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'세메스'통합검색 결과 입니다. (9건)

세메스, PLP용 소터 장비 개발…첨단 패키징 시장 공략

반도체 장비업체 세메스(대표 심상필)는 반도체 대형 패널레벨패키지(PLP)용 소터(Sorter) 장비인 '테파스(TEPAS)100'을 국내 최초로 양산 개발했다고 16일 밝혔다. 테파스100은 원자재(Substrate, PCB, PLP) 패키지를 낱개로 절단하고 제작된 반도체 칩을 비전(Vision)을 통해 양품과 불량품을 검사해 트레이(Tray)에 고속·고정밀 소팅 기술로 분류하는 장비다. 이 장비는 515x510mm 대형 사이즈 패널에서 패키지로 절단(Dicing)하고 핸들링하는데 의미가 있으며, 소재도 오르가닉에서부터 글라스까지 다양한 것이 특징이다. 또한 패키지로 절단 후 세정·건조 과정에서 대면적을 고속으로 건조할 수 있는 자체 개발한 특화 기술인 토네이도 블로워 방식을 적용해 생산성과 품질제어 측면에서 차별화된 경쟁력을 확보했다고 회사측은 설명했다. 최병갑 세메스 TP팀장은 "최근 다양한 응용 분야에서 반도체 패키징의 고집적화 및 대형화에 대한 요구가 높아지면서 대형 패널을 활용하는 PLP 기술이 각광받고 있다”며 “세메스는 레거시패키지, 웨이퍼레벨패키지(WLP)에 이어 패널레벨패키지(PLP) 장비에 이르기까지 장비 라인업을 완료하고 글로벌 반도체 패키징 시장에서의 입지를 강화할 계획”이라고 밝혔다. 세메스가 이번에 양산 개발한 PLP용 소터는 패키지로 절단 후 트레이에 분류하는 TEPAS100과 패키지로 절단 후 메탈 링에 접착하는 TEPAS100A 두 가지 모델이 있다.

2026.01.16 11:28장경윤 기자

세메스, 대한기계학회와 제10회 KSOIC 대회 개최

국내 최대 반도체 장비업체인 세메스는 강원도 하이원 그랜드호텔에서 제10회 대한기계학회-세메스 오픈 이노베이션 챌린지 행사를 열고 산학 기술교류 촉진을 위한 우수논문 시상식 및 수상작 발표회를 가졌다고 12일 밝혔다. 이 행사는 반도체·디스플레이 장비 공정기술 및 초정밀 센서 계측기술 등 산업현장에서 활용될 수 있는 기계공학 분야의 논문 공모전으로 국내 최초로 시행되고 있는 산학 오픈 이노베이션 대회다. 올해로 창립 80주년을 맞는 대한기계학회는 회원수만도 3만명이 넘고 한 해 논문발표 실적도 1천600편에 달하는 국내 최대의 학술 단체다. 세메스는 대한기계학회와의 전략적 파트너십을 통해 고성능의 차별화된 장비 개발을 앞당긴다는 전략이다. 이번 공모전은 국내 28개 대학 및 연구기관으로부터 ▲생산설비기술 ▲CAE기술 ▲계측제어기술 ▲열/유체/소재기술 ▲공정기술 ▲AI기술 등을 주제로 총 96편의 제안서를 접수받아 대상 1팀, 금상 2팀 등 총 12개팀을 선정했다. 대상은 '이벤트 카메라 기반 3D-LPT를 통한 웨이퍼 엣지 액적 충돌 메커니즘 규명'을 논문 주제로 발표한 서울대 기계공학과 박형민 교수팀이 수상했고, 금상은 KAIST 기계공학과 박인규 교수· 서강대 기계공학과 박정열 교수 팀이 각각 차지했다. 올해로 10회째를 맞은 이 대회는 그동안 100여편이 넘는 수상작 가운데 반도체 초임계, 클린, 자동화, 검사, 센서 및 디스플레이 분야의 혁신 기술을 선정해 총 10개의 산학과제를 수행했으며, 차세대 핵심장비 개발을 위한 다수의 정밀 측정기술, 계측 장비기술, 센서 기술, 초미세 제어기술 등을 확보하는 성과를 거두었다고 회사측은 설명했다. 세메스 심상필 대표는 “앞으로도 학회의 우수한 연구 인프라를 활용해 시장에서 요구하는 고난이도 반도체 공정장비 기술개발에 앞장서겠다”고 밝혔다. 산업통상자원부가 후원하는 이 행사는 미래혁신기술 개발을 위한 아이디어 및 우수인재 발굴을 목적으로 대한기계학회와 세메스가 2016년부터 공동으로 주최 운영하고 있다.

2025.12.12 14:21장경윤 기자

세메스, HBM용 TC본더 최고 권위 'IR52 장영실상' 수상

반도체 장비업체인 세메스는 HBM(고대역폭메모리) 제조에 핵심인 TC 본더를 본격 양산 개발해 과학기술정보통신부가 주최하고 산업기술진흥협회가 주관하는 'IR52 장영실상'을 수상한다고 21일 밝혔다. 국내 최고 권위의 산업기술상인 이 상은 산업기술혁신 풍토 조성을 위해 1991년부터 우수 신기술제품 및 연구조직에 시상해 오고 있다. 세메스가 현재 양산하고 있는 HBM TC 본더는 첨단 실리콘관통전극(TSV) 공법으로 제작된 반도체 칩을 웨이퍼에 수직으로 적층하는 장비다. 이 장비는 최근 HBM의 트렌드인 인아웃 피치의 미세화에 따른 마이크로 범프의 증가에 최적으로 대응할 수 있는 기능과 성능을 갖추고 있다. 삼성전자가 HBM용 본딩 공법으로 채택하고 있는 TC-NCF 공정에서 세메스는 여러 세대를 걸쳐 지속적으로 경쟁력 있는 설비를 공급해 오고 있다. 특히 위치정렬과 열, 압력조절 등을 통해 고하중에도 업계 최고 수준인 1㎛ 이하의 높은 적층 정밀도를 구현했다고 회사측은 설명했다. 세메스는 HBM4 이후에 초미세 공정을 대비해별도의 연결 단자없이 칩을 고단 정밀 적층으로 연결할 수 있는 차세대 하이브리드 본더의 양산 개발도 서두르고 있다. 세계 최고 수준의 다층 본딩 기술과 웨이퍼 레벨 본딩 기술을 개발함으로써 글로벌 AI 및 HPC(고성능 컴퓨팅) 시장에서 요구되는 초고속·저전력 차세대 패키징 기술의 핵심 기반을 선제적으로 확보한다는 전략이다. 최병갑 세메스 TP팀장은 “현재 500㎚ 이하의 고정밀 위치 제어와 고생산성을 동시에 구현할 수 있는 HBM 하이브리드 본더를 개발해 데모평가가 진행 중"이라며 "설비 품질과 신뢰성 확보에 나서고 있다”고 말했다. 세메스는 지난 2022년 고집적화된 HBM용 TC 본더를 첫 양산 개발한 이래 지금까지 5천억원 이상의 장비 매출을 기록하고 있다.

2025.08.21 10:32장경윤 기자

세메스, 반도체 매엽식 세정장비 2500호기 판매 달성

반도체 장비업체인 세메스는 자사의 반도체 매엽식 세정장비 양산 판매 대수가 국내 최초로 2천500호기를 달성했다고 1일 밝혔다. 2006년 7월 첫 양산 개발 이래 지금까지 누적 매출도 7조원을 넘어선 것으로 집계됐다. 매엽식 세정은 반도체 웨이퍼의 회로 선폭이 점점 미세해지면서 웨이퍼 표면에 남아있는 파티클(오염물질)을 제거하기 위해 반도체 웨이퍼를 한장씩 개별적으로 세정하는 방식이다. 세메스 매엽식 세정장비는 아이리스(IRIS), 블루아이스(BLUEICE), 로투스(LOTUS), 퓨어시스(PURESYS) 등이 있으며, 주요 기술에 대해 국가핵심기술 판정을 받았다. 이들 설비는 다양한 소재와 신기술을 적용해 세정 성능을 기존 대비 90% 이상 크게 향상시켰으며, 웨이퍼의 오염 상태에 따라 세정 방식을 조절할 수 있도록 제작됐다고 회사측은 설명했다. 김경현 클린팀장은 “앞으로 다양한 공정기술이 융복합된 신제품 개발 및 친환경 설비경쟁력 확보를 통해 명실상부한 반도체 세정장비 리딩컴퍼니로 도약하겠다”고 말했다. 세메스는 지난 2014년 세계 최초로 반도체 초임계 세정장비를 양산해 업계의 주목을 받았으며, 정부로부터 국가핵심기술 판정을 받았다.

2025.08.01 10:46장경윤 기자

세메스 반도체 세정기술, 국가핵심기술로 판정

반도체 장비기업 세메스는 산업통상자원부가 주관하고 산업기술보호협회가 심사 운영하는 국가핵심기술에 자사의 반도체 세정공정 기술이 판정됐다고 8일 밝혔다. 국가핵심기술은 기술적·경제적 가치가 높아 해외 유출 시 국가에 중대한 피해를 줄 우려가 있는 산업기술로 국내외 유출방지 및 보호를 위해 지난 2007년 도입됐다. 세메스의 반도체 세정 공정기술은 30나노 이하급 D램, 파운드리를 비롯해 64단 이상의 적층 3D 낸드플래시에 해당되는 설계·공정·소자 기술 및 3차원 적층형성 기술이다. 이번 판정으로 세메스는 현재 세계 1위의 초격차 반도체 세정공정 기술을 보유한 업체로 평가받았으며, 정부의 기술보호 정책에 따라 기술 유출에 대한 법적 처벌을 받게 된다고 회사측은 설명했다. 세메스는 협력사와의 기술보호 규정을 강화하고 기술자료에 대한 접속을 제한하는 등 보안 점검 및 인프라 구축에도 적극 나서고 있다. 심상필 대표는“산업기술 보호 및 육성에 대한 중요성이 날로 커지고 있는 만큼 앞으로도 핵심 공정기술을 보호하고, 정부의 다양한 지원혜택도 받을 수 있는 국가첨단전략기술 신청을 통해 최고 수준의 기술 보유기업으로 거듭나겠다”고 밝혔다. 업계 최초로 매출액 3조원을 달성한 이 회사는 지난 2022년 반도체 초임계 건조 공정 기술을 개발해 국가핵심기술로 지정된 바 있다.

2025.07.08 14:03장경윤 기자

세메스, 대·중소기업 안전보건 상생협력 발대식

반도체 장비업체인 세메스는 천안 본사에서 고용노동부와 산업안전보건공단이 공동으로 주관하는 대·중소기업 안전보건 상생협력 협약식을 체결했다고 24일 밝혔다. 대·중소기업 안전보건 상생협약은 원청기업과 협력업체 상호간에 산업재해 예방 및 안전보건 강화를 목적으로 한다. 에이티이엔지, 그린파워, 새너, 우암 등 세메스의 22개 협력사 대표 및 관계자 50여명이 참석한 가운데 열린 이날 발대식에서 참석자들은 안전 보건의 중요성 및 상생협력에 대한 의지를 다졌다. 세메스는 협력업체의 안전보건 역량 강화를 위해 컨설팅 과제와 안전보건활동 과제를 병행해 위험성 평가에 따른 기술지도 및 물품 지원에 나서는 한편 캐치업 프로그램을 통해 협력사가 자발적인 안전보건 관리체계를 구축할 수 있도록 지원할 계획이다. 김진주 인프라팀장은 "앞으로 안전보건 상생협력 활동을 지속적으로 추진해 산업재해 예방과 동반성장의 기틀을 마련하겠다"고 밝혔다.

2025.06.24 15:40장경윤 기자

세메스, 충남도와 유망 스타트업 발굴 지원

반도체 장비업체인 세메스(대표 심상필)는 충청남도가 주최하고 충남창조경제혁신센터가 주관하는 '2025 충남 Tri Nexus 오픈이노베이션' 참가를 통해 동반성장을 위한 유망 스타트업을 발굴, 지원하고 있다고 13일 밝혔다. 충남 트라이 넥서스 오픈이노베이션은 국내 16개 대·중견기업이 보유한 인프라와 스타트업이 개발한 혁신기술을 매칭해 기술 검증과 사업화 자금을 지원하는 사업이다. 세메스는 지난해 제1회 오픈이노베이션 대회를 통해 로봇, 계측 분야의 스타트업을 발굴해 지원한 바 있다. 세메스는 올해도 선정된 스타트업과 협력해 기술 검증을 진행하고, 충남창조경제혁신센터는 연구개발, 시제품 제작, 지식재산권 출원·등록 등에 필요한 사업화 자금을 지원할 예정이다. 세메스가 공모하는 기술 모집분야는 반도체·디스플레이 관련 제전소재, 칠러·히터, 펌프·필터류, 자동화솔루션, 계측기 등이다. 최길현 CTO는 "현재 계측 솔루션, 로봇 제어기술, AI를 활용한 예지보전 분야에서 국내 유망업체와 기술 검증 및 협업 방안을 검토하고 있다”며 “최종 선발된 스타트업과 함께 기술개발 및 생산관리, 품질시스템 전수 등 동반성장을 위한 상생협력에 앞장서겠다”고 밝혔다. 한편 세메스는 협력사와 지속가능한 성장을 위해 ▲상생펀드 운영 ▲설비교육 및 ESG 컨설팅 ▲인재채용 ▲우수 협력사 시상 등을 지원하고 있다.

2025.05.13 10:44장경윤 기자

세메스, 차세대 반도체 KrF 스피너 '오메가 프라임' 국산화 성공

반도체 장비업체인 세메스는 반도체 포토공정용 트랙장비인 차세대 불화크립톤(KrF) 스피너(설비명 오메가 프라임)를 개발해 품질테스트를 통과했다고 7일 밝혔다. 스피너는 반도체 제조공정에서 웨이퍼에 미세회로(패턴)를 형성하기 위해 감광액(Photo Resist)을 골고루 도포하고 노광기에서 빛을 조사한 후에 다시 현상하는 설비다. 이 장비는 현재 일본의 T사가 시장점유율 90% 이상을 차지하고 사실상 독점하고 있으며, 국내 업체로는 세메스가 유일하다. 반도체에 회로를 새기는 노광 기술은 불화크립톤(KrF), 불화아르곤(ArF), 극자외선(EUV)으로 나뉜다. 세메스는 그동안 KrF 스피너를 비롯해 불화아르곤이머전(ArF-i) 장비를 생산해 왔다. 이번에 개발된 차세대 KrF 스피너 오메가 프라임 설비는 WLPAD(Word Line Pad) 공정에 대응이 가능할 뿐만 아니라, 시간당 웨이퍼 처리능력도 20% 이상 개선해 생산성을 향상시켰다고 회사측은 설명했다. 불화크립톤(KrF) 스피너 장비는 고청정, 고생산성, 고정밀도가 요구되는 3고 설비로서, 자동 보정 및 자동화 시스템을 적용해 공정의 산포를 획기적으로 개선해 수율 및 성능 향상에 기여할 것으로 전망했다. 장세연 세메스 포토팀장은 “오메가 프라임의 개발로 향후 수입대체 효과가 클 것으로 기대한다”며 “앞으로 고부가가치 중심의 차별화된 설비를 선보여 기술리더십을 주도하겠다”고 밝혔다.

2025.04.07 14:37장경윤 기자

세메스, 전략물자 자율준수무역거래자 지정…AA 등급 획득

반도체 장비업체인 세메스(대표 심상필)는 산업통상자원부로부터 전략물자 수출관리를 위한 자율준수무역거래자(Compliance Program)로 지정돼 AA 등급을 받았다고 24일 밝혔다. CP 지정은 산업통상자원부 공식 인증 제도로 그동안 전략물자에 대한 충분한 내부 자율관리 체계를 갖춘 국내 몇몇 대기업에서 주로 인증받았다. 전략물자 자율준수무역거래자로 지정되면 기업이 자체적으로 전략물자 판정 및 최종사용자가 우려 거래 대상인지 등의 여부를 직접 판단해 품목을 수출할 수 있다. 전략물자에는 반도체 및 디스플레이를 비롯해 다수의 산업용 품목이 포함된다. 전략물자는 재래식 무기 또는 대량 파괴무기 등으로 사용될 수 있는 물품이나 기술로, 우려국이나 테러 단체로 수출되는 것을 막기 위해 수출이 엄격하게 제한되고 있다. 세메스는 AA 등급을 받게 되면서 앞으로 정부로부터 수출허가 심사기간 단축 및 서류 간소화 등 행정상 혜택을 받게 돼 미국을 비롯한 선진 29개국에서 수출허가 심사를 면제받고, 기타 국가는 15일에서 10일로 심사 기간이 단축된다고 회사측은 설명했다. 이 회사는 기업의 사회적 책임 및 선제적 리스크 관리 차원에서 자율 수출관리 프로그램을 도입해 운영할 계획이다.

2025.02.24 15:22장경윤 기자

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