건번호: 2023허11456)에서 최종 승소했다고 16일 밝혔다. 앞서 티씨케이는 지난해 3월 디에스테크노와 진행된 대법원 소송에서 SiC링 제조방법특허에 대한 유효성을 인정받은 바 있다. 이어 이번 물성특허 승소로 의미있는 결실을 맺게 됐다는 게 티씨케이 측의 설명이다. 티씨케이가 유효성을 인정받은 특허는 SiC링 제조과정에서 만들어지는 경계면의 단점을 보완해주는 물성특허다. SiC링은 반도체 식각 공정에서 웨이퍼를 고정시켜주는 소모성 부품으로, 선발주자인 티씨케이가 시장에서 독보적인 점유율을 차지해 왔다. 이후 티씨케이는 SiC링 제조업체인 디에스테크노, SiC링 리페어 사업을 영위하는 와이컴 및 모회사인 와이엠씨를 상대로 특허소송을 제기했다. 리페어는 공정을 거치며 마모된 SiC링을 가공해 다시 사용할 수 있는 제품으로 만드는 사업이다. 이 중 디에스테크노와의 소송은 양사 간 치열한 공방 끝에 지난해 3월 물성특허는 무효가 됐으나, 제조방법특허는 유효성을 인정 받았다. 와이엠씨 및 와이컴과의 특허소송은 지난 2020년 12월 티씨케이가 서울중앙지방법원에 특허침해금지 등을 구하는 소송을 제기하면서 시작됐다. 이후 와이엠씨 및 와이컴은 특허침해금지 소송 중에 해당 특허를 실시하고 있다는 사실은 인정하면서도, 해당특허가 유효인지 아닌지에 대한 판단을 받고자 특허심판원에 무효심판을 제기했다. 특허심판원은 지난해 3월 해당특허의 유효성을 인정하면서, 와이엠씨 및 와이컴의 무효심판 청구를 기각한 바 있다. 와이엠씨 및 와이컴은 바로 다음달 특허심판원 심결에 불복하면서 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. 그러나 특허법원은 이달 다시 한번 와이엠씨 및 와이컴의 청구를 기각하고 해당특허의 유효성을 인정했다. 티씨케이는 "디에스테크노와의 제조특허 승소에 이어 금번 와이엠씨 및 와이컴과의 물성특허에서 특허법원으로부터 승소를 얻어 특허소송에서 유리한 고지를 점하게 됐다"며 "와이엠씨 및 와이컴이 실시를 인정한 해당 특허의 유효성이 재확인됐으므로, 특허침해금지소송에서 신속한 침해 중지와 합당한 손해배상 등을 구할 예정"이라고 밝혔다. 회사는 또 "지금까지와 같이 기술 위주 경영에 주력하면서 정당한 권리를 보호받기 위한 지식재산권 확보에도 최선을 다할 것"이라며 "무단으로 특허를 침해하는 곳에 대해서는 단호한 법적 조치를 취하면서 기술, 지식재산권 보호를 위한 권리 행사에도 만전을 기할 것"이라고 강조했다.

2024.01.16 14:50장경윤

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