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한미반도체, 500억원 규모 자사주 취득 신탁계약 체결

한미반도체 대표이사 곽동신 부회장이 500억원의 자기주식 취득 신탁계약을 체결했다고 23일 밝혔다. 계약기간은 이날부터 2024년 10월 23일까지며 계약체결기관은 삼성증권이다. 이번 자사주 취득 신탁계약은 주주가치 제고와 인공지능 반도체 시장의 성장과 함께 한미반도체 미래 가치에 대한 자신감을 바탕으로 내린 결정으로 풀이된다. 현재 한미반도체는 전 세계 TC 본더 시장에서 점유율 1위를 차지하고 있으며, 12곳의 고객사를 확보했다. 생산 능력은 올해 기준 연 264대다. 또한 2025년부터는 6번째 공장 확충, 200억원 규모의 핵심부품 가공 생산 설비 추가 발주를 통해 생산능력을 연간 420대까지 확보할 수 있을 것으로 전망된다. 1980년 설립된 한미반도체는 최근 10년 동안 매출액 대비 수출 비중이 평균 77%를 넘으며 전 세계 약 320개 고객사와 거래하고 있다. 특히 10여 명의 전문인력으로 구성된 전담부서를 통해 현재까지 총 111건의 특허 포함 120여건에 달하는 인공지능 반도체용 HBM(고대역폭메모리) 장비 특허를 출원하며, 독보적인 기술력을 보유하고 있다.

2024.04.23 09:14장경윤

ASML, 네덜란드 현지서 대규모 사업확장 추진

반도체 장비기업 ASML이 네덜란드 에인트호번시에 대규모 시설확장을 고려하고 있다고 로이터통신이 22일(현지시간) 보도했다. ASML은 최근 에인트호번시와 에인트호번시 북부 지역의 저개발 지역에 신규 직원 2만명을 수용할 수 있는 부지를 모색하겠다는 의향서에 서명했다. 이번 결정은 ASML이 해외로 사업을 이전하는 것을 막기 위해 네덜란드 정부가 지난달 에인트호번시의 인프라 개선에 약 27억 달러(한화 약 3조 7천억 원)를 투자하겠다고 발표한 데 따른 것이라고 로이터통신은 설명했다. 피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)는 지난 1월 발표한 연례 보고서에서 ASML 사업 해외 이전 뜻을 밝힌 바 있다. 최근 네덜란드 의회가 고숙련 외국인 근로자에 대한 세제 혜택을 없애는 안을 가결한 데 따른 판단이다. ASML의 네덜란드 현지 직원 2만3천여 명 중 40%가량이 외국인인 것으로 알려져 있다. 로저 대센 ASML 최고재무책임자(CFO)는 "ASML은 본사가 위치한 벨도벤 지역과 최대한 가까운 곳에서 핵심 활동을 유지하는 것을 선호한다"며 "최근 정부가 발표한 조치가 투자 결정에 도움이 됐다"고 밝혔다. 한편 ASML은 전 세계에서 유일하게 EUV(극자외선) 노광장비를 생산할 수 있는 기업이다. EUV는 기존 반도체 노광공정에 쓰여 온 광원인 ArF(불화아르곤) 대비 빛의 파장이 짧아, 더 미세한 회로를 구현하는 데 유리하다.

2024.04.23 08:52장경윤

TEL코리아, 취약계층 아동 대상 지구환경 교육 실시

글로벌 반도체 제조장비 기업 도쿄일렉트론(TEL)의 한국법인 도쿄일렉트론코리아는 지난 20일 경기도 과천시 서울랜드에서 취약계층 아동을 대상으로 지구환경 교육 '공룡편'을 실시했다고 22일 밝혔다. 도쿄일렉트론코리아와 함께하는 지구환경 교육 '공룡편' 행사는 지구 환경오염 문제의 심각성을 알리기 위해 제정된 지구의 날(4월 22일)을 앞두고 지구 환경과 생태계에 대한 관심을 환기시키기 위해 초록우산 어린이재단과 함께 진행됐다. 경기도 내 취약계층 아동양육시설 18개소의 어린이들과 교사 등 150여명이 행사에 참석했다. 아동양육시설은 아동복지법에 따라 보호가 필요한 아동들이 입소해 양육과 자립지원 서비스를 제공받는 복지시설이다. 이번 행사에는 도쿄일렉트론코리아 사원봉사자 30명도 참여해 행사 진행을 보조하고 아동 인솔 등을 도왔다. 지구환경 교육 '공룡편'은 전 국립과천과학관장을 역임하고 '털보 과학 커뮤니케이터'로 유명한 이정모 펭귄각종과학관장이 강연을 맡았다. 이 관장은 어린이들이 공룡에 대해 갖고 있는 궁금증을 친근한 언어로 해소해 주는 한편 공룡의 멸종 원인에 대해서도 알기 쉽게 설명하며 환경 변화의 중요성을 일깨웠다. 교육에 참여한 어린이들은 강연이 끝난 뒤 사원봉사자들과 함께 공룡 모형이 전시된 서울랜드 내 공룡 체험관을 직접 돌아보고, 사원봉사자들의 설명을 들으며 공룡 화석 발굴 체험을 하는 등 즐거운 시간을 보냈다. 이후 서울랜드 내의 시설들을 이용하며 문화체험 시간을 가졌다. 도쿄일렉트론코리아는 서울랜드 종일이용권과 점심식사, 이동버스 및 기념품 등을 제공했다. 행사에 참여한 아동양육시설 관계자는 “도쿄일렉트론코리아의 후원 덕분에 놀이공원에 자주 가기 힘든 어린이들이 오랜만에 재미있는 교육도 받고 행복한 시간을 보낼 수 있었다"고 밝혔다. 이번 행사는 'TEL FOR GOOD' 활동 중 '지구환경의 보전'과 '지역사회와의 공동 가치 창조'의 실천을 위해 기획됐다. 도쿄일렉트론코리아는 'TEL FOR GOOD'이라는 사회공헌활동 브랜드 아래 각종 사내외 활동을 통해 기업의 사회적 책임(CSR)을 다하기 위해 다방면으로 노력을 기울이고 있다.

2024.04.22 09:31장경윤

한미반도체, 6번째 공장 오픈..."내년 매출 1조원 목표"

한미반도체가 고대역폭메모리(HBM)용 TC 본더 장비를 생산하는 6번째 공장을 오픈했다고 19일 밝혔다. 한미반도체는 최근 AI 반도체 열풍에 따른 HBM용 장비 공급 확대에 따라 내년 매출 1조원을 목표로 한다. 한미반도체의 6번째 공장은 인천광역시 서구 주안국가산업단지에 약 2000평 부지의 지상 3층 건물로 구축됐다. 한미반도체는 이번 신공장 오픈으로 기존 인천 본사의 5개 공장과 함께 총 2만2000평 규모의 고대역폭메모리(HBM)용 TC 본더 생산 라인을 포함흐는 총 1조원 규모의 생산 캐파(CAPAㆍ생산능력)를 확보하게 됐다. 곽동신 한미반도체 대표이사 부회장은 "날이 갈수록 커지는 인공지능 반도체용 HBM 시장의 성장에 대비해, 6번째 공장 확충과 함께 200억 원 규모의 핵심부품 가공 생산 설비를 추가로 대량 발주했다"라며 "2025년 초부터는 캐파가 대폭 확장될 계획에 따라 매출 목표를 상향해 올해 5500억원, 2025년 1조원의 매출 목표를 전망하고 있다"고 밝혔다. 이날 한미반도체는 올해 1분기 매출 773억원, 영업이익 287억원의 잠정 실적을 기록했다고 공시했다. 전년 동기 대비 매출은 191.5%, 영업이익은 1283.5% 각각 증가한 실적이다. 증권가에는 한미반도체의 올해 연간 영업이익이 1700억원 이상을 달성할 것으로 내다보고 있다. TC본더는 열·압착을 통해 칩과 웨이퍼를 붙이는 반도체 후공정 장비다. 여러 개의 D램을 수직으로 적층해 TSV(실리콘관통전극)로 연결하는 HBM(고대역폭메모리)를 제조하는 데에도 쓰인다. 한미반도체는 작년 하반기부터 현재까지 SK하이닉스로부터 HBM 필수 공정 장비인 '듀얼 TC 본더 그리핀'으로 2천억원이 넘는 수주를 기록한 바 있다. 최근에는 미국 마이크론을 신규 고객사로 확보해 226억원 규모의 '듀얼 TC 본더 타이거' 장비 수주를 받았다. 해당 장비는 마이크론에 맞춰 최신 기술을 적용한 신규 TC본더 모델이다. 또 지난 15일에는 'HBM6 SIDE 인스펙션' 신제품 장비를 출시하며 고객사의 차세대 HBM 생산 지원을 위한 준비를 마쳤다. HBM6 SIDE 인스펙션은 듀얼 TC 본더와 함께 향후 매출에 크게 기여하는 주력 장비가 될 것으로 기대된다. 최근 시장조사기관 트렌드포스에 따르면 엔비디아, AMD 외에 마이크로소프트, 구글, AWS, 메타 등 글로벌 빅테크 기업들이 자체 AI 반도체 개발에 나서면서 HBM 시장 규모는 지난해 20억4186만달러(약 2조7600억원)에서 2028년 63억 2150만달러(약 8조5500억원)로 성장할 것으로 전망된다. 1980년 설립된 한미반도체는 글로벌 반도체 장비시장에서 44년의 업력과 노하우를 바탕으로 최근 10년 동안 매출액 대비 수출 비중이 평균 77%가 넘으며 전 세계 약 320개 고객사를 보유한 글로벌 기업이다. 2002년 지적재산부 창설 후 현재 10여 명의 전문인력으로 구성된 전담부서를 통해 현재까지 총 111건의 특허 포함해 120여건에 달하는 인공지능 반도체용 HBM 장비 특허를 출원하며 전 세계적으로 독보적인 기술력을 보유하고 있다.

2024.04.19 11:00이나리

SEMI "작년 中 반도체 장비 투자액 전년比 29% 증가"

국제반도체장비재료협회(SEMI)는 최신 '반도체 장비시장통계 보고서(WWSEMS)'를 통해 중국의 지난해 반도체 장비 투자액이 전년 대비 29% 증가한 366억 달러를 기록했다고 16일 밝혔다. 지난해 세계 반도체 장비 지출액은 역대 최고치인 2022년(1천76억 달러) 대비 1.3% 감소한 1천63억달러로 집계됐다. 지난해 최대 반도체 장비 지출 국가인 중국, 한국, 대만은 전체 지출액 중 72%를 차지했다. 그 중에서도 중국이 가장 큰 규모인 것으로 나타났다. 중국의 지난해 반도체 장비 투자액은 전년 대비 29% 증가한 366억 달러에 도달했다. 두 번째로 큰 장비 시장인 한국의 투자액은 수요 약세와 메모리 시장의 재고 조정으로 인해 7% 감소한 199억 달러로 나타났다. 4년 연속 성장세였던 대만은 27% 하락한 196억 달러를 기록했다. 북미 반도체 장비 투자액은 미국 칩스법의 영향으로 15% 증가했으며, 유럽은 3% 증가했다. 일본과 기타 지역에 대한 반도체 장비 지출액은 전년 동기 대비 각각 5%, 29% 감소했다. 아짓 마노차 SEMI 최고경영자(CEO)는 "작년 글로벌 장비 매출이 약간의 하락이 있었음에도 불구하고, 반도체 산업은 주요 지역들 내 성장을 촉진하는 전략적 투자로 인해 강세를 유지할 것"이라며 "특히 지난해는 대부분의 산업 관계자들이 예상한 것보다 양호한 것으로 나타났다"고 밝혔다. 부문별로 보면 2023년 웨이퍼 장비의 지출액은 1% 성장한 한편, 기타 전공정 부문 지출액은 10% 증가했다. 지난 2022년 약세였던 패키징 및 어셈블리 장비 지출액은 지난해 30% 하락했으며, 테스트 장비 지출액 또한 17% 감소했다. 이번 발표에 인용된 SEMI의 반도체 장비시장통계 보고서는 전 세계 반도체 장비 산업의 월별 매출액을 요약한 리포트로 웨이퍼 가공, 조립 및 패키징, 테스트 및 기타 전공정 분야(마스크/레티클 제조, 웨이퍼 제조, 팹 설비 장비)를 포함한다. 리포트와 관련한 자세한 내용은 SEMI 홈페이지에서 확인할 수 있다.

2024.04.16 14:29장경윤

제우스, 첨단 패키징 보폭 확장…식각 등 신장비도 개발 '순항'

지디넷코리아가 한국경제의 든든한 버티목인 소·부·장(소재·부품·장비), 반도체·디스플레이, 배터리 등 핵심 기반 산업을 이끄는 [소부장반디배] 기업 탐방 시리즈를 새롭게 시작합니다. 유망 기업들의 정확하고 깊이 있는 정보를 전달해 드리겠습니다. [편집자주] 국내 반도체·디스플레이 장비 업체 제우스가 '첨단 패키징(Advanced Packaging)' 공정에서 새로운 기회를 잡았다. 주력 제품인 매엽식(싱글) 세정장비가 기존 전공정의 영역을 넘어, HBM(고대역폭메모리)용 TSV(실리콘관통전극) 공정에도 활용되기 시작한 것이다. 나아가 제우스는 회사의 신성장동력 확보에도 적극 나서고 있다. 세정장비의 뒤를 이을 신규 제품으로 고온·고식각율 식각장비(PEP), 임시본딩·디본딩장비(TBDB) 등 상용화를 준비 중이다. 최근 제우스 화성사업장(본사)에서 기자와 만난 정광일 반도체연구소 담당은 "반도체 후공정 기술이 급격히 발전하면서 장비업체 관점에서도 전에 없던 새로운 시장이 창출되고 있다"며 "신장비들도 일부 고객사 및 공정에 검증을 진행하는 등 많은 진척을 이뤘다"고 설명했다. 지난 1970년 설립된 제우스는 반도체·디스플레이용 습식(Wet) 세정장비를 주력으로 개발해 왔다. 세정장비는 통해 제조 공정에서 발생하는 각종 이물질을 제거하는 역할을 담당한다. 제우스는 본사를 통해 싱글 세정장비를, 일본 자회사 'J.E.T(제이이티)'를 통해 배치 세정장비를 모두 다루고 있다. 싱글형은 웨이퍼를 한 장씩 처리하는 대신 세정력이 뛰어나다. 배치형은 한 번에 20~50장의 웨이퍼를 처리할 수 있어 생산성이 높다. 지난해 업황 부진으로 연 매출(4028억원)이 전년 대비 20.9% 줄어들었으나, 올해에는 반도체 분야를 중심으로 뚜렷한 매출 성장세가 예상된다. 최근까지 첨단 패키징용 세정장비에 대한 수주가 활발한 것으로 알려졌다. 주요 고객사인 삼성전자, SK하이닉스가 앞다퉈 HBM 생산능력 확대에 나선 데 따른 효과다. HBM은 수직으로 적층된 D램에 TSV로 미세한 구멍을 뚫어 연결하는 과정을 거친다. 이 공정은 일반적인 패키징보다 오염도에 민감하기 때문에, 기존 전공정에서 쓰이던 싱글형 세정장비를 도입해야 한다. 제우스는 '새턴', '아톰'이라는 모델명으로 해당 장비를 공급하고 있다. 정광일 담당은 "TSV 공정에서는 웨이퍼에 링프레임을 씌우기 때문에 400mm 웨이퍼용 장비가 쓰인다"며 "제우스는 400mm용 세정장비에서 국내 시장을 선도하고 있고, 일본·독일 등 주요 경쟁사와도 견줄만 하다"고 밝혔다. 제우스는 이에 그치지 않고 기존 제품의 경쟁력 강화, 신공정 분야 진출 등을 추진하고 있다. 전공정에서는 기존 8챔버 대비 더 많은 생산성을 갖춘 12챔버(이온-12) 장비를 개발했다. 현재 양산 적용 및 적용 분야 확대를 추진하고 있다. 차세대 전공정 시장을 겨냥한 고온·고식각율 식각장비 PEP도 현재 국내 주요 메모리사의 D램·낸드 공정에서 퀄(품질) 테스트를 거치고 있다. 식각 공정은 반도체 웨이퍼에 회로를 새긴 뒤 필요없는 물질을 제거하는 공정이다. 첨단 패키징 영역에서는 임시본딩·디본딩장비(TBDB)를 개발하고 있다. 임시본딩·디본딩이란 특정 공정을 처리하기 위해 칩을 임의로 고정시켰다 떼어내는 공정이다. HBM에서는 적층되는 각 D램의 표면을 얇게 갈아내는 데 쓰인다. 고객사 다변화를 위한 시장 개척은 북미·유럽을 중심으로 전개하고 있다. 앞서 제우스는 지난해 말 미국 반도체 첨단장비 공급업체 YES(예스)사와 전략적 파트너십을 체결한 바 있다. 정광일 담당은 "YES사와의 협업은 북미와 유럽 마케팅을 강화하기 위한 전략"이라며 "잠재 고객사들이 주력 제품인 전공정 세정장비와 패키징 장비에 대한 관심이 많은 상황"이라고 밝혔다. 제우스는 반도체 장비시장의 후발주자에 해당한다. 그럼에도 최근 첨단 반도체 공정에서 두각을 나타낼 수 있었던 배경으로, 회사는 풍부한 R&D 인프라와 소프트웨어 역량을 꼽는다. 정광일 담당은 "제우스는 순수 R&D 인력만 전체 인력의 약 20%에 해당하는 130여명으로, 세계적으로 봐도 손색이 없을 만한 장비 평가용 테스트베드를 운영하고 있다"며 "또한 반도체 장비에 AI를 접목해 공정 오류를 사전에 예방하는 등의 소프트웨어 개발도 진행 중"이라고 설명했다.

2024.04.15 16:01장경윤

한미반도체, 'HBM6 사이드 검사 장비' 출시

한미반도체가 인공지능 반도체용 HBM(고대역폭메모리) 필수 공정 장비인 'HBM6 SIDE 인스펙션' 을 출시했다고 15일 밝혔다. 한미반도체가 처음으로 선보이는 HBM6 SIDE 인스펙션 장비는 실리콘관통전극(TSV) 공법으로 적층된 반도체 칩(Die) 6면을 비전 검사를 통해 불량률을 최소화하는 장비다. 곽동신 한미반도체 부회장은 "이번 신규 장비는 HBM 수율(Yield) 향상을 위해 생산성과 검사 정밀도가 크게 향상된 점이 특징"이라며 "반도체 D램 칩을 수직으로 적층하는 한미반도체 듀얼 TC 본더와 함께 향후 매출에 크게 기여하는 주력 장비가 될 것으로 기대하고 있다"고 말했다. 한미반도체는 2002년 지적재산부를 창설한 후 현재 10여명의 전문인력으로 구성된 전담부서를 통해 지적재산권 보호와 강화에 주력하고 있다. 그 결과 지금까지 총 111건의 특허 포함 120여건에 달하는 HBM 장비 특허를 출원했다. 한미반도체는 작년 하반기부터 현재까지 SK하이닉스로부터 HBM 필수 공정 장비인 '듀얼 TC 본더 그리핀'으로 2천억원이 넘는 수주를 기록한 바 있다. 최근에는 미국 마이크론으로부터 226억원 규모의 '듀얼 TC 본더 타이거' 장비 수주를 받았다.

2024.04.15 08:57이나리

[단독] HBM 투자 나선 美 마이크론, 韓 장비업계 찾아와 '러브콜'

미국 마이크론이 지난달 국내 복수의 반도체 장비기업들을 만나 협업을 논의한 것으로 확인됐다. 현재 마이크론은 미국 등에서 설비투자를 진행 중으로, 국내 신규 공급망 확보와 협력 강화에 적극 나서고 있다. 실례로 한미반도체는 마이크론으로부터 약 226억원 규모의 HBM(고대역폭메모리) 제조용 '듀얼 TC본더 타이거'를 첫 수주했다고 11일 공시한 바 있다. 향후 마이크론과 국내 장비업체 간 장비 수주가 더 확대될지 기대되는 상황이다. 12일 업계에 따르면 마이크론 임원진은 지난달 방한해 국내 반도체 장비업체들과 접촉했다. 이번 방문단은 부사장급 임원을 비롯한 마이크론 주요 관계자들로 구성됐다. 이들은 국내 반도체 장비 기업들을 찾아 협업 및 공급망 구축에 대해 논의했으며, 기존 거래 관계가 없던 기업들도 최소 2~3곳 포함된 것으로 파악됐다. 반도체 장비업계 관계자는 "마이크론이 지난달 말 국내 장비업계를 찾아 공장을 구경하는 등 적극적인 움직임을 보였다"며 "메모리 제조와 관련해 인프라부터 제조공정까지 다양한 분야에 관심을 둔 것으로 안다"고 설명했다. 마이크론은 미국의 주요 메모리 제조업체다. 전 세계 D램 시장에서 삼성전자, SK하이닉스에 이어 점유율 3위를 차지하고 있다. 또한 여러 개의 D램을 수직으로 적층한 HBM를 양산할 수 있는 3개 기업 중 한 곳이기도 하다. 현재 마이크론은 본사를 둔 미국을 비롯해 일본, 대만, 싱가포르 등 아시아 지역에도 생산거점을 두고 있다. 올해에는 설비투자(CAPEX)에 약 80억 달러(10조9천435억원)를 투자할 계획으로, 주로 HBM3E(5세대 고대역폭메모리) 생산능력 확대에 집중하고 있다. 미국 뉴욕주에 건설할 예정인 신규 메모리반도체 제조공장도 국내 장비기업들과 협력과 성장을 촉진할 수 있는 기대 요소다. 현재 협력사들과 장비 납품 계획을 논의 중인 것으로 알려졌다. 앞서 마이크론은 2030년까지 총 200억 달러를 투입해, 뉴욕에 대규모 생산 거점을 마련하기로 했다. 업계 또 다른 관계자는 "최근 마이크론이 뉴욕 신규 팹 구축에 어느 정도로 대응이 가능한 지 문의한 상황"이라며 "마이크론이 미국 설비투자를 본격화하고 있어, 협력사들도 수혜를 볼 수 있을 것"이라고 밝혔다.

2024.04.12 15:07장경윤

원제형 TEL코리아 대표 가천대 특강...산학협력 행보 지속

반도체 제조장비 기업 도쿄일렉트론(TEL)코리아는 지난 11일 경기도 성남시에 위치한 가천대 반도체대학에서 원제형 대표이사가 특별강연을 가졌다고 12일 밝혔다. 원제형 대표이사는 일본 오사카대학 전기공학과에서 반도체 물성연구로 박사학위를 받은 뒤 반도체 업계의 여러 직위를 거쳐 2017년 7월부터 도쿄일렉트론코리아 대표이사로 재직하고 있다. 이번 강연회는 가천대 학생 300여명을 대상으로 진행됐으며, 반도체 시장의 동향과 향후 전망, 각 공정별 최신 반도체 기술 동향, 도쿄일렉트론의 소개 등으로 구성됐다. 이번 강연은 도쿄일렉트론코리아가 국내 여러 대학들과 진행 중인 산학협력 사업의 일환으로 준비됐다. 반도체를 전공하는 학생들의 시야를 넓히고 반도체 산업에 대한 이해를 깊게 하려는 목적에서 이뤄졌다. 원제형 대표이사는 최근 화제가 되고 있는 HBM(고대역폭메모리)를 비롯해 극저온 식각 기술, 초임계 건조 기술 등에 대해 상세히 소개하며 향후 반도체 기술의 로드맵과 발전 전망을 제시했다. 또한 도쿄일렉트론코리아의 R&D 현황과 올해 정기 채용 계획에 대해서도 소개했다. 한편 도쿄일렉트론코리아는 지난해 부산대에 전공서적 200권을 기부한 데 이어 반도체 전공 트랙 사업을 통해 현장 실습 지원, 세미나 개최 등 긴밀하게 산학협력을 진행하고 있다. 지난해 1월에는 원제형 대표이사가 부산대 특임교수로 강연을 실시하기도 했다. 제주대와도 지난 2022년 10월 반도체 전문 인력 양성 및 산학협력 교류를 위한 업무협약을 체결한 뒤 취업 희망 학생을 대상으로 한 모의 면접, 장학생 선발 등 꾸준히 협력을 이어오고 있다. 또한 명지대와도 최근 반도체 장비개발 전문 인재 양성과 채용 연계 반도체 산학 장학생 발굴 육성 등을 위한 업무협약을 체결하는 등 산학협력 행보를 넓혀가고 있다. 이 같은 산학협력은 교과 과정과 기업 현장 실습의 연계를 통해 반도체 장비 개발 인력을 육성하는 의미도 갖고 있다. 원제형 대표이사는 "앞으로도 국내 여러 대학들과 교류와 협력의 폭을 넓혀가는 한편 반도체 분야의 우수 인재를 육성하는 데에도 지원을 아끼지 않을 계획"이라고 밝혔다.

2024.04.12 10:03장경윤

삼성·SK HBM3E 수율 경쟁에 新장비 개발 '후끈'

삼성전자·SK하이닉스·마이크론 등 주요 메모리 기업들의 HBM3E(5세대 고대역폭메모리) 수율 확보 경쟁이 치열해지고 있다. 이에 따라 국내 반도체 후공정 장비 기업들도 연내 상용화를 목표로 신규 장비 개발에 나섰다. 8일 업계에 따르면 국내 반도체 테스트 장비업체들은 최선단 HBM용 테스터 개발에 주력하고 있다. HBM은 여러 개의 D램을 수직으로 적층해, 데이터 처리 성능을 끌어올린 고부가 메모리다. 올해에는 5세대 제품인 HBM3E가 본격적인 상용화 궤도에 올랐다. 이에 유니테스트는 최근 HBM용 웨이퍼 테스터 개발을 위한 TF(태스크포스)를 구성했다. 주요 메모리 고객사의 요청에 대응하기 위한 행보다. 웨이퍼 테스터는 전공정을 거친 웨이퍼 원판의 성능, 신뢰성 등을 검증하기 위한 후공정 장비다. 유니테스트는 기존 개발이나 성능 검증을 진행해 온 D램용 웨이퍼 테스터를 업그레이드하는 방향으로 HBM용 웨이퍼 테스터를 개발하고 있는 것으로 알려졌다. 상용화 목표 시기는 이르면 올 하반기다. 디아이도 올해부터 고객사의 요청에 따라 HBM3E용 웨이퍼 테스터 개발을 추진하기 시작했다. 신규 장비는 자회사 디지털프론티어를 통해 개발 중으로, 연내 개발을 마무리하는 것을 목표로 하고 있다. 테크윙은 HBM의 프로브 테스트를 위한 테스트 핸들러 장비를 개발해, 복수의 반도체 기업과 테스트를 진행 중이다. 이르면 올 3분기부터 상용화에 나설 예정이다. 프로브 테스트란 웨이퍼 상의 개별 칩의 전기적 특성을 전수조사하는 공정이다. 이처럼 HBM용 테스트 장비의 수요가 발생한 주된 이유는 주요 메모리 기업들의 개발 경쟁에 있다. 현재 상용화된 가장 최신 HBM 제품인 HBM3(4세대 HBM)의 경우 SK하이닉스가 사실상 시장을 독과점해 왔다. 그러나 HBM3E부터는 삼성전자와 마이크론도 앞다퉈 상용화를 준비하고 있어, 제품 신뢰성 및 수율이 매우 중요해질 전망이다. 반도체 업계 관계자는 "그간 HBM 시장에서 테스트는 후순위에 해당했으나, HBM3E부터 메모리 3사의 경쟁 과열로 수요가 증가하는 추세"라며 "기존 후공정 장비 기술을 기반으로 하기 때문에 국내 기업들도 개발 성과에 따라 수혜를 볼 수 있을 것"이라고 밝혔다.

2024.04.08 14:46장경윤

AMAT, 2024 인텔 'EPIC 우수 협력사 어워드' 수상

어플라이드머티어리얼즈(이하 AMAT)가 2024년도 인텔 'EPIC(Excellence, Partnership, Inclusion and Continuous Improvement) 프로그램 우수 협력사 어워드'를 수상했다고 1일 밝혔다. 어플라이드는 탁월함과 파트너십, 포용성, 지속적인 품질 개선에 대한 헌신을 통해 인텔의 기대치를 넘어서는 성과를 거뒀다. 케이반 에스파자니(Keyvan Esfarjani) 인텔 글로벌 최고 운영 책임자는 "인텔의 우수 협력사 어워드를 수상한 27개 협력사 중 하나인 어플라이드는 신뢰도 높은 인텔 공급망의 협력사 중에서도 단연 돋보인다"며 "우수 협력사 어워드 수상 기업은 발전을 위한 끊임없는 노력으로 인텔의 기대치를 지속적으로 뛰어넘는 수준의 높은 성과를 거두고, 인텔 생태계 전반에 걸쳐 기준점을 제시하고 있다"고 말했다. 인텔 EPIC 우수 협력사 어워드는 모든 성과 기준에서 고도의 성과를 이어온 협력사에게 주어진다. 전 세계 수 천 개 인텔 협력사 중 오직 몇 백 개만이 EPIC 협력사 프로그램에 참여할 자격을 갖춘다. 인텔 우수 협력사 어워드는 협력사가 받을 수 있는 두 번째로 높은 어워드로, 2024년에는 인텔 공급망 전체에서 27개 기업만이 수상했다. 인텔 EPIC 우수 협력사 어워드 자격 요건을 갖추기 위해 협력사는 기대치를 초과 충족하고, 공격적 성과 목표 및 80점 이상의 연중 성과 평가 점수를 유지해야 한다. 또한 개선 계획 중 80퍼센트 이상을 달성하고 탁월한 품질과 비즈니스 시스템을 입증해야 한다.

2024.04.01 09:43장경윤

TEL코리아, 대학생 서포터즈 'TELmate 2기' 수료식 진행

세계적 반도체 제조 장비 기업 도쿄일렉트론코리아(TEL코리아)는 대학생 서포터즈 TELmate 2기의 활동 수료식을 진행했다고 25일 밝혔다. TELmate는 도쿄일렉트론의 'TEL'과 친구라는 뜻을 가진 'mate'의 합성어로 'TEL의 친구 같은 존재이자, TEL을 누구보다 잘 아는 이들'이란 뜻을 담았다. 반도체뿐만 아니라 홍보, 콘텐츠, 마케팅 업무에 관심이 많은 대학생으로 구성되어 있으며 다양한 실무 경험 제공을 통한 차기 업계 인재 육성의 취지를 갖는다. 도쿄일렉트론코리아는 자사 전문성 및 선진 기업문화를 대내외적으로 알리기 위해 지난해부터 대학생 서포터즈를 운영하고 있다. 22일 서울 일대에서 진행된 수료식엔 약 2개월간의 활동을 끝마친 TELmate 2기 12인이 자리했다. 행사는 주요 활동 성과 소개를 시작으로 수료증 수여, 우수 활동자 시상, 소감 공유 순으로 진행됐다. TELmate 2기는 각자 이번 프로그램에서 제작한 콘텐츠를 요약해 의견을 공유했고, 운영진과의 질의응답을 통해서 활동 전반을 마무리하는 시간을 가졌다. 올해 1월부터 도쿄일렉트론코리아의 얼굴이 되어 다양한 홍보 활동을 펼쳐온 이번 서포터즈는 ▲사원 멘토와의 1:1 직무 멘토링 ▲주제별 카드뉴스, 영상 등 디지털 콘텐츠 제작 ▲실무에 도입할 수 있는 아이디어 제안서 작성 등 다양한 활동을 펼쳐 왔다. 특히 지난 29일 화성시 동탄사무소에서는 오프라인 프로그램의 일환으로, TELmate가 직접 제작한 1:1 멘토링 브이로그(V-log) 및 도쿄일렉트론코리아의 현재와 미래를 주제로 한 조별 영상을 상영하는 시사회가 열렸다. 이날 행사에는 도쿄일렉트론코리아 츠츠미 히데유키 회장, 원제형 대표이사를 비롯한 주요 임원 및 사원이 관객으로 참여했으며, 대학생들의 개성 넘치는 영상을 함께 감상하며 격려하는 뜻깊은 시간을 가졌다. 최우수 학생으로 선발된 TELmate 2기 정지호 학생은 “다양한 활동을 통해 실무를 체험할 수 있어 뜻깊은 기회였다”며 “이번 활동을 통해 사원 및 서포터즈 동기들과 교류하며 다양한 생각과 고민을 공유할 수 있었다”고 밝혔다. 도쿄일렉트론코리아 관계자는 “도쿄일렉트론코리아의 엠버서더로서 사명감을 갖고 활동해 준 TELmate 2기에 감사하다”며 “다음에도 서포터즈 프로그램 운영을 통해 더욱 다양한 활동을 펼칠 예정이니 많은 관심을 부탁드린다”고 말했다.

2024.03.25 11:24장경윤

삼성 자회사 세메스, 반도체 후공정 '프로버설비' 4000호기 출하 달성

삼성전자의 반도체·디스플레이 장비 전문 자회사 세메스가 반도체 후공정용 '차세대 프로버설비' 4000대를 출하하며 품질을 인정 받았다. 세미스는 지난 18일 천안 본사에서 정태경 대표를 비롯한 회사 관계자 및 협력사 대표 등이 참석한 가운데 반도체 후공정 차세대 프로버설비 4000호기 출하 기념식을 가졌다고 19일 밝혔다. 프로브 스테이션(Probe Station)은 반도체 웨이퍼의 전기적 특성 검사를 위해 테스터와 결합되는 설비다. 세메스는 해당 장비를 2003년 개발 이래 20년만에 4000호기 출하를 달성한 것이다. 이 설비는 2018년 세계 3대 디자인상으로 꼽히는 레드닷 산업디자인 컨셉 부문 최우수상인 베스트 오브 베스트 상을 받은 바 있다. 또 프로브 스테이션 설비는 지난 20년간 성능 또한 업그레이드하며 발전돼 왔다. 정태경 세메스 대표는 “4000호기 출하는 설비의 품질과 신뢰성을 인정받은 결과"라며 "꾸준한 기술개발과 영업망 확대로 매출성장을 이루겠다"고 말했다. 세메스는 삼성전자의 자회사로, 반도체 및 디스플레이 장비를 전문으로 개발하고 있다. 반도체 분야에서는 식각·포토·세정 등 전공정 관련 장비 소터, 본더 등 후공정 장비를 두루 개발해 왔다.

2024.03.19 11:28이나리

"삼성·SK, 美 반발 우려로 반도체 중고장비 판매 중단"

국내 주요 반도체 기업 삼성전자와 SK하이닉스가 미국의 대중(對中) 반도체 수출 규제를 고려해 중고 반도체 제조장비 판매를 중단했다고 영국 파이낸셜타임즈가 12일 보도했다. 파이낸셜타임즈는 업계 관계자들의 말을 이용해 "한국 반도체 기업들이 중고장비를 시장에 내놓는 대신 창고에 보관해 왔다"며 "장비가 제3자의 손에 들어가게 돼 미국 정부와의 관계에 문제가 생길 수 있다는 우려가 있다"고 밝혔다. 미국 정부는 지난 2022년 10월부터 자국 기업이 중국에 반도체 장비를 수출할 경우 별도의 허가를 받도록 하는 규제안을 발표한 바 있다. 해당 규제로 인해 중국은 14nm 이하의 시스템반도체, 18nm 이하 D램, 128단 이상 낸드플래시 등에 대한 투자가 사실상 불가능해졌다. 다만 삼성전자, SK하이닉스가 공정을 전환하면서 발생하는 중고 장비의 경우, 중국으로 유입될 가능성이 상대적으로 높은 것으로 관측된다. 파이낸셜타임즈는 "통상 이들 기업의 중고 장비는 패키지 형태로 경매에 올라가고, 가장 큰 수요는 중국 가전제품, 차량용 칩 제조업체에서 나온다"며 "그러나 노광장비 등은 10년 된 중고 제품이라도 수리를 통해 고급 반도체 제조에 활용될 수 있다"고 설명했다. 삼성전자, SK하이닉스는 파이낸셜타임즈에 이와 관련한 별도의 언급을 거부했다. 다만 파이낸셜타임즈는 관계자를 인용해 "한국 기업의 중고 장비 비중은 미국의 대중 수출 규제 및 러시아 제재와 관련이 있다"고 강조했다.

2024.03.12 14:04장경윤

AMAT코리아, 4년 연속 '우리 하천 지킴이 활동' 지원

어플라이드머티어리얼즈코리아(이하 AMAT코리아)는 환경실천연합회와 업무협약(MOU)을 맺고 '우리 하천 지킴이 활동'을 4년 연속 후원, 지역사회 내 긍정적 영향력을 전파하겠다고 5일 밝혔다. 2024년 우리 하천 지킴이 활동은 기존 진행해온 경기 남부지역 5개 국가 하천(황구지천, 오산천 등)에 공릉천, 중랑천, 용암천, 문산천, 왕숙천 등 경기 북부지역 5개 하천까지 확대돼 총 10개 하천을 대상으로 운영된다. 대면∙비대면 활동으로 수질을 개선하고 건강한 하천 생태계 조성에 앞장설 계획이다. 대면 활동은 EM(유용한 미생물군) 흙공의 수질 정화 효과에 대한 교육을 받은 후 직접 EM 흙공을 만들어 인근 하천에 투척하는 방식으로 진행된다. 또한 꽃창포, 부들 등 수질정화식물을 심고 환삼덩쿨, 가시박 같은 생태계 교란 식물 퇴치 활동을 진행한다. 비대면 활동은 온라인 이론 교육, 수질 측정 및 개선을 위한 EM 흙공 던지기 등의 실천 교육으로 구성된다. 온라인 이론 교육을 통해 시민들은 하천이 마실 수 있는 물로 정화되는 과정과 경기지역 하천 생태계에 대해 배운다. 또한 수질 측정 방법과 EM 흙공 만드는 법 교육 영상 시청 후 직접 인근 하천 수질을 측정하고 개선하는 활동을 실천한다. AMAT코리아 임직원은 올해 분당, 이천, 화성, 평택 등에서 대면 활동에 참여해 EM 흙공을 직접 만들어 투척하고 수질정화식물을 심는다. 지난해 약 200여명의 어플라이드 코리아 임직원과 대학생 서포터즈 '리얼즈'가 대면 활동에 참여해 3,500평 하천 주위 1.2톤 가량의 교란식물을 퇴치하고 EM흙공 제작 및 투척하는 등 지역사회의 환경 보호를 지원했다. 박광선 AMAT코리아 대표는 “올해 우리 하천 지킴이 활동은 경기 북부지역으로 범위가 확대돼 경기 전역에 걸쳐 국가 하천 수질이 개선될 것으로 기대된다”며 “시민과 학생을 비롯해 임직원, 파트너사와 함께 생태계 보호 활동을 펼침으로써 지역사회와 업계에서 어플라이드의 선한 영향력이 확대될 것”이라고 말했다. 이경율 환경실천연합회 회장은 "우리 하천 지킴이 프로그램을 통해 지난 4년 간 집중 관리한 구간의 하천 수질이 1~3등급으로 나타났다”며 “해를 거듭할수록 청소년과 시민의 참여가 증가하고 있다. 올해는 EM흙공 정화 활동 외에도 수중정화식물 식재, 생태계 교란종 퇴치 활동을 대대적으로 전개해 하천의 건강한 생태계 조성에 일조할 것”이라고 밝혔다. 또한 "지역사회 환경보호를 위한 어플라이드 머티어리얼즈의 지속적인 사회공헌활동에 박수를 보낸다"고 덧붙였다. 우리 하천 지킴이 활동에 지금까지 1만여 명이 참여하고 EM 흙공 24만 개가 하천에 투척됐다. 그 결과 오산천, 아라천, 굴포천의 수질이 좋아지고 특히 굴포천은 2022년 6등급에서 2023년 4등급까지 수질이 개선됐다. 활동 참여를 희망하는 개인 및 단체는 우리 하천 지킴이 공식 홈페이지에서 신청할 수 있다. AMAT코리아는 '위드하모니 오케스트라', '우리 하천 지킴이', '과학 교실 프로그램' 등 다양한 사회공헌활동을 지원하고 있다. 대학생 서포터즈 프로그램 '리얼즈'를 통해서는 반도체 업계 진출을 꿈꾸는 청년들에게 어플라이드를 경험할 수 있는 다양한 기회를 제공 중이다.

2024.03.05 09:30장경윤

올해 디스플레이 장비 시장 성장세 전망

■반도체 장비시장 소폭 반등 예상 ○…한국기계연구원(원장 류석현)은 올해 국내 기계산업이 지정학적 리스크, 고금리 등의 부정적인 요소와 대규모 인프라 투자 등으로 인한 기회요인이 병존하면서 생산과 수출 측면에서 보합세를 보일 것으로 전망했다. 이 내용은 기계연이 지난 2월 발간한 기계기술정책 제115호 '기계산업 2023년 성과와 2024년 전망'에 담겼다. 업종별로는 반도체 장비의 경우는 반도체 시장의 수급 조절과 지난해 기저 효과를 바탕으로 올해 생산과 수출이 소폭 반등할 것으로 전망했다. 디스플레이 장비 분야는 2023년 대중국 수출이 30.1% 줄어 전체 수출이 27.6% 감소했다. IT 제품 등 전방산업의 수요 감소가 반영된 것으로 분석됐다. 다만, 주요 글로벌 업체의 OLED 투자 확대로 올해에는 지난해 대비 성장할 것으로 내다봤다. 플랜트 분야에서는 중동지역 대형 석유화학 프로젝트가 추진되면서 전년 대비 수주액이 23.8% 증가하는 등 올해 호황이 지속될 것으로 내다봤다. 또 공작기계 분야는 멕시코, 중동 등 신흥시장 수출 확대로 지난해 수준을 유지할 것으로 전망했다. ■생명연, 합성 미생물 생태계 플랫폼 개발 ○…한국생명공학연구원은 미국 일리노이 대학과 공동으로 합성생물학 생태계를 이용해 기존대비 2배이상 바이오 연료를 생산할 수 있는 기술을 개발했다. 이 연구는 합성생물학연구센터 신종혁 박사와 미국 일리노이 대학교 어바나-샴페인 캠퍼스(UIUC) 진용수, 팅루(Ting Lu) 교수팀이 공동으로 진행했다. 연구진은 또 합성 미생물 생태계 내 균주 간 역할 분담을 최적화하는 방법으로 원하는 기능을 수행할 수 있는 합성 미생물 생태계 플랫폼도 구축했다. 생명연 신종혁 박사는 “기존의 미생물 생태계는 균주 간 역할 분담 조절의 어려움으로 인하여 산업적으로 응용되기 어려웠다”며, “바이오매스로부터 단일 균주로는 생산이 어려운 고부가 화합물을 만들어내는 혁신 플랫폼이 될 것”으로 기대했다. ■KAIST 초세대 협업연구실 3곳 개소 ○…KAIST(총장 이광형)가 '초세대 협업연구실' 3곳을 개소했다. 최근 개소한 협업연구실은 ▲권인소 전기및전자공학부 교수의 '비전중심 범용인공지능 연구실' ▲ 김천곤 항공우주공학과 교수의 '우주·극한 환경 재료 및 차세대 공정 연구실' ▲변재형 수리과학과 교수의 '편미분방정식 통합 연구실' 등이다. 초세대 협업연구실은 은퇴를 앞둔 교수가 오랜 시간 축적해 온 학문 성과와 노하우를 후배 교수와 협업하며 이어가는 KAIST의 독자적인 연구제도다. 2018년 도입한 이후 지난해 말까지 7개 연구실을 운영 중이다. 권인소, 김천곤 책임교수는 65세 은퇴 후 70세까지 강의와 연구 논문 지도를 이어가는 정년 후 교수 신분으로 이번에 초세대 협업연구실을 개소했다. ■KERI, 태국전력청에 전력기기 시험소 설비 구축 지원 ○…국제공인 전력기기 시험인증기관인 한국전기연구원(KERI)이 태국전력청(EGAT, Electricity Generating Authority of Thailand)이 추진하는 대형 시험소 설비 구축을 지원하기 위한 상호협력 양해각서(MOU)를 최근 교환했다. EGAT는 태국 전력 사용량의 33%를 생산, 공급하는 국영 전력회사다. 연 매출 30조 원, 직원 수는 1만 6천명이다. KERI는 앞으로 태국 내 고전압·대전력 시험설비를 개선하거나 구축하는 다양한 엔지니어링 사업에 참여할 계획이다. 또 시험소 관련 구매발주부터 유지보수까지 전공정에 관한 직원 교육을 2분기부터 실시하는 계약도 추진한다.

2024.02.28 14:12박희범

美 AMAT, 1분기 매출 67.1억 달러…예상치 상회

미국 반도체 장비기업 어플라이드머티어리얼즈(AMAT)는 지난달 28일 마감한 회계연도 2024년 1분기 실적 발표를 통해 글로벌 매출은 미국 회계기준으로 67억1천만 달러, 매출총이익률 47.8%를 기록했다고 밝혔다. 매출은 전년동기와 비슷한 수준이나, 증권가 컨센서스인 64억8천만 달러를 상회했다. 영업이익과 영업이익률은 각각 19억7천만 달러와 29.3%였으며, 주당순이익(EPS)은 2.41달러를 기록했다. 비일반회계기준(Non-GAAP)으로는 ▲매출총이익률 47.9% ▲영업이익 19억8천만 달러 ▲영업이익률 29.5% ▲주당순이익 2.13달러를 기록했다. 어플라이드 머티어리얼즈는 영업활동으로부터 23억3천만 달러 현금을 확보했으며, 7억 달러의 자사주 매입과 2억6천600만 달러의 배당금을 포함해 총 9억6천600만 달러를 주주에게 환원했다. 게리 디커슨 어플라이드머티어리얼즈 회장 겸 CEO는 "어플라이드는 회계연도 2024 년 1분기 견고한 실적과 함께 5년 연속 업계 평균보다 높은 성과를 달성했다”며 “주요 반도체 분야에서 선도적 위치를 점한 어플라이드는 고객이 향후 몇 년 동안 AI와 사물인터넷(IoT)에 중요한 차세대 칩 기술을 강화하고 지속적인 성과를 낼 수 있도록 지원할 것”이라고 밝혔다. 어플라이드머티어리얼즈는 2분기 실적에 대해서도 긍정적인 전망을 드러냈다. 회사가 제시한 해당 분기 매출 예상치는 61억~69억 달러로, 평균치는 65억 달러다. 이는 증권가 컨센서스인 59억2천만 달러를 크게 앞서는 수치다.

2024.02.16 14:37장경윤

ASML "美 수출 규제-지정학적 긴장, 여전한 위험요인"

네덜란드 반도체 장비기업 ASML이 미국의 대중 수출규제, 지정학적 긴장 등을 여전히 위험 요소로 보고 있다고 로이터통신이 14일(현지시간) 보도했다. ASML은 최근 발간된 2023년 연례 보고서에서 "네덜란드 정부의 동의를 받아 미국이 부과하는 수출 규제 사항이 점차 늘어나고 있다"고 밝혔다. ASML은 반도체 웨이퍼에 회로를 새기는 노광 공정에 필요한 장비를 전문으로 생산하는 기업이다. 업계에 가장 보편적으로 쓰이는 DUV(심자외선) 장비는 물론, 7나노미터(nm) 이하 최선단 공정에 쓰이는 EUV 장비도 다수 출시했다. 현재 전 세계에서 EUV 장비 양산이 가능한 기업은 ASML이 유일하다. 현재 미국은 ASML의 장비가 중국의 반도체 공급망 자립화에 활용되는 것을 막고자, 네덜란드 정부와 협력해 수출 규제를 시행 중이다. 지난 2019년에는 EUV 장비의 수출을 금지했으며, 지난해 3월에는 EUV 보다 한 단계 아래인 고성능 DUV(이머전 DUV) 장비에 대해서도 수출 규제를 적용하기로 했다. 이에 중국 기업들이 수출 규제가 시작되기 전인 지난해 말까지 ASML의 장비를 급하게 사들이는 '사재기' 현상이 일어나기도 했다. 실제로 ASML의 지난해 전체 매출에서 중국이 차지하는 비중은 26.3%로, 한국(25.2%)를 제치고 2위에 올라섰다. 1위는 여전히 대만(29.3%)이 차지했다. 또한 ASML은 일본 캐논, 니콘 등을 DUV 분야의 주요 경쟁사로 지목했다. 캐논, 니콘은 일본의 주요 광학 기술 보유업체로, ASML과 기술적 연관성이 높다. 또한 중국 등 공급망 자립화에 수혜를 받는 반도체 장비기업들도 간접적으로 언급했다. ASML은 "상당한 재정 자원을 갖춘 새로운 경쟁자뿐만 아니라, 지정학적 맥락에서 자급자족을 이뤄내려는 경쟁자들과도 직면해 있다"고 밝혔다.

2024.02.15 09:33장경윤

韓 유진테크-日 코쿠사이 특허소송 쟁점은... '배치 ALD' 장비

일본 코쿠사이엘렉트릭이 국내 경쟁사 유진테크에 제기한 특허 소송에 업계의 이목이 쏠리고 있다. 이번 코쿠사이가 침해를 주장한 장비는 원자층증착(ALD) 장비로, 유진테크가 사업 영역을 적극 확장하고 있는 분야로 알려졌다. 14일 업계에 따르면 유진테크·코쿠사이 양사는 ALD 배치 장비와 관련해 특허 소송을 진행할 예정이다. 앞서 일본 반도체 장비기업 코쿠사이는 지난 5일 국내 경쟁사인 유진테크를 상대로 특허 침해소송을 제기했다. 당시 코쿠사이는 "기판처리장치 등에 관한 4건의 코쿠사이엘렉트릭 그룹 특허기술이 포함됐다"며 "소송 전에 지적재산권 침해 행위를 유진테크에게 알리고 원만하게 해결하려고 했으나, 여의치 않아 소송을 제기하게 됐다"고 주장했다. 이에 유진테크는 즉각 "경쟁 업체의 제소 근거가 무엇인지 아직 법원으로부터 소장을 송달받지 못해 파악하지 못했다"며 "법률기관으로부터 정확한 제소 근거 등에 대한 공문이 접수되는 즉시 해당 분야 전문가 대리인을 선임해 적극 대응할 예정"이라고 밝혔다. 업계에 따르면, 코쿠사이가 침해 행위를 제기한 특허는 한국 등록 기준 제101037961호, 제101969277호, 제102149644호, 제102472052호 등 4건이다. 특허 4건 모두 기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법과 관련돼 있다. 반도체 증착 공정에서 사용되는 가스 공급 및 처리 방식이 주 골자다. 코쿠사이는 유진테크의 장비 중 'Harrier-L' 및 'Harrier-M'를 대표적인 특허 침해 제품으로 제시했다. 두 장비 모두 배치 ALD 장비에 해당한다. Harrier-L은 대량 제조에 특화된 장비며, Harrier-M은 증착 성능을 높인 미니 배치 ALD 장비다. ALD는 원자층을 한층씩 쌓아올려 박막을 형성하는 기술이다. 기존 증착 방식인 PVD(물리기상증착), CVD(화학기상증착) 대비 막을 더 얇게 만들 수 있어 선단 공정을 중심으로 수요가 늘어나고 있다. 동시에 ALD는 기존 방식 대비 생산성이 낮다는 단점이 있으나, 배치형 시스템으로 이러한 문제를 상쇄할 수 있다. 배치형은 50~150의 웨이퍼를 한 번에 처리하는 기술이다. 한 번에 웨이퍼를 1장씩 처리하는 싱글형보다 생산성이 높다. 업계에서는 ALD 배치 장비가 유진테크의 신성장동력인 만큼, 향후 회사가 적극적인 대응에 나설 것으로 내다보고 있다. 기존 CVD 및 플라즈마 분야에 주력해 온 유진테크는 지난 2021년 ALD 장비를 상용화하는 데 성공했다. 당시 삼성전자 메모리 공정에 ALD 장비를 대부분 공급하던 코쿠사이의 시장 점유율을 일부 흡수한 바 있다. 또한 최근에는 최선단 D램용 메탈 ALD 장비, 파운드리용 미니 배치 ALD 장비 등 사업 영역 확장을 추진해 왔다. 반도체 업계 관계자는 "유진테크가 ALD 시장 진입 당시 특허와 관련된 문제가 생길 수 있다는 판단 하에 많은 검토를 했던 것으로 안다"며 "향후 사업 전략에 큰 변수로 작용할 수 있어 회사에서도 면밀한 대응을 준비할 것"이라고 밝혔다.

2024.02.14 13:35장경윤

AMAT, '우수 공급업체 어워드' 발표…韓 유니셈·SNT모티브 수상

미국 주요 반도체 장비기업 어플라이드머티어리얼즈(AMAT)는 '우수 공급업체 어워드' 수상자를 발표했다고 7일 밝혔다. 어플라이드 우수 공급업체 어워드는 품질, 서비스, 납기, 배송, 비용, 신속한 대응 등 다양한 부문에서 탁월한 기술력과 운영 성과를 거둔 기업에게 수여된다. 이번 수상에는 공급망 전반에 걸쳐 어플라이드의 지속가능성 비전을 확대하기 위한 10개년 로드맵 'SuCCESS2030(환경 및 사회적 지속가능성 공급망 인증)' 이니셔티브의 일환인 ESG우수 경영 부문도 포함됐다. 지난해 어플라이드의 성과 기대치를 충족 또는 초과 달성한 공로로 우수 공급업체 어워드를 수상한 기업은 총 16곳이다. 한국 기업인 SNT모티브와 유니셈도 명단에 이름을 올렸다. 분야별로는 동종 업계 최우수 성과상에 ▲패러다임 매뉴팩처링 ▲ETLA ▲토칼로 ▲ SNT모티브 ▲인디콘 ▲SMC ▲후지킨 ▲다이헨 ▲미라프로 ▲무그 GAT ▲EDIS 안라겐바우 ▲유니셈이 선정됐다. 또한 애프터마켓 지원 우수상은 폭스오토메이션테크놀로지, ESG 경영 우수상은 브룩스오토메이션US, 혁신 및 신제품 지원 우수상은 폭스세미콘인터그레이티드테크놀로지, 품질 우수상은 이코르홀딩스가 수상했다. 폴 차브라 AMAT 글로벌 공급망 부사장은 "탁월한 성과와 협업, 탄력적이고 확장성이 뛰어난 공급망 구축을 위해 일관된 노력을 보여준 우수 공급업체 수상자에게 축하 인사를 전한다"며 "반도체 산업 성장의 근간인 혁신을 가속화하기 위해서는 공급업체와 긴밀하게 협력하고 높은 신뢰 관계를 유지하는 것이 핵심"이라고 밝혔다.

2024.02.07 09:59장경윤

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