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ASML "2030년 매출 65조~88조원 기대"…AI 수혜 전망

네덜란드 반도체 장비 기업 ASML이 2030년 매출이 440억 유로(약 65조원)에서 600억 유로(약 88조원) 사이가 될 것으로 내다봤다. 지난해에는 276억 유로(약 41조원)의 매출을 거뒀다. 14일(현지시간) 미국 블룸버그통신에 따르면 크리스토프 푸케 ASML 최고경영자(CEO)는 이날 '투자자의 날'을 맞아 “몇 주 전만 해도 내년 실적을 약간 보수적으로 전망했다”면서도 “2030년은 여전히 매우 강세”라고 말했다. ASML은 인공지능(AI) 수요가 늘어 2030년까지 세계 반도체 칩 매출이 1조 달러(약 1천400조원)를 넘을 것으로 기대했다. 세계 반도체 시장이 해마다 9% 성장할 것이라는 얘기다. ASML은 반도체 미세 공정에 쓰는 극자외선(EUV) 노광 장비를 세계에서 유일하게 생산한다. 애플 스마트폰부터 엔비디아 AI 가속기에 이르기까지 모든 것을 구동하는 고급 칩을 생산하는 데 ASML 반도체 장비가 필요하다고 블룸버그는 설명했다. 첨단 AI 칩을 더 많이 생산한다는 것은 반도체 제조 회사에 ASML 첨단 EUV 노광 장비가 더 많이 필요하다는 뜻이라며 ASML 실적은 세계 반도체 수요의 초기 지표이자 광범위한 산업의 풍향계로 불린다고 덧붙였다.

2024.11.15 16:42유혜진

ASML, 3분기 장비 수주액 '반토막'…EUV·中 수요 부진 영향

전 세계 유일의 EUV(극자외선) 노광장비 업체 ASML이 내년 매출 전망치를 당초 대비 크게 하향 조정했다. 주력 사업과 핵심 시장의 수요가 모두 부진하면서, 장비 수주액이 절반 수준으로 줄어든 데 따른 영향으로 풀이된다. ASML은 올 3분기 순매출액 약 75억 유로, 순이익 21억 유로, 매출총이익률 50.8%를 기록했다고 15일 밝혔다. 이번 실적은 당초 증권가 컨센서스를 웃도는 수치다. 분석가들은 ASML의 3분기 매출을 71억2천만 유로로 예상해 왔다. 그러나 ASML의 올 3분기 장비 수주액은 26억3천만 유로로, 당초 예상치였던 53억9천만 유로를 크게 하회했다. 내년 매출 전망치 역시 기존 300억~400억 유로에서 300억~350억 유로로 크게 하향 조정했다. 크리스토퍼 푸케 최고경영자(CEO)는 “AI 분야의 강력한 발전과 상승 잠재력이 계속되고 있으나, 다른 시장 부문의 회복이 더디다"며 "이전에 예상했던 것보다 회복세가 더 완만한 것으로 보인다"고 설명했다. 업계는 ASML의 주력 사업인 EUV 장비 수요 감소 및 중국향 공급 제한이 실적 전망 하향에 영향을 미쳤을 것으로 보고 있다. EUV는 기존 반도체 노광공정에서 활용돼 온 불화아르곤(ArF) 대비 빛의 파장이 짧아, 7나노미터(nm) 이하의 미세 공정 구현에 용이하다. 다만 기술적 난이도가 높아 전 세계에서 ASML만이 유일하게 상용화에 성공했다. 그러나 세계 주요 파운드리 업체들은 업계 1위 TSMC를 제외하면 사업에 난항을 겪고 있다. 선단 메모리 업체들도 EUV를 도입하고 있으나, 이 역시 당초 예상보다 속도가 느리다는 평가를 받는다. 주요 매출처인 중국향 사업 축소도 우려된다. ASML의 2분기 전체 매출에서 중국이 차지하는 비중은 49%에 달한다. 반면 미국 정부는 네덜란드와 협업해 중국향 첨단 반도체 제조장비 수출 금지 조치를 꾸준히 강화하고 있다.

2024.10.16 09:11장경윤

SK하이닉스, '하이-NA' EUV 장비 2026년 첫 도입

SK하이닉스가 최선단 메모리를 위한 하이(High)-NA EUV 기술 개발을 가속화한다. 오는 2026년 ASML로부터 첫 하이-NA EUV 설비를 1대 도입할 예정으로, 현재 관련 연구개발 팀 신설 및 인력 확충에도 만전을 기하고 있는 것으로 알려졌다. 16일 업계에 따르면 SK하이닉스는 오는 2026년 하이-NA EUV 설비를 도입할 예정이다. 지난 12일 열린 '차세대 리소그래피 + 패터닝' 학술대회에 참석한 SK하이닉스 EUV소재기술 담당 임원은 기자와 만나 "하이-NA EUV 설비는 2026년 도입할 예정"이라며 "현재 회사에 하이-NA EUV 개발 인력이 더 많아지고 있다"고 설명했다. EUV는 기존 반도체 노광공정 소재인 ArF(불화아르곤) 대비 빛의 파장이 13분의 1 수준으로 짧아(13.5나노미터), 초미세 공정 구현에 용이한 광원이다. 7나노미터(nm) 이하의 시스템반도체, 1a(4세대 10나노급) D램부터 본격적으로 적용되고 있다. High-NA EUV는 EUV에서 성능을 한 차례 더 끌어 올려 2나노 공정을 타겟으로 한다. NA는 렌즈 수차로, 해당 수치를 높일 수록 해상력이 향상된다. 기존 EUV의 렌즈 수차는 0.33로, High-NA EUV는 0.55로 더 높다. 다만 EUV 노광장비는 기술적 난이도가 매우 높은 기술로, 현재로선 전 세계에서 네덜란드 장비회사인 ASML만이 유일하게 양산 가능하다. 때문에 장비 수급에 여러 제약 사항이 있으며, 장비 가격도 매우 비싸다. 실제로 ASML의 첫 High-NA EUV 장비인 'EXE:5000' 모델은 5천억 원을 호가하는 것으로 알려져 있다. 그럼에도 EXE:5000은 인텔과 TSMC, 삼성전자와 SK하이닉스 등 주요 메모리 기업으로부터 뜨거운 관심을 받고 있다. 해당 설비를 처음 주문한 기업은 인텔로, ASML은 지난해 12월 미국 오리건주에 위치한 인텔 'D1X'에 EXE:5000을 출하한 바 있다. 삼성전자 등도 이르면 내년 High-NA EUV 설비를 도입할 것으로 알려졌다. SK하이닉스도 2026년 설비를 1대 도입해, High-NA EUV에 대한 연구개발을 적극 진행할 예정이다. 설비를 도입하는 팹이나 추가 투자 향방 등 구체적 계획은 밝혀지지 않았으나, 이르면 0a(한 자릿수 나노급 D램)에 양산 적용될 수 있을 것으로 전망된다. 이와 관련, SK하이닉스는 High-NA EUV 기술개발을 위한 팀을 지난해 말 별도로 구성하기도 했다. 기존에도 회사 내 EUV 및 High-NA EUV를 포괄적으로 개발하는 조직이 존재했으나, 이를 세분화해 전문성을 강화하려는 전략으로 풀이된다. 한 SK하이닉스 소속 엔지니어는 "최근 High-NA EUV 팀이 신설돼 여기에 합류해 연구개발을 진행 중"이라며 "최선단 D램에 관련 기술을 적용하는 방안을 꾸준히 검토하고 있다"고 설명했다. 이와 관련해 SK하이닉스 측은 "당사 조직 운영 관련해서는 구체적으로 확인해줄 수 없다"고 밝혔다.

2024.08.16 10:38장경윤

中 반도체 굴기에…핵심부품 '블랭크마스크' 가격 상승 조짐

중국이 레거시(성숙) 반도체에 대한 생산량 확대를 지속 추진하고 있다. 최근 국내 기업으로부터 반도체 제조의 핵심 부품인 '블랭크마스크'를 적극 구입한 것으로 파악됐다. 이에 따라 올 하반기 일부 블랭크마스크 가격이 크게 인상되는 조짐까지 나타나고 있다. 23일 업계에 따르면 국내 블랭크마스크 제조기업 에스앤에스텍은 중국 고객사들로부터 올해 11월까지의 DUV 블랭크마스크 물량 구매주문(PO)을 받았다. 블랭크마스크는 반도체 제조의 핵심 공정인 노광공정에 쓰이는 부품이다. 블랭크마스크에 반도체 회로를 새기면 포토마스크가 되는데, 포토마스크에 빛을 투사해 웨이퍼에 회로를 새길 수 있다. 현재 에스앤에스텍은 국내에서 유일하게 DUV(심자외선) 블랭크마스크를 생산하고 있다. DUV는 ArF(불화아르곤)이라는 광원을 활용하는 노광 기술이다. 단일 패터닝으로는 최소 38나노미터(nm) 공정까지, 멀티 패터닝으로는 7nm까지 구현할 수 있다. 중국은 반도체 생산능력 확장에 따라 블랭크마스크에 대한 수요를 꾸준히 늘리는 추세다. 반도체 관련 협회 SEMI에 따르면, 중국의 반도체 생산능력은 올해 15%·내년 14% 성장해 내년 1천10만 장까지 증가할 것으로 전망된다. 특히 중국은 DUV 공정 활용에 초점을 맞추고 있다. DUV보다 진보된 EUV(극자외선) 기술이 TSMC·삼성전자·인텔 등 주요 반도체 기업을 중심으로 보편화되고 있으나, 중국은 해당 기술에 접근하는 것이 사실상 불가능하다. 지난 2019년부터 미국이 전 세계 유일의 EUV 노광장비 업체인 ASML의 중국향 수출을 규제하고 있기 때문이다. 이는 에스앤에스텍과 같은 블랭크마스크 제조업체에게는 수혜로 작용한다. 최근 중국 고객사들은 에스앤에스텍의 로우엔드, 미들엔드급 DUV 블랭크마스크에 대한 구매주문을 11월 물량까지 완료했다. 또한 중국 내 수요 증가로 공급 제한이 예상되면서 특정 제품의 경우 올 하반기부터 가격을 50% 이상 인상하기로 한 것으로 알려졌다. 에스앤에스텍 관계자는 "고객사에 대한 구체적 사안을 언급할 수는 없지만 중국 내 로우엔드, 미들엔드 급의 블랭크마스크 수요가 지속적으로 오르고 있는 것은 사실"이라고 밝혔다. 한편 에스앤에스텍은 EUV 블랭크마스크에 대한 개발도 지속하고 있다. EUV 블랭크마스크는 개발 난이도가 매우 높은 분야로, 일본 호야 등이 시장을 독과점하고 있다.

2024.07.23 11:26장경윤

ASML, 2분기도 中 매출 '절반' 육박…고성능 DUV 수요 여전

세계 유일의 EUV(극자외선) 노광장비 업체 ASML이 올 2분기 기대치를 웃도는 실적을 거뒀다. 지난해부터 급증한 중국향 고성능 DUV(심자외선) 장비 수요가 지속된 데 따른 영향으로 풀이된다. 이 회사의 중국 매출 비중은 1분기와 2분기 모두 49%에 육박한다. 17일 ASML은 올 2분기 순매출 62억 유로(9조 3천325억원), 당기순이익 16억 유로(2조 4천억원)를 기록했다고 밝혔다. 크리스토프 푸케 ASML 최고경영자(CEO)는 “ASML의 2분기 순매출은 전망 범위 상단인 62억 유로를 기록했고, 매출총이익률은 전망치를 웃도는 51.5%였다"며 "이머전 장비의 매출 증대가 이러한 결과를 견인했다"고 밝혔다. 이머전 장비는 ArF(불화아르곤) 광원을 활용하는 이머전 DUV 기술을 뜻한다. 이머전은 렌즈와 웨이퍼 표면 사이의 공간을 굴절률이 큰 액체의 매질로 대체해 해상력을 높이는 기술로, 고성능 DUV를 구현한다. EUV 만큼의 성능은 아니지만, 이머전 DUV는 멀티 패터닝을 통해 미세 공정 영역인 7나노미터(nm)까지 구현할 수 있다. 때문에 미국의 수출 규제로 EUV 장비를 수입할 수 없는 중국에서 수요가 증가해 왔다. 실제로 ASML의 이번 2분기 매출에서 중국이 차지하는 비중은 49%로 가장 높았다. 지난 1분기(49%)와 동일한 수치다. 특히 이머전 DUV가 포함되는 ArF 장비 매출이 1분기 39%에서 2분기 50%로 급증했다. ArF 장비 판매 수량도 1분기 20대에서 2분기 32대로 증가했다. 반면 EUV 장비는 1분기 11대에서 2분기 8대로 줄어들었다. 다만 ASML의 높은 중국 매출 의존도는 향후에도 지속되기 어려울 전망이다. 앞서 미국 정부는 올해 1월 이머전 DUV 장비에 대해서도 중국 수출을 사실상 금지시켰다. 이번 중국향 매출은 규제 이전에 발생한 '사재기' 효과로 풀이된다. 한편 ASML은 3분기 실적 전망에 대해서는 순매출 70억 유로(중간값), 매출총이익률 50~51%를 제시했다. 올해 연간 순매출은 기존 전망대로 "지난해와 비슷한 수준이 될 것"이라고 밝혔다. 문준호 삼성증권 연구원은 "2분기 실적은 기대치를 상회했으나 3분기 전망치가 다소 아쉬운 상황"이라며 "로직, 파운드리 분야에서 주문이 강하게 나오며 수주 잔고가 다시 증가한 점은 긍정적"이라고 설명했다. 기존 주력 매출원이었던 EUV 장비 사업도 회복세가 나타나는 추세다. ASML의 2분기 말 기준 신규 장비 수주액은 총 55억7천만 유로다. 전분기 대비 54%, 전년동기 대비 23.7% 증가했다. 이 중 EUV 장비 수주 규모는 25억 유로다. 전분기 대비 281%, 전년동기 대비 56% 증가한 수치다.

2024.07.17 14:59장경윤

세메스, 반도체 포토공정용 'ArF-i 스피너 장비' 양산...'국산화 성공'

반도체 장비업체 세메스는 그동안 전량 수입에 의존해 온 반도체 포토공정용 트랙장비인 불화아르곤이머전(ArF-i) 스피너(설비명 오메가 프라임)를 본격 양산한다고 24일 밝혔다. 세메스는 해당 장비를 국내 최초로 개발해 지난해 양산 1호기 출하에 이어 올해 2호기 제작에 나선 것이다. 스피너는 반도체 제조공정에서 웨이퍼에 미세회로(패턴)를 형성하기 위해 감광액(Photo Resist)을 골고루 도포하고 노광기에서 빛을 조사한 후에 다시 현상하는 설비다. 이 장비는 현재 일본의 최대 반도체 장비업체인 도쿄일렉트론(TEL)이 시장점유율 90% 이상을 차지하고 사실상 독점하고 있는 분야다. 세메스는 그동안 불화크립톤(KrF) 스피너를 생산해 왔으며, 광원의 파장 선폭이 짧아진 고성능 노광기에 대응하기 위해 불화아르곤이머전(ArF-i) 장비를 개발했다. 불화아르곤 이머전 장비는 고청정, 고생산성, 고정밀도가 요구되는 3고 설비로서 세메스는 코팅, 현상프로세스 유닛의 조정편차를 없애기 위해 로봇의 위치조정, 베이크 온도셋팅, 노즐조정 등의 자동화시스템을 개발 적용했고, 그밖에 비전감시기능시스템, 베이크 자동보정 등의 특화 기술도 탑재했다고 회사측은 설명했다. 최길현 세메스 CTO는 "반도체 핵심공정 장비인 오메가 프라임의 개발로 향후 수입대체 효과가 클 것으로 예상한다"며 "앞으로 고부가가치 중심의 독보적이고 차별화된 장비를 선보여 기술혁신 기업으로 거듭나겠다"고 밝혔다.

2024.06.24 12:10이나리

ASML, 네덜란드 현지서 대규모 사업확장 추진

반도체 장비기업 ASML이 네덜란드 에인트호번시에 대규모 시설확장을 고려하고 있다고 로이터통신이 22일(현지시간) 보도했다. ASML은 최근 에인트호번시와 에인트호번시 북부 지역의 저개발 지역에 신규 직원 2만명을 수용할 수 있는 부지를 모색하겠다는 의향서에 서명했다. 이번 결정은 ASML이 해외로 사업을 이전하는 것을 막기 위해 네덜란드 정부가 지난달 에인트호번시의 인프라 개선에 약 27억 달러(한화 약 3조 7천억 원)를 투자하겠다고 발표한 데 따른 것이라고 로이터통신은 설명했다. 피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)는 지난 1월 발표한 연례 보고서에서 ASML 사업 해외 이전 뜻을 밝힌 바 있다. 최근 네덜란드 의회가 고숙련 외국인 근로자에 대한 세제 혜택을 없애는 안을 가결한 데 따른 판단이다. ASML의 네덜란드 현지 직원 2만3천여 명 중 40%가량이 외국인인 것으로 알려져 있다. 로저 대센 ASML 최고재무책임자(CFO)는 "ASML은 본사가 위치한 벨도벤 지역과 최대한 가까운 곳에서 핵심 활동을 유지하는 것을 선호한다"며 "최근 정부가 발표한 조치가 투자 결정에 도움이 됐다"고 밝혔다. 한편 ASML은 전 세계에서 유일하게 EUV(극자외선) 노광장비를 생산할 수 있는 기업이다. EUV는 기존 반도체 노광공정에 쓰여 온 광원인 ArF(불화아르곤) 대비 빛의 파장이 짧아, 더 미세한 회로를 구현하는 데 유리하다.

2024.04.23 08:52장경윤

ASML "美 수출 규제-지정학적 긴장, 여전한 위험요인"

네덜란드 반도체 장비기업 ASML이 미국의 대중 수출규제, 지정학적 긴장 등을 여전히 위험 요소로 보고 있다고 로이터통신이 14일(현지시간) 보도했다. ASML은 최근 발간된 2023년 연례 보고서에서 "네덜란드 정부의 동의를 받아 미국이 부과하는 수출 규제 사항이 점차 늘어나고 있다"고 밝혔다. ASML은 반도체 웨이퍼에 회로를 새기는 노광 공정에 필요한 장비를 전문으로 생산하는 기업이다. 업계에 가장 보편적으로 쓰이는 DUV(심자외선) 장비는 물론, 7나노미터(nm) 이하 최선단 공정에 쓰이는 EUV 장비도 다수 출시했다. 현재 전 세계에서 EUV 장비 양산이 가능한 기업은 ASML이 유일하다. 현재 미국은 ASML의 장비가 중국의 반도체 공급망 자립화에 활용되는 것을 막고자, 네덜란드 정부와 협력해 수출 규제를 시행 중이다. 지난 2019년에는 EUV 장비의 수출을 금지했으며, 지난해 3월에는 EUV 보다 한 단계 아래인 고성능 DUV(이머전 DUV) 장비에 대해서도 수출 규제를 적용하기로 했다. 이에 중국 기업들이 수출 규제가 시작되기 전인 지난해 말까지 ASML의 장비를 급하게 사들이는 '사재기' 현상이 일어나기도 했다. 실제로 ASML의 지난해 전체 매출에서 중국이 차지하는 비중은 26.3%로, 한국(25.2%)를 제치고 2위에 올라섰다. 1위는 여전히 대만(29.3%)이 차지했다. 또한 ASML은 일본 캐논, 니콘 등을 DUV 분야의 주요 경쟁사로 지목했다. 캐논, 니콘은 일본의 주요 광학 기술 보유업체로, ASML과 기술적 연관성이 높다. 또한 중국 등 공급망 자립화에 수혜를 받는 반도체 장비기업들도 간접적으로 언급했다. ASML은 "상당한 재정 자원을 갖춘 새로운 경쟁자뿐만 아니라, 지정학적 맥락에서 자급자족을 이뤄내려는 경쟁자들과도 직면해 있다"고 밝혔다.

2024.02.15 09:33장경윤

미래 반도체 공정 EUV 보완재 DSA 뜨나?…삼성전자도 '눈독'

"DSA(유도자기조립)는 머크가 오랜 시간 개발해 온 기술로, EUV(극자외선)의 매우 높은 비용을 저감시킬 수 있어 향후 첨단 반도체 공정의 필수 요소가 될 것이다. 물론 한국 고객사들도 DSA 분야에서 협력을 진행하고 있다." 2일 아난드 남비어 머크 수석부사장은 서울 강남 신라스테이 호텔에서 열린 기자간담회에서 DSA 기술에 대해 이같이 밝혔다. DSA는 화학 재료를 웨이퍼 위에 도포한 후 가열해 회로 패턴을 형성하는 기술이다. 분자의 자기조립(무질서하게 존재하던 구성요소들이 외부 개입 없이 스스로 구조나 형태를 만드는 것) 특성을 기반으로 한다. 아난드 남비어 수석부사장은 "DSA 공정을 노광 공정에서 활용하면, EUV 공정의 단계 2개를 생략해 제조비용을 절감할 수 있다"며 "현재는 초창기 단계지만, 향후 10년 뒤에는 EUV를 보조하는 필수 기술이 될 것이라고 생각한다"고 설명했다. 머크는 이러한 전망을 토대로 세계 주요 반도체 기업들과 DSA 공정 도입을 위한 연구개발을 활발히 진행하고 있다. 삼성전자, SK하이닉스 등 국내 주요 기업과도 협력 중인 것으로 관측된다. 아난드 남비어 수석부사장은 "한국 고객사들과도 DSA 공정 연구개발에 대한 협업을 진행하는 중"이라며 "이번 세미콘 코리아 행사에서도 DSA에 대한 많은 논의가 있었다"고 밝혔다. 실제로 삼성전자, SK하이닉스는 학술행사 등을 통해 DSA 기술의 장점을 언급해 왔다. 특히 삼성전자의 경우 DSA에 많은 관심을 기울이고 있는 것으로 알려졌다. 반도체 분석 전문기관 테크인사이츠가 지난해 1월 발간한 보고서에 따르면, 삼성전자는 총 68개의 DSA 특허를 보유하고 있다. 주요 경쟁사인 대만 TSMC가 보유한 특허 수(24개) 대비 3배에 가까운 수치다. 주요 노광 장비업체 ASML(16개)를 앞선 기록이기도 하다.

2024.02.02 14:00장경윤

ASML, 작년 4분기 매출 10.5兆..."올 매출, 작년과 비슷할 듯"

네덜란드 EUV(극자외선) 반도체 장비기업 ASML이 지난해 4분기 순매출 72억3천만 유로(약 10조5천억원), 매출총이익률 51.4%, 당기 순이익 20억 유로를 기록했다고 24일 밝혔다. ASML의 이번 4분기 순매출 및 매출총이익률은 증권가 전망치(69억3천만 유로, 50.8%)를 소폭 상회하는 수치다. 연간으로는 순매출 276억 유로, 매출총이익률 51.3%, 순이익 78억 유로를 달성했다. 순매출 기준으로 전년 대비 30%의 성장세를 이뤄냈다. 지난해 반도체 업계 투자가 부진했으나, DUV(심자외선) 장비가 중국 등지에서 견조한 수요를 보인 덕분으로 풀이된다. 향후 전망에 대해서는 올 1분기 순매출 50억~55억 유로, 매출총이익률 48~49%를 예상했다. 올해 연간 순매출은 지난해와 비슷한 수준이 될 것으로 전망했다. 피터 베닝크 ASML CEO(최고경영자)는 “ASML은 2023년에도 성장률 30%의 견조한 실적을 달성했다"며 "또한 연말 전 첫 High NA EUV 시스템인 EXE:5000의 1차 모듈을 고객사에 전달했다"고 밝혔다. 베닝크 CEO는 이어 "올해 반도체 시장에 대한 긍정적 징후가 일부 존재하지만, ASML은 보수적인 시각을 견지하고자 한다"며 "올해 매출 규모는 작년과 비슷하고, 이후 2025년에 상당한 성장세가 기대된다"고 덧붙였다.

2024.01.24 15:56장경윤

美, '유예 기간'에도 ASML 반도체 장비 中 판매 금지

네덜란드 반도체 장비업체 ASML이 중국에 판매하려던 일부 고급 반도체 제조장비가 미국 정부의 요청으로 출하가 취소됐다고 블룸버그통신이 1일 보도했다. 블룸버그통신은 익명의 소식통을 인용해 "ASML은 이달까지 첨단 반도체 장비 3종을 중국에 배송할 수 있는 라이센스를 보유했었다"며 "그러나 미 정부 관계자들이 ASML에 연락해 중국에 배송될 예정이었던 장비의 선적을 즉시 중단할 것을 요청했다"고 밝혔다. ASML은 반도체 제조의 핵심인 노광장비 제조업체다. 반도체 산업에 가장 활발히 쓰이는 DUV(심자외선) 장비는 물론, 7나노미터(nm) 이하 반도체 구현에 쓰이는 EUV(극자외선) 장비를 생산하고 있다. 미국은 중국의 반도체 공급망 강화 전략을 견제하기 위한 목적으로, 네덜란드 정부 및 ASML이 중국에 첨단 반도체 제조장비를 수출하지 못하도록 규제하고 있다. EUV 장비는 2019년부터 규제 대상에 올랐다. 이후 미국 정부는 지난해 3월 고성능 DUV(이머전 DUV) 장비에 대해서도 수출 규제를 적용하기로 했다. 이에 ASML은 지난해 하반기 성명을 통해 "새해 1월 1일부터 최신 DUV 장비를 중국에 수출하지 못하게 될 것"이라며 "그 전까지는 중국 고객들과 계약을 이행할 수 있도록 네덜란드 정부의 허가를 받았다"고 밝혔다. 그러나 제이크 설리번 미국 국가안보보좌관은 지난해 말 네덜란드 정부에 ASML의 장비가 유예 기간에도 중국에 수출되지 못하도록 막아줄 것을 요청했다. 다만 해당 요청으로 몇 대의 장비가 출하 취소됐는지는 알려지지 않았다. 이번 조치는 미 정부가 대중(對中) 반도체 수출 규제를 강력히 시행하겠다는 의지를 보여준다는 평가가 나온다. 현재 미 정부는 첨단 반도체 장비 외에도 AI 반도체 수출 금지, 중국 첨단산업에 대한 투자 금지 등 여러 조치를 시행하고 있다. 그럼에도 중국은 첨단 반도체 기술 및 생산능력 확보 의지를 꺾지 않고 있다. 대표적으로 화웨이는 지난해 현지 주요 파운드리 기업인 SMIC와 손잡고 고성능 DUV 기반의 7나노 모바일 AP(애플리케이션 프로세서)를 상용화하는 데 성공해 업계의 주목을 받았다.

2024.01.02 09:49장경윤

움츠러든 반도체 소재 시장, 새해 '반등' 전망

올해 수요가 감소했던 반도체 제조용 소재 시장이 내년부터 반등을 시작할 전망이다. 특히 7나노미터(nm) 이하 공정에 쓰이는 포토레지스트(감광액) 등 첨단 소재의 비중이 점차 높아질 것으로 기대된다. 28일 시장조사업체 트렌드포스에 따르면 전 세계 반도체 포토레지스트 시장은 내년 반등을 시작해 오는 2027년 28억 달러(한화 약 3조6천억원)에 달할 것으로 관측된다. 포토레지스트는 빛에 반응해 특성이 변하는 화학물질이다. 웨이퍼에 회로를 새기는 노광공정의 핵심 소재로 사용되고 있다. 웨이퍼 상에 포토레지스트를 도포하고 특정 패턴이 새겨진 빛을 투사하면, 포토레지스트가 이에 반응하면서 회로가 새겨지는 방식이다. 포토레지스트 시장은 2022년까지 지속 성장해 왔다. 그러나 올해에는 반도체 시장이 전반적인 부진을 이어가면서 전년 대비 6~9% 감소한 24억3천만 달러를 기록할 전망이다. 다만 내년에는 다시 회복세에 접어들 것으로 예상된다. 주요 반도체 기업들의 감산 전략에 따른 재고 감소, AI 및 자율주행 등 첨단 산업의 발달이 반도체 및 포토레지스트 수요를 촉진하기 때문이다. 트렌드포스는 "내년 반도체 시장의 회복으로 포토레지스트 수요도 반등할 것"이라며 "2027년에는 시장 규모가 28억 달러를 넘어설 정도로 견조한 흐름을 보일 것"이라고 밝혔다. 특히 EUV(극자외선) 등 초미세 공정용 포토레지스트의 성장 잠재력이 높은 것으로 평가받는다. 삼성전자, SK하이닉스 TSMC와 인텔 등 주요 기업들이 EUV 공정을 확대하면서, 오는 2025년 EUV 포토레지스트가 전체 시장에서 10%의 점유율을 차지할 것으로 예상된다. 트렌드포스는 "JSR, TOK, 신에츠화학 등 일본 업체들이 포토레지스트 시장에서 절대적인 우위를 점하고 있다"며 "다만 동진쎄미켐, SK스페셜티 등 한국 기업들도 첨단 ArF(불화아르곤) 및 EUV 포토레지스트 분야에서 국산화를 달성하는 등 성과를 거두고 있다"고 설명했다. 반도체 소재 전문 분석기관인 TECHCET도 최근 보고서를 통해 전체 반도체 소재 시장이 올해에는 전년 대비 3.3% 감소하나, 내년에는 7% 성장한 740억 달러를 기록할 것으로 내다봤다. TECHCET은 "기업들의 공장 증설 외에도 3D D램, 고적층 낸드 등에서 새로운 공정과 소재가 필요하다"며 "이는 EUV 포토레지스트와 현상액, 전구체, CMP(평탄화) 소재 등 반도체 소재 시장 전반의 성장을 주도할 것"이라고 밝혔다.

2023.12.28 11:24장경윤

인텔, '2나노 핵심' ASML 차세대 EUV 장비 첫 도입

미국 인텔이 네덜란드 ASML의 차세대 EUV(극자외선) 장비를 업계 최초로 도입한다. 이를 통해 인텔은 최선단 파운드리 시장의 경쟁력을 한층 강화할 수 있을 것으로 전망된다. 22일 블룸버그통신 등 외신에 따르면 ASML은 이날 High-NA EUV 노광장비를 미국 오리건주에 위치한 인텔 'D1X' 공장으로 출하했다. EUV는 반도체 웨이퍼에 회로를 새기는 노광공정에 쓰이는 광원이다. 기존 광원인 불화아르곤(ArF) 대비 빛의 파장이 짧아, 7나노미터(nm) 이하의 초미세 공정에서 수요가 증가하고 있다. 이번에 ASML이 출하한 장비는 기존 EUV 대비 성능을 높인 High-NA EUV 장비다. NA는 렌즈 수차로, 해당 수치를 높일 수록 해상력이 향상된다. 기존 EUV의 렌즈 수차가 0.33인 반면, High-NA EUV는 0.55로 더 높다. 이 덕분에 High-NA EUV는 오는 2025년 양산을 목표로 한 2나노 공정에 필수적으로 활용될 것으로 기대를 모으고 있다. 앞서 인텔은 지난해 1분기 "업계 최초로 High-NA EUV 파일럿 장비를 주문했다"고 밝힌 바 있다. 본격적인 장비 적용 시점은 2025년으로 잡았다. TSMC, 삼성전자, SK하이닉스 등 기존 반도체 기업들도 곧 High-NA EUV 장비를 도입할 것으로 전망된다. 이미 장비 발주는 완료된 것으로 알려졌다. 한편 High-NA EUV 장비는 기존 EUV 장비 대비 가격이 약 2배 가량 비싼 것으로 추정된다. 업계는 기존 EUV 장비의 가격을 2천억~3천억원으로, High-NA EUV 장비는 5천억원에 달할 것으로 보고 있다.

2023.12.22 15:54장경윤

ASML, 3분기 매출 9.5조원…"올해 연매출 전년比 30% 성장"

글로벌 반도체 장비기업 ASML은 2023년 3분기 순매출 67억 유로, 매출총이익률 51.9%, 당기순이익 19억 유로를 달성했다고 19일 밝혔다. 피터 베닝크(Peter Wennink) ASML 최고경영자(CEO)는 "ASML이 전망치 중반대인 67억 유로 규모의 3분기 순매출과 전망치를 웃도는 51.9%의 매출총이익률을 달성했다"며 "그 주요 동인은 DUV 장비 실적과 일부 일회성 비용 효과"라고 말했다. 반도체 산업은 현재 경기 순환의 저점을 통과하고 있다. 반도체 기업들은 연말까지 변곡점이 가시화될 것으로 예상하지만, 반도체 산업의 수요 회복 곡선이 어떤 모습을 보일지는 확신하지 못하고 있다. 이런 측면에서 ASML은 2024년이 전환기가 될 것으로 내다보고 있다. 현재 전망을 기반으로 ASML은 더욱 보수적 관점을 견지하며, 2023년과 비슷한 매출 규모를 기록할 것으로 예상했다. 베닝크 CEO는 "ASML은 4분기에 순매출 67억~71억 유로, 매출총이익률 50%~51% 달성을 전망한다"며 "연구개발비(R&D)와 판매관리비(SG&A)는 각각 약 10억 3000만 유로와 약 2억 8500만 유로로 예상한다"고 밝혔다. 그는 이어 "전년 대비 30%에 가까운 순매출 증대와 소폭의 매출총이익률 상승으로 올해에도 강력한 성장을 이룰 것이라고 여전히 전망한다"고 강조했다.

2023.10.19 15:16장경윤

"中, 자체개발 28나노 노광장비 연내 출시"...반도체 굴기 빨라지나

중국이 자체 개발한 28나노미터(nm) 노광장비를 연내 출시할 예정이라고 중국 관영매체 글로벌타임스 등이 지난 1일(현지시간) 보도했다. 보도에 따르면 중국 반도체 노광장비 업체 'SMEE'는 자국 내 최초로 28나노 이머전 DUV(심자외선) 노광장비인 'SSA/800-10W'를 개발했다. 해당 장비는 연내 출시될 것으로 예상된다. 노광장비는 빛을 이용해 반도체 회로를 그리는 반도체 전공정 분야의 핵심 장비다. 이머전 DUV는 기존 DUV 대비 해상력을 높인 기술로, 28나노~40나노급 공정 구현에 주로 활용된다. SMEE이 실제로 28나노 이머전 DUV 노광장비 상용화에 성공하는 경우, 중국의 반도체 자생력 강화 전략이 한층 강화될 수 있을 것으로 전망된다. 현재 중국은 미국의 대중(對中) 반도체 수출 규제로 첨단 반도체 투자에 상당한 제약을 받고 있다. 대표적으로 네덜란드 정부는 미국의 요청에 따라 지난 2019년부터 자국 노광장비 업체 ASML의 중국향 EUV(극자외선) 장비 수출을 금지하고 있다. EUV는 DUV 대비 한층 더 진보된 노광 기술로, 7나노 이하의 최선단 공정 구현에 필수적으로 쓰인다. 전 세계에서 EUV 노광장비를 제조할 수 있는 기업은 현재로선 ASML이 유일하다. 오는 9월부터는 ASML의 최신형 DUV 이머전 노광장비 2종도 중국 수출길이 막힐 예정이다. 이처럼 미국과 주변 동맹국의 압박 수위가 강화되는 가운데, 중국은 이번 SMEE의 장비 개발에 거는 기대가 큰 분위기다. 글로벌타임스는 업계 전문가 및 외신을 인용해 "SMEE의 28나노 노광장비는 업계에 큰 돌파구가 될 것"이라며 "SMEE는 중국 최고의 노광장비 업체 중 하나로 ASML에 대항할 수 있는 중국 내 잠재적 경쟁자"라고 언급했다.

2023.08.03 10:32장경윤

ASML, 2분기 실적 예상치 상회…연매출 성장률도 높였다

세계 유일의 EUV(극자외선) 노광장비 제조업체 ASML이 2분기 기존 예상치를 뛰어넘는 호실적을 거뒀다. 19일 ASML은 올 2분기 순매출 69억 유로(한화 약 9조8천억원), 당기순이익 19억 유로(약 2조 7천억원)을 기록했다고 밝혔다. 매출총이익률은 51.3%다. 전년동기와 비교하면 매출은 27.7%, 순이익은 35.7% 증가했다. 증권가 컨센서스(매출 67억4천만 유로, 순이익 18억2천만 유로)도 상회했다. 2분기 예약 매출 45억 유로로 기록됐다. 이 중 16억 유로는 EUV(극자외선) 장비가 차지했다. 전분기 예약 매출액인 37억5천만 유로보다는 높지만, 전년동기의 85억 유로와 비교하면 절반가량 감소했다. ASML은 3분기 전망에 대해서는 순매출 65억~70억 유로, 매출총이익률 50%를 기록할 것으로 내다봤다. 올해 연 순매출의 전년 대비 성장률은 30%를 제시했다. 이전 예상치인 25%에서 5%p 높였다. 피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)는 "올 2분기 추가적인 DUV(심자외선) 이머전 장비 매출액으로 전망치를 상회하는 실적을 기록했다"며 "거시경제의 불확실성이 확대됐지만, ASML은 견실한 DUV 매출을 토대로 2023년에도 강력한 성장을 이룰 것으로 예상한다"고 밝혔다. 노광장비는 반도체 칩에 회로를 새기기 위해 필요한 장비다. DUV의 경우 EUV보다 기술적 수준이 한 단계 낮다. 그러나 최선단 공정에서만 활용되는 EUV와 달리, DUV는 선단 및 레거시 공정에서 두루 쓰이고 있다.

2023.07.19 16:08장경윤

ASML, 인력 채용 속도 늦춘다…"반도체 단기 침체 대비"

네덜란드 장비업체 ASML이 올해 인력 채용 속도를 늦추기로 했다고 블룸버그통신이 11일(현지시간) 보도했다. 지난해 임직원 수를 충분히 늘렸고, 반도체 시장이 단기 침체에 빠진 만큼 운영 효율성을 높이기 위한 전략이다. 보도에 따르면 ASML 대변인 측은 이메일 성명에서 "반도체 산업은 장기적으로 강력하게 성장할 전망이나, 단기적으로는 침체를 겪고 있다"며 "언제 시장이 회복될 지는 불확실하다"고 설명했다. ASML은 전 세계 주요 반도체 장비업체 중 하나다. 반도체 칩에 회로를 새기기 위한 DUV(심자외선)·EUV(극자외선) 노광장비를 주력으로 개발하고 있다. 특히 선단 공정에서 활용되는 EUV 노광장비를 생산할 수 있는 업체는 현재 ASML이 유일하다. 삼성전자, SK하이닉스, TSMC 등 주요 반도체 업체들도 모두 ASML의 장비 없이는 첨단 반도체 생산이 사실상 불가능하다. 이에 ASML은 반도체 업계의 '슈퍼 을'로 불리며 투자 및 시장 확대에 주력해왔다. 인력 부문에서도 지난해에만 1만명을 신규 채용해 총 4만명의 직원을 확보했다. 지난해 5월에는 한국지사인 ASML코리아를 통해 경기도 용인에 엔지니어 교육을 위한 신규 EUV 트레이닝 센터를 개소하기도 했다. 다만 ASML도 거시경제 및 반도체 시장의 악화에 따른 영향을 온전히 피해가지는 못하고 있다. ASML은 올 1분기 매출이 전년동기 대비 90% 급증하며 호실적을 기록했으나, 해당 분기 예약 매출이 전년동기 대비 46% 감소하는 등 불확실성에 직면해 있다. ASML은 대변인은 "올해 매출이 25% 성장할 것이라는 전망치에 따라 이를 실현하기 위한 충분한 인원이 확보됐다"며 "다만 완전히 채용을 동결하는 방안은 고려하고 있지 않다"고 밝혔다.

2023.07.12 09:53장경윤

ASML 첨단 반도체 장비 2종, 9월부터 중국 수출길 막힌다

미국의 대중(對中) 수출 규제에 동참하기로 한 네덜란드가 중국에 대한 압박 수위를 높이고 있다. 지난 2019년 최첨단 장비의 중국 수출을 막은 데 이어, 오는 9월부터는 한 단계 아래의 장비에 대해서도 중국 수출을 제한할 예정이다. 30일 ASML은 네덜란드 정부의 수출 규제에 관한 성명문을 내고 중국에 대한 장비 수출이 제한될 수 있음을 밝혔다. ASML은 반도체 칩에 회로를 새기는 데 필요한 노광장비를 전문으로 제조하는 업체다. 특히 7nm 이하 공정의 핵심인 EUV(극자외선)용 노광장비를 전 세계에서 유일하게 생산할 수 있는 것으로 유명하다. 물론 EUV보다 한 단계 낮은 기술에 속하는 DUV(심자외선) 분야에서도 독보적인 위치를 점하고 있다. ASML이 반도체 산업에서 중대한 위치를 차지하고 있는 만큼, 미국은 ASML의 장비가 중국으로 수출되지 못하도록 네덜란드 정부와 적극 협의해왔다. 이에 네덜란드 정부는 지난 2019년 EUV 장비의 중국 수출을 금지했다. 이후에도 네덜란드는 지난 3월 ASML의 가장 진보된 DUV 노광장비 역시 중국 수출을 금지하는 방안을 논의했다. 해당 DUV 노광장비는 'TWINCSCAN NXT:2000i'와 후속 모델(NXT:2050i)이다. 이들 장비를 활용하면 7nm 공정을 구현할 수 있다. 중국에 대한 추가 규제를 예고했던 네덜란드 정부는 결국 오늘(30일) 관련 규제를 발표했다. ASML은 "3월 발표된 바와 같이, 회사의 첨단 DUV 장비 2종은 중국으로 수출 시 네덜란드 정부의 수출 허가를 받아야 한다"며 "새로운 네덜란드 수출 규제는 오는 9월 1일 발효된다"고 밝혔다. ASML은 이어 "오늘 발표가 ASML의 올해 재무 전망이나 장기 시나리오에는 중대한 영향을 미치지는 않을 것으로 예상한다"며 "네덜란드의 규제는 장비 2종에만 적용된다는 점을 고려하는 것이 중요하다"고 덧붙였다.

2023.06.30 17:59장경윤

ASML, 中 수출 제한에도 매출 성장세…日 규제 반사이익?

네덜란드 반도체 장비기업 ASML이 중국 수출을 제한받는 와중에도 매출 성장세를 이어가고 있어 주목된다. ASML은 반도체 미세 공정에 필요한 극자외선(EUV) 노광 장비를 세계에서 유일하게 생산한다. 14일 ASML에 따르면 이 회사는 2분기 매출 65억~70억 유로(약 9조원)를 기록할 것으로 보고 있다. 지난해 같은 기간(54억3천100만 유로)보다 19.68~28.89% 증가할 것으로 기대했다. 피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)는 1분기 실적을 발표한 직후 “ASML은 예상을 뛰어넘은 1분기 실적을 달성했다”며 “고객사가 빠르게 장비를 설치하고 조기 인수해 EUV와 심자외선(DUV) 장비 매출이 예상보다 많았다”고 말했다. 그러면서 “올해에도 여전히 수요가 ASML 생산 능력보다 많다”고 강조했다. 미국이 ASML에 중국으로 반도체 첨단 장비를 수출하지 못하게 막고 있지만, 성숙(legacy) 공정 장비 공급량은 늘어날 가능성도 있다. 첨단은 물론이고 성숙 공정 장비까지 중국에 팔지 않겠다는 일본 빈자리를 메우는 셈이다. 미국 행정부는 지난해 10월 중국이 첨단 반도체를 군사적으로 이용하는 것을 막겠다며 ▲18나노미터(1㎚=10억분의 1m) 이하 D램 ▲128단 이상 낸드플래시 ▲14나노 이하 로직칩을 생산하는 중국 기업에 반도체 장비를 수출하는 것을 통제했다. 강효주 KB증권 연구원은 “미국이 중국에 반도체 장비 수출을 제한한 뒤로 일본이 첨단 기술에 국한할 것이라는 예상과 달리 레거시 공정에 필요한 노광 장비까지 수출 제재 목록에 포함했다”며 “일본이 제재 목록에 추가한 레거시 공정 장비는 40나노 불화아르곤(ArF) 액침(Immersion) 스캐너 장비로 추정한다”고 분석했다. 강 연구원은 또 “이 기술은 ASML로부터 받을 수 있는 제품”이라며 “ASML의 수출 제재 목록에 따르면 DUV 노광 장비 중 'NXT:1980' 시리즈는 중국에 원활하게 공급되고 있다”고 전했다. 이어 “기업 이익 관점에서 생각한다면 ASML은 이번 일본 제재를 중국 매출 비중을 키울 기회로 삼을 가능성이 있다”고 덧붙였다.

2023.06.14 15:41유혜진

ASML, 용인에 EUV 반도체 장비 교육장 열어

네덜란드 반도체 장비 기업 ASML은 지난 16일 경기 용인시 서플러스글로벌 반도체 장비 단지에 극자외선(EUV) 교육장을 열었다고 18일 밝혔다. ASML은 반도체 업계에서 을의 입장이지만 갑보다 힘이 세다는 뜻에서 '슈퍼 을'로 불린다. 7나노미터(㎚=10억분의 1m) 이하 반도체 미세 공정에 필요한 EUV 노광 장비를 1년에 45대 안팎 세계에서 유일하게 생산한다. ASML은 1천445㎡(약 440평)에 클린룸·교실·사무실·편의시설을 갖췄다. EUV 장비를 설치·보수하는 고객 지원(CS) 기술자를 여기서 가르친다. 국내 대학과 반도체 산·학 협력 프로그램도 추진한다. 이우경 ASML 한국지사장은 “ASML은 단순히 장비를 제공하는 데 그치지 않고 고객 성공과 현지 반도체 생태계 발전을 위해 노력한다”고 말했다.

2023.05.18 16:07유혜진

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