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'불화'통합검색 결과 입니다. (5건)

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세메스, 차세대 반도체 KrF 스피너 '오메가 프라임' 국산화 성공

반도체 장비업체인 세메스는 반도체 포토공정용 트랙장비인 차세대 불화크립톤(KrF) 스피너(설비명 오메가 프라임)를 개발해 품질테스트를 통과했다고 7일 밝혔다. 스피너는 반도체 제조공정에서 웨이퍼에 미세회로(패턴)를 형성하기 위해 감광액(Photo Resist)을 골고루 도포하고 노광기에서 빛을 조사한 후에 다시 현상하는 설비다. 이 장비는 현재 일본의 T사가 시장점유율 90% 이상을 차지하고 사실상 독점하고 있으며, 국내 업체로는 세메스가 유일하다. 반도체에 회로를 새기는 노광 기술은 불화크립톤(KrF), 불화아르곤(ArF), 극자외선(EUV)으로 나뉜다. 세메스는 그동안 KrF 스피너를 비롯해 불화아르곤이머전(ArF-i) 장비를 생산해 왔다. 이번에 개발된 차세대 KrF 스피너 오메가 프라임 설비는 WLPAD(Word Line Pad) 공정에 대응이 가능할 뿐만 아니라, 시간당 웨이퍼 처리능력도 20% 이상 개선해 생산성을 향상시켰다고 회사측은 설명했다. 불화크립톤(KrF) 스피너 장비는 고청정, 고생산성, 고정밀도가 요구되는 3고 설비로서, 자동 보정 및 자동화 시스템을 적용해 공정의 산포를 획기적으로 개선해 수율 및 성능 향상에 기여할 것으로 전망했다. 장세연 세메스 포토팀장은 “오메가 프라임의 개발로 향후 수입대체 효과가 클 것으로 기대한다”며 “앞으로 고부가가치 중심의 차별화된 설비를 선보여 기술리더십을 주도하겠다”고 밝혔다.

2025.04.07 14:37장경윤

3M이 장악한 불소계…화학연-퓨어만,"국산화 성공, 1~2년 내 시장 진입"

국내 연구진이 전량 수입에 의존하던 불소계 유체를 국산화했다. 상용화는 퓨어만(주)(대표 김태한)이 진행 중이다. 한국화학연구원은 화학소재연구본부 이상구 박사 연구팀이 탄소와 수소로 이루어진 원료의 수소(H) 원자를 불소(F)로 바꾸는 기존의 '전기화학 불소화법'에 특수한 불소계 전도성 첨가제로 불소 전환율을 대폭 향상시키는데 성공했다. 연구팀은 이를 통해 화학산업 중요 원재료이자 불소계 유체인 '수소불화에테르'를 국내서 직접 생산할 수 있게 됐다고 평가했다. 수소불화에테르 제조는 탄화수소계열의 원료 및 전기화학불소화 반응을 통한 중간체를 합성하는 1단계 공정과 알킬레이션 반응으로 만들어내는 2단계로 구성된다. 이 선임연구원은 "전기화학 불소화 반응의 1단계가 핵심기술"이라며 "이를 보유한 기업은 미국이나 일본, 중국 등 일부이고, 현재 불소화 시장을 주도하는 데는 3M"이라고 언급했다. 연구팀은 1단계 기술을 기반으로 중간체 합성 및 알킬레이션 반응을 통해 수소불화에테르를 국내 최초로 제조하는데 성공했다. 이상구 선임연구원은 "기존 대비 약 20%이상 향상된 중간체 합성 전환율을 확보했다"고 부연설명했다. 기존의 전기화학 불소화 반응을 통한 중간체의 합성 전환율은 50∼55%다. 연구팀은 원활한 전기화학 불소화 반응을 유도하기 위해 전도성 첨가제를 투입했고, 62∼66%의 중간체 합성 전환율을 확인했다. 불소계 유체는 전자제품, 반도체, 정밀 기기 등의 냉각제와 세정제로 활용되는 필수 화학물질이다. 하지만 원래 있던 수소가 모두 불소로 대체된 '전 불소계 유체'는 지구온난화 지수가 높아, 친환경 유체로 대체하는 추세다. 이 선임연구원은 "냉매, 소화약제 전문 제조기업인 퓨어만에 기술이전했다"며 "현재 1~2년내 상용화를 목표로 스케일 업(벤치, 파일럿 등)이 진행 중"이라고 말했다.

2025.03.05 10:01박희범

수자원공사, 첨단 물테크로 세계시장 공략

수자원공사가 기후위기 시대에 해법이 될 혁신 물관리 기술로 세계시장을 공략한다. 한국수자원공사(K-water)는 미국 라스베이거스에서 개최한 'CES 2025'에서 국내 19개 물 분야 스타트업과 함께 대한민국 물 산업의 혁신성을 알리고 기후테크 분야를 선도하는 새로운 기준을 제시했다고 밝혔다. 수자원공사는 올해로 3번째 CES에 참가하고 있다. 올해 수자원공사는 대·중소기업·농어업협력재단과 협력해 물테크 스타트업 19개 곳과 함께 'K-water관'을 마련, 글로벌 물 문제 해결을 위한 혁신적 해법을 선보였다. 수자원공사는 물관리 디지털트윈·인공지능(AI) 정수장·스마트 관망관리(SWNM) 등 3대 초격차 물관리 기술로 글로벌 세일즈 강화에 주력한다. 극한기후에도 디지털 기술을 활용해 기존 물관리 시설 운영의 제약을 극복하는 방안을 제시하며, 글로벌 물테크 시장을 선점한다는 계획이다. 또 19개 물산업 혁신기업과 동반 참가하며 해외시장 진출을 돕고, 대한민국 물산업의 경쟁력을 한 차원 더 끌어올린다. 참가기업의 약 63%인 12개가 지역 소재 기업이다. 수자원공사는 지방기업이 혁신성장에 제약받지 않도록 CES 진출 지원은 물론, 테스트베드 실증·기술 컨설팅·투자 지원 등으로 혁신 스타트업의 성장을 돕고 있다. CES 2025에서는 기업들 실질적인 투자유치 가능성을 높일 수 있도록 '비즈니스 매칭 프로그램'도 운영한다. 미국 클리블랜드워터얼라이언스(CWA), 홍콩 무역개발위원회(HKTDC) 등과 스타트업 간 대화의 장을 만들어 협력 가능성을 논의한다. 이외에도 해외 투자자 초청, 찾아가는 투자 홍보 등 맞춤형 프로그램을 지원하고, 대한민국과 미국 산·관·학의 전문가가 함께하는 '물산업 미래비전 포럼'을 열어 업계의 경험을 공유한다. 동반 참가 3개 기업이 'CES 혁신상'을 수상하는 쾌거도 거뒀다. 3개 기업은 ▲수처리용 막 여과 기술을 활용한 이식형 인공신장기로 '이노셉(광주광역시 소재)' ▲세계 최초로 산업용 나노버블을 대량 생산하는 장치로 배관 불순물 제거에도 응용 가능한 기술을 가진 '화우나노텍(경기도 소재)' ▲계면활성제 없이도 물과 기름을 고르게 섞이게 해 주는 기술로 물속 난분해성 물질인 과불화화합물을 분해하는 기술을 선보인 '퍼스트랩(대전광역시 소재)' 등이다. 안정호 수자원공사 그린인프라부문장은 “세계는 전례 없는 물 리스크에 직면해 있으며, 이를 해결하기 위한 물테크 분야는 미래산업의 핵심으로 부상하며 거대한 시장을 형성하고 있다”며 “이번 CES를 통해 국내 유망 물기업과 함께 대한민국 물산업의 혁신성과를 세계에 알리고, 새로운 시장을 선점해 신성장동력을 확보하는 데 주력할 계획”이라고 말했다.

2025.01.09 13:52주문정

세메스, 반도체 포토공정용 'ArF-i 스피너 장비' 양산...'국산화 성공'

반도체 장비업체 세메스는 그동안 전량 수입에 의존해 온 반도체 포토공정용 트랙장비인 불화아르곤이머전(ArF-i) 스피너(설비명 오메가 프라임)를 본격 양산한다고 24일 밝혔다. 세메스는 해당 장비를 국내 최초로 개발해 지난해 양산 1호기 출하에 이어 올해 2호기 제작에 나선 것이다. 스피너는 반도체 제조공정에서 웨이퍼에 미세회로(패턴)를 형성하기 위해 감광액(Photo Resist)을 골고루 도포하고 노광기에서 빛을 조사한 후에 다시 현상하는 설비다. 이 장비는 현재 일본의 최대 반도체 장비업체인 도쿄일렉트론(TEL)이 시장점유율 90% 이상을 차지하고 사실상 독점하고 있는 분야다. 세메스는 그동안 불화크립톤(KrF) 스피너를 생산해 왔으며, 광원의 파장 선폭이 짧아진 고성능 노광기에 대응하기 위해 불화아르곤이머전(ArF-i) 장비를 개발했다. 불화아르곤 이머전 장비는 고청정, 고생산성, 고정밀도가 요구되는 3고 설비로서 세메스는 코팅, 현상프로세스 유닛의 조정편차를 없애기 위해 로봇의 위치조정, 베이크 온도셋팅, 노즐조정 등의 자동화시스템을 개발 적용했고, 그밖에 비전감시기능시스템, 베이크 자동보정 등의 특화 기술도 탑재했다고 회사측은 설명했다. 최길현 세메스 CTO는 "반도체 핵심공정 장비인 오메가 프라임의 개발로 향후 수입대체 효과가 클 것으로 예상한다"며 "앞으로 고부가가치 중심의 독보적이고 차별화된 장비를 선보여 기술혁신 기업으로 거듭나겠다"고 밝혔다.

2024.06.24 12:10이나리

램테크놀러지, 불산공장 건축 불허에 대법 상고 접수

반도체 공정용 화학소재 전문 기업 램테크놀러지가 석문국가산업단지 내 불산공장 건축 인허가 불허 관련 2심 판결에 대해 대법원 상고를 접수했다고 23일 밝혔다. 램테크놀러지는 지난 2019년 7월 석문국가산업단지 입주를 위해 사업계획서 및 입주신청서를 한국산업단지공단에 제출해 입주적격 통지를 받았다. 이후 램테크놀러지는 2020년 2월 한국토지주택공사(LH)와 석문국가산업단지 내 부지 분양계약을 맺은 뒤 입주계약을 체결했으나, 2021년 8월 당진시로부터 주민들의 반대와 안전성 입증 등의 이유로 건축허가 불허 통보를 받은 바 있다. 램테크놀러지는 당진시를 상대로 행정소송을 제기해 지난해 4월 대전지방법원 1심 결과 원고 승소 판결을 받았다. 그러나 당진시가 이에 불복해 진행한 금번 항소심에서 건축허가 불허 처분이 내려졌다. 램테크놀러지 관계자는 “석문산단 내 계획하고 있는 신규 공장은 안전사고 예방을 위해 밀폐구조로 설계하는 등 안전성을 최우선으로 하고 있다”며 “주민들의 안전성 확보와 소통을 최우선으로 하겠다는 결심은 변함 없기에 상호협력 할 수 있는 방안을 모색할 계획”이라고 전했다. 회사는 이어 “행정소송 전문로펌 선임을 준비하고 있고, 한국산업단지공단과 한국토지주택공사(LH)를 통해 협조 요청을 하는 등 대법원 판결 준비에 최선을 다하겠다”고 밝혔다.

2024.02.23 15:35장경윤

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