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中, 반도체 장비 국산화율 35% 돌파…장비 자립화 속도

중국 반도체 산업에서 국산 장비 채택 비중이 2025년 목표치를 넘어섰다는 평가가 나왔다. 13일 대만 공상시보 등 외신에 따르면 시장조사업체 트렌드포스는 최근 발표에서, 중국 웨이퍼 팹에서 자국산 반도체 제조 장비의 채택률이 약 35% 수준에 도달했다고 분석했다. 이는 정부가 설정한 2025년 목표인 약 30%를 웃도는 수치다. 이 같은 채택률 상승은 중국 정부의 반도체 장비 자립 정책이 속도를 내는 가운데, 주요 장비업체들의 기술 진전이 뒷받침된 결과로 풀이된다. 나우라 테크놀로지 그룹을 비롯해 AMEC(Advanced Micro-Fabrication Equipment) 등 국내 장비 제조사들이 핵심 공정 장비에서 점유율을 높이고 있다. 특히 식각, 박막 증착 등 핵심 공정 장비 부문에서는 국산 장비 채택률이 40% 이상으로 나타난 것으로 알려졌다. 이는 일부 공정에서 외산 장비를 대체하는 수준을 넘어, 중국 내수 팹의 장비 선택 기준 자체가 변화하고 있다는 신호로 해석된다. 트렌드포스는 중국 정부가 웨이퍼 제조 라인 신규 구축 시 국산 장비 비중을 높이는 정책적 유도를 강화한 영향이 채택률 상승의 주요 요인이라고 분석했다. 이 과정에서 장비 국산화는 단순한 비용 절감을 넘어, 미국 등 외국 장비 의존도를 줄이려는 전략과 맞물려 있다. 중국 반도체 장비 자립률이 빠르게 높아지는 가운데, 업계에서는 고급 공정용 핵심 장비 개발이 다음 과제로 꼽힌다. 7nm(나노미터, 10억분의 1m) 이하 첨단 장비 분야는 여전히 해외 기술이 우위에 있으며, 완전한 국산화까지는 상당한 시간이 필요하다는 지적도 있다. 반도체 장비 시장에서의 이러한 변화는 중국이 반도체 공급망 자립과 기술 주권 확보를 위한 전략적 투자를 지속하고 있음을 보여준다. 트렌드포스의 분석은 이 같은 흐름이 단기적인 트렌드를 넘어, 장기적인 산업 구조 변화의 일부가 될 수 있음을 시사한다.

2026.01.13 10:31전화평 기자

中 반도체 장비도 자립 가속…국산 사용 50% 의무화

중국이 반도체 생산능력(CAPA) 증설 과정에서 신규 설비 투자 시 국산(중국산) 장비 사용 비중을 최소 50%로 맞추도록 반도체 업체들에 요구하는 것으로 알려졌다. 30일(현지시간) 로이터통신은 이 사안에 정통한 업계 관계자 3명을 인용해 중국 당국이 공장 신·증설 승인 과정에서 해당 기준을 사실상 적용하고 있다고 보도했다. 반도체 공급망의 자급자족 체계를 구축하려는 중국 정부의 기조가 한층 강화된 조치로 해석된다. 보도에 따르면 정부 승인을 받아 공장을 신설하거나 증설하려는 업체들은 최근 수개월 동안 당국으로부터 조달 입찰(조달 공고) 등 절차를 통해 전체 장비 최소 절반이 중국산임을 입증해야 한다는 요구를 전달받았다. 해당 규정은 공식 문서로 공개되지는 않았다고 로이터는 전했다. 이번 조치는 중국이 해외 기술 의존도를 낮추기 위해 내놓은 가장 강력한 정책 중 하나로 평가된다. 미국이 2023년 기술 수출 통제를 강화해 인공지능(AI) 칩과 반도체 장비 대중국 판매를 제한한 이후 중국의 기술 자립 정책은 더욱 속도를 내왔다. 미국의 수출 제한이 최첨단 장비 일부의 대중국 판매를 차단한 데 그쳤다면, 이번 50% 규정은 미국·일본·한국·유럽산 장비를 여전히 구매할 수 있는 분야에서도 중국 업체들이 자국 공급업체를 우선 선택하도록 압박하는 효과를 내고 있다는 게 관계자들의 설명이다. 중국 최대 파운드리 업체인 SMIC 등은 미국산 장비를 선호하는 경향이 있었지만, 최근에는 선택지가 줄어들면서 자국 업체와의 협력이 불가피해졌다는 평가가 나온다. 다만 중국 내 장비가 아직 충분히 확보되지 않은 첨단 공정 라인에는 적용 기준이 완화되는 등 예외가 인정된다고 로이터는 전했다. 한 관계자는 로이터에 “당국은 50%보다 훨씬 높은 수준을 선호한다”며 “궁극적으로는 공장이 100% 국산 장비를 쓰도록 하는 것이 목표”라고 말했다. 중국 공업정보화부는 로이터의 논평 요청에 응답하지 않았다. 관계자들은 해당 조치가 공개되지 않았다는 이유로 익명 보도를 요구했다. 정국 정부 완전한 자급자족형 반도체 공급망을 구축을 목표로 하고 있다. 공개된 조달 데이터에 따르면, 국유(또는 국가 연계) 기관들은 올해 국산 노광 장비 및 부품에 대해 총 421건 주문을 발주했으며, 금액은 약 8억 5천만 위안(약 1천752억원)이다. 이는 중국 내 국산 장비 수요가 급증하고 있음을 보여주는 지표로 평가된다. 식각 등 일부 분야에서 이미 성과를 내고 있다. 식각은 실리콘 웨이퍼에서 재료를 제거해 미세한 트랜지스터 패턴을 형성하는 핵심 공정이다. 중국 최대 반도체 장비 그룹인 나우라는 SMIC 7나노미터(nm) 생산 라인에서 식각 장비를 시험 중인 것으로 전해졌다. 또 다른 관계자는 “정부가 파운드리들에 최소 50% 국산 장비 사용을 요구하면서 나우라 식각 기술 개발 속도가 빨라다”며 “이 규정이 업체들로 하여금 성능 개선을 서두르게 하는 요인”이고 말했다. 첨단 식각 장비는 그간 램리서치, 도쿄일렉트론 등 해외 기업들이 중국에서 주로 공급해 왔으나, 최근에는 나우라와 경쟁사 AMEC 등으로 일부 대체되고 있다는 게 관계자들의 전언이다. 중국의 장비 자립 진전이 빨라지면서 글로벌 공급업체들의 중국 시장 입지가 줄어들 수 있다는 우려도 커지고 있다. 애널리스트들은 중국이 포토레지스트 제거 및 세정 장비 분야에서 자급률을 약 50% 수준까지 끌어올렸다고 추정한다. 이 시장은 과거 일본 기업들이 주도했으나, 현재는 나우라가 중국 내 선도 업체로 평가받고 있다는 설명이다.

2025.12.31 09:23류은주 기자

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