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'비씨엔씨'통합검색 결과 입니다. (5건)

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플라텍, 램리서치 특허 무효분쟁 항소

반도체 공정 부품업체 플라텍이 램리서치 특허가 유효라고 판단한 특허심판원 판단에 불복하고 특허법원에 지난 14일 심결취소소송을 제기했다. 쟁점 특허는 램리서치의 '캠 고정 전극 클램프' 특허(등록번호 1708060)다. 전극 클램프는 반도체 식각 공정 챔버 내에서 상부 전극을 백킹 플레이트에 밀착·고정해 전기 연결과 열 전달을 돕는 소모성 부품이다. 앞서 지난 4월 중순 특허심판원은 해당 특허에 대해 유효라고 판단(심결)했다. 플라텍이 지난 2024년 해당 특허를 상대로 무효심판을 청구하며 청구항(권리범위) 모두 무효라고 주장했지만 특허심판원은 받아들이지 않았다. 플라텍은 램리서치가 시작한 특허분쟁에 대응하기 위해 무효심판을 청구했다. 플라텍은 지난 4월 감사보고서에서 램리서치가 서울중앙지방법원에 특허침해소송을 제기했다고 밝혔다. 플라텍이 해당 특허에 대해 무효 판단을 받지 못하면, 특허침해소송에서 램리서치 특허를 침해하지 않았다고 주장해야 한다. 플라텍의 주요 고객사는 SK하이닉스다. 램리서치의 같은 특허를 상대로 또 다른 반도체 공정 부품업체 윌비에스엔티도 지난 2025년 특허심판원에 무효심판을 청구했다. 해당 무효심판 판단은 아직 나오지 않았다. 세계 식각장비 1위 램리서치는 플라텍처럼 SK하이닉스와 삼성전자 등에 반도체 공정 부품을 공급하는 '애프터마켓' 업체를 상대로 특허침해소송을 제기하고 있다. 애프터마켓 업체가 일반적으로 관련 부품을 낮은 가격에 공급한다. 램리서치 같은 장비업체는 관련 매출이 줄어들고 가격 경쟁력이 떨어진다. 플라텍 외에 비씨엔씨, 월덱스, SHM(옛 원세미콘), CMTX 등이 램리서치와 특허분쟁 중이다. CMTX는 지난 4월 특허심판원에서 램리서치의 '무선주파수 접지 복귀 장치들' 특허(등록번호 2201934)를 침해하지 않았다는 판단을 받았다. 같은 특허에 대해 CMTX는 지난 1월 특허심판원에서 무효라는 판단도 받았다. 특허심판원의 무효 판단에 대해 램리서치는 불복하고 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. 지난해 CMTX는 램리서치의 또 다른 '무선주파수 접지 복귀 장치들' 특허(등록번호 2285582)에 대해서도 특허심판원에서 무효와 비침해 판단을 받았다. 이들 특허심판원 판단에 대해 램리서치는 불복하고 특허법원에 항소했다. 앞서 램리서치는 CMTX를 상대로 특허침해소송을 제기했다. 램리서치는 반도체 장비에 적용하는 C-링 특허 2건을 CMTX가 침해했다고 주장했다. C-링은 식각 공정 장비 내부에 장착하는 실리콘 부품이다. 고객사는 삼성전자다.

2026.05.23 20:58이기종 기자

CMTX, 램리서치 특허 비침해 판단받았다...고객은 삼성전자

CMTX(씨엠티엑스)가 램리서치의 '한정 링'(C-링) 특허를 침해하지 않았다는 판단을 받았다. CMTX는 해당 특허에 대해 무효라는 판단도 받은 상황이어서 전체 분쟁에서 유리해졌다. CMTX와 램리서치가 다투고 있는 C-링 고객사는 삼성전자다. C-링은 식각장비 내부에 장착하는 실리콘 부품이다. 식각장비 내부에서 생성된 플라스마가 웨이퍼 바깥으로 퍼지지 않도록 물리적으로 가두는 역할을 한다. 1일 업계에 따르면 특허심판원은 지난달 30일 CMTX가 램리서치의 '무선주파수 접지 복귀 장치들' 특허(등록번호 2201934)를 침해하지 않았다고 판단(심결)했다. 지난 2025년 1월 CMTX가 램리서치의 해당 '934 특허를 침해하지 않았다며 '소극적 권리범위확인심판'(소극심판)을 청구했는데, 특허심판원이 CMTX 주장을 받아들였다. 소극심판은 상대 특허를 침해하지 않았다는 판단을 구할 때 사용하는 분쟁이다. CMTX는 앞서 '934 특허가 무효라는 판단도 받았다. 지난 1월 특허심판원은 '934 특허에 대해 무효라고 심결했다. 램리서치는 불복하고 지난 2월 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. CMTX는 지난해 특허심판원에서 램리서치의 또 다른 '무선주파수 접지 복귀 장치들' 특허(등록번호 2285582)에 대해서도 무효, 그리고 비침해 판단을 받았다. 램리서치는 관련 심결에 불복하고 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. 이들 특허분쟁 발단은 앞서 램리서치가 CMTX를 상대로 2024년 서울중앙지방법원에 특허침해소송을 제기하면서 시작됐다. 고객사는 삼성전자다. CMTX가 삼성전자에 공급한 C-링이 램리서치의 특허를 직접 또는 간접 침해했는지 여부가 침해소송 쟁점이다. '짧은 접지 링'이 장착되는 장비와 호환성, 그리고 이에 따른 무선주파수 전류 흐름을 판단해야 한다. 지난달 변론기일에서 서울중앙지법 재판부는 CMTX 측에 삼성전자에 공급한 C-링 부품번호를 제출하라고 밝혔다. 세계 식각장비 1위 램리서치는 삼성전자와 SK하이닉스 등에 반도체 공정 부품을 공급하는 '애프터마켓' 업체를 상대로 특허침해소송을 제기하고 있다. 또 다른 반도체 공정 부품업체 플라텍은 지난달 램리서치 특허 무효화에 실패했다. 지난달 중순 특허심판원은 플라텍이 램리서치의 '캠 고정 전극 클램프' 특허(등록번호 1708060)를 상대로 청구한 무효심판에서 플라텍 주장을 기각했다. 플라텍은 램리서치가 제기한 특허침해소송에 대응하기 위해 무효심판을 청구했던 것인데, 원하던 결과를 얻지 못했다. 플라텍의 주요 고객사는 SK하이닉스다. 전극 클램프는 반도체 식각 공정 챔버 내에서 상부 전극을 백킹 플레이트에 밀착·고정해 전기 연결과 열 전달을 돕는 소모성 부품이다. CMTX와 플라텍 외에 비씨엔씨, 월덱스, SHM(옛 원세미콘) 등이 램리서치와 특허분쟁 중이다.

2026.05.01 23:31이기종 기자

플라텍, 램리서치 반도체 부품 특허 무효화 실패

반도체 공정 부품업체 플라텍이 램리서치 특허 무효화에 실패했다. 플라텍은 램리서치가 제기한 특허침해소송에 대응하기 위해 무효심판을 청구했던 것인데, 원하던 결과를 얻지 못해 힘겨운 싸움이 예상된다. 플라텍의 주요 고객사는 SK하이닉스다. 17일 업계에 따르면 특허심판원은 지난 15일 플라텍이 램리서치의 '캠 고정 전극 클램프' 특허(등록번호 1708060)를 상대로 청구한 무효심판에서 플라텍 주장을 기각했다. 플라텍은 지난 2024년 무효심판을 청구하며 해당 특허의 청구항(권리범위)은 모두 무효라고 주장했지만 특허심판원이 받아들이지 않았다. 전극 클램프는 반도체 식각 공정 챔버 내에서 상부 전극을 백킹 플레이트에 밀착·고정해 전기 연결과 열 전달을 돕는 소모성 부품이다. 세계 식각장비 1위 램리서치는 최근 플라텍처럼 SK하이닉스와 삼성전자 등에 반도체 공정 부품을 공급하는 '애프터마켓' 업체를 상대로 특허침해소송을 제기하고 있다. 플라텍은 지난 1일 공시한 감사보고서에서 램리서치가 서울중앙지방법원에 특허침해소송을 제기했다고 밝혔다. 플라텍이 이번 특허심판원 결정(심결)에 불복할 경우 특허법원에 심결취소소송을 제기할 수 있다. 램리서치의 같은 특허를 상대로 또 다른 부품업체 윌비에스엔티도 2025년 무효심판을 청구했다. 해당 무효심판 판단은 아직 나오지 않았다. 플라텍 외에 비씨엔씨, 월덱스, SHM(옛 원세미콘), CMTX 등이 램리서치와 특허분쟁 중이다. 비씨엔씨는 2025년 하반기 특허심판원에서 램리서치 특허 2건은 무효, 다른 1건은 유효라는 판단을 받았다. 양측은 각각 불복하고 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. CMTX는 지난해 특허심판원에서 램리서치 특허 1건에 대해선 무효, 그리고 비침해 판단을 받았다. 또 다른 특허 1건에 대해선 무효 판단을 받았지만, 침해 여부 판단은 아직 나오지 않았다. 램리서치는 특허심판원 심결에 불복하고 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. 앞서 램리서치는 CMTX를 상대로 특허침해소송을 제기했다. 램리서치는 반도체 장비에 적용하는 C-링 특허 2건을 CMTX가 침해했다고 주장했다. C-링은 식각 공정 장비 내부에 장착하는 실리콘 부품이다.

2026.04.17 01:16이기종 기자

비씨엔씨, 美 고객사서 QD9+ 첫 구매주문 수주·선적 완료

반도체 소재 및 부품 전문기업 비씨엔씨는 북미 글로벌 반도체 업체로부터 합성쿼츠 국산화 소재(QD9+) 부품에 대한 첫 PO(구매주문)를 받아 최근 선적까지 완료했다고 19일 밝혔다. 이번 선적은 QD9+ 소재 부품의 해외업체에 대한 첫 공급 사례로, 당초 지난해 해외 양산 공급 계획에 비해서는 다소 지연됐다. 그러나 현재 동일 글로벌 업체에서 여타 품목의 추가 퀄테스트가 완료돼 PO 대기 중이며, 또 다른 북미 반도체 업체로부터도 첫 PO를 수주했다. 비씨엔씨는 "동사의 QD9+ 소재 부품 사업은 해외에서 복수의 수요처를 확보하면서 본격적으로 글로벌 궤도에 오를 전망"이라고 밝혔다. 비씨엔씨는 이번 QD9+ 부품을 첫 공급한 북미 글로벌 반도체 업체에 지난 1분기 중 역시 국산화한 폴리 실리콘 소재(SD9+P) 부품의 양산 공급을 개시한 바 있다. 현재 동사는 해당 업체에서 여타 SD9+P 품목에 대해 PO 수주 및 대기, 퀄테스트 진행 중에 있어, 동 북미 업체에 대한 SD9+P 소재 부품의 하반기 공급 품목 수도 다수 증가할 것으로 기대된다. 회사가 국산화한 합성쿼츠 소재 QD9+는 알려진 바와 같이 반도체 미세공정에 적합하도록 개선한 초고순도 소재다. 특히 QD9+ 소재(잉곳)는 동사의 주력 제품인 포커스링(Focus Ring)에 최적화된 형상으로 양상되고 있어 원재료비 뿐 아니라 공정 시간을 대폭 줄이고 있다. 비씨엔씨는 현재 그 동안 QD9+ 소재 개발 및 양산 과정에서 축적된 노하우와 기술을 보호하기 위한 특허 방어 시스템을 구축 중에 있다. 현재 국내외에 20개의 특허를 등록했으며, 13건의 특허를 출원했다. 특히 QD9+ 소재가 세계 최초 반도체 에칭 공정용 특화 소재라는 점 때문에 미국, 일본, 중국, 대만 등 해외 주요국에도 특허 출원으로 적극적으로 추진 중에 있다. 김돈한 비씨엔씨 대표이사는 “금번 해외 글로벌 반도체 고객사에 대한 QD9+ 소재 부품의 첫 선적과 또 다른 해외업체로부터의 첫 PO 수주는 국내 뿐 아니라 해외에서도 비씨엔씨의 합성쿼츠 국산화 소재인 QD9+의 품질경쟁력을 인정받은 것"이라며 "향후 QD9+의 국내외 양산 공급에 속도를 낼 수 있을 것"이라고 말했다. 김 대표는 이어 "폴리 실리콘 소재인 SD9+P 부품을 지난 1분기 해외에 첫 공급한 이후 여타 국내외 반도체 기업들의 관심이 높아지고 있고, 세라믹 소재인 CD9 소재 부품도 공급이 확대될 전망"이라며 "당사는 다양한 반도체용 소재 라인업과 부품 가공생산까지 수직계열화한 소재 및 부품 전문기업으로서 앞으로 글로벌 시장에서의 포지션을 강화해 갈 것”이라고 덧붙였다.

2025.05.19 11:26장경윤 기자

비씨엔씨, 美 고객사 반도체용 '폴리실리콘' 부품 첫 수주

반도체 소재·부품 전문기업 비씨엔씨는 지난주 북미 글로벌 반도체 기업으로부터 폴리실리콘(SD9+P) 포커스링 첫 번째 품목에 대한 퀄 테스트를 성공적으로 마무리하고, 첫 PO(구매주문서)를 받았다고 10일 밝혔다. 이에 따라 동사는 자체 개발 및 양산한 실리콘 소재로 부품을 생산해 2025년 1분기부터 해외 고객사에 본격적으로 양산 공급하게 됐다. 동사는 2023년말 이미 데모 장비를 통해 '폴리실리콘 소재(SD9+P)' 생산을 개시했다. 2023년 하반기 약 200억원 이상의 반도체용(싱글, 폴리) 실리콘 소재(잉곳)의 자체 생산 및 가공 제조를 위한 대규모 시설을 착공해 지난해 상반기말 완공하였으며 현재 실리콘 소재는 양산을 개시한 상태다. 특히 반도체용 폴리실리콘 소재는 태양광용과 달리 '고순도 소재'가 사용되며, 주로 식각 공정의 대구경 사이즈 링의 소재로 사용되고 있다. 비씨엔씨가 이번 해외 고객사로부터 PO를 수주한 품목 역시 포커스링이다. 비씨엔씨 관계자는 "그간 폴리실리콘 소재의 생산 공정상 필연적으로 발생해 왔던 불순물인 나이트라이드를 제거함(Nitride-free)으로써 높은 품질 수준이 요구되는 포커스링으로까지 시장을 확대할 수 있게 됐다"며 "이러한 품질경쟁력과 더불어 동사는 가격경쟁력도 확보한 상황"이라고 밝혔다. 현재 폴리실리콘 소재(잉곳)는 주로 사각형으로 생산되고 있다. 반면 비씨엔씨는 소재를 원형으로 생산해 재료비와 가공시간을 절감함으로써, 중국업체들 이상의 가격경쟁력을 확보했다. 현재 회사는 현재 실리콘 소재와 부품에 대해 국내 외에 8개의 특허를 등록 또는 출원한 상태이며, 추가 출원을 준비 중이다. 반도체용 폴리실리콘 시장 규모는 지난해 전세계적으로 약 2조5천억원, 국내 약 5천억원으로 추정되며, 2026년까지 연평균 15% 이상의 성장세를 보일 것으로 관련 업계는 전망하고 있다. 또한 동사는 기존 해외 글로벌 반도체 회사에 공급해왔던 싱글실리콘 제품을 지난해 하반기부터 자체 생산한 싱글실리콘 소재(SD9+S)의 제품으로 공급하기 시작했다. 이에 따라 실리콘 사업을 폴리실리콘(SD9+P) 뿐 아니라 싱글실리콘 소재(SD9+S) 및 제품으로 확장할 수 있는 발판을 마련했다. 김돈한 비씨엔씨 대표이사는 “전세계적으로 성장 중인 반도체 실리콘 시장에서의 경쟁력은 품질과 더불어 소재부터 제품 생산까지 수직계열화에 달려 있는데, 당사는 이를 달성함으로써 해외 대형 반도체 업체에 실리콘 부품을 양산 공급할 수 있게 됐다"고 밝혔다. 그는 이어 "당사는 폴리실리콘 뿐 아니라 싱글실리콘 소재(SD9+S)도 자체 개발해 양산할 수 있는 체제를 갖췄고, 향후 금번 해외업체에 대한 양산 공급을 기점으로 국내에서도 실리콘 사업을 본격화할 계획"이라며 "합성쿼츠(QD9+)에 이어 실리콘(SD9+P 및 SD9+S)까지 반도체 부품용 주 소재들의 국산화를 달성했으며, 이를 통해 반도체 소재 및 부품 전문 업체로서의 글로벌 포지션을 강화해 갈 계획”이라고 말했다.

2025.02.10 10:33장경윤 기자

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