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'검사 장비'통합검색 결과 입니다. (6건)

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반도체 핵심 EUV 장비, 도입 검사소요기간 34일→9일로 단축

반도체 핵심 공정에 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비 국내 도입 절차가 기존 34일에서 9일로 최대 25일 빨라진다. 산업통상부는 2일 국무회의에서 글로벌 안전기준을 충족한 반도체 제조장비에 대해 고압가스 일반제조시설이 아닌 '특정설비' 기준을 적용하도록 하는 것을 주요 내용으로 하는 '고압가스 안전관리법 시행령' 일부개정안이 의결됐다고 밝혔다. 이번 제도 개선으로 EUV 장비 도입 기간은 장비당 최대 25일 단축되고, 해외 공인검사기관 내압·기밀 검사비용도 장비당 약 5억원 절감될 전망이다. 산업부는 삼성전자·SK하이닉스 등 국내 주요 반도체 기업이 첨단 제조장비를 적기에 도입하고 신속하게 가동함으로써 반도체 산업 초격차 유지에 기여할 것으로 기대했다. 반도체 공정에 필수적인 EUV 장비는 내부에 고압가스 배관·장치가 포함돼 현행 법령상 '고압가스 제조설비'로 분류돼 왔다. EUV 장비를 설치할 때마다 기술검토와 검사를 받아야 하고 이 과정에서 장비 도입이 지연되고 기업 부담이 발생한다는 현장의 의견이 제기돼 왔다. 산업부는 제도 개선을 위해 반도체 업계와 여러 차례 협의를 거쳐 의견을 수렴하고, 글로벌 안전기준과 국내 안전관리 체계 간 정합성을 면밀하게 검토해 EUV 장비를 기존 '고압가스 제조시설'에서 '특정설비'로 전환해 안전성을 관리하는 개정안을 마련했다. 산업부는 시행령과 함께 시행규칙 개정도 함께 추진, EUV 장비 규제 합리화 외에도 물과 세탁세제 대신 이산화탄소를 사용해 세탁하는 친환경 '액화 이산화탄소 세정설비'를 국내 최초 상용화할 수 있도록 맞춤형 검사기준을 신설하는 등 규제를 합리화하고, '위험성이 낮은 고압가스시설'의 안전관리자 선임기준을 현실에 맞게 정비하는 내용도 포함했다. 개정안은 다음 주 중 공포 직후 시행된다. 김정관 산업부 장관은 “이번 법령 개정은 안전 확보와 첨단산업 경쟁력 강화를 동시에 달성하기 위한 대표적인 규제혁신 사례”라며 “앞으로도 글로벌 기준에 부합하는 합리적 안전관리 체계를 통해 첨단산업 투자를 적극 지원해 나가겠다”고 밝혔다.

2026.06.02 14:07주문정 기자

펨트론, 1분기 매출 53% 증가...AIDC 수혜

반도체 검사장비 업체 펨트론이 1분기 매출 169억원, 영업손실 10억원을 기록했다고 지난 15일 밝혔다. 전년 동기보다 매출은 53% 뛰었다. 같은 기간 영업손실은 20억원 줄었다. 펨트론 주력품은 ▲반도체 패키지·웨이퍼 검사장비 ▲표면실장기술(SMT) 검사장비 등이다. 1분기 매출 신장에 대해 펨트론은 "인공지능(AI) 전방 산업 인프라 투자 수요와 3D 검사장비 공급 확대 영향"이라고 설명했다. 이어 "올해 다양한 글로벌 고객사에 3D 검사장비 공급을 기대하고, 수주잔고도 빠르게 늘고 있다"며 "AI 데이터센터(AIDC) 수요에 힘입어 올해 역대 실적을 전망한다"고 덧붙였다. 펨트론은 "AI 인프라 투자 확대로 고성능 반도체와 기판 수요가 늘었고, 생산수율 확보를 위한 3D 정밀검사 기술 중요성이 커지고 있다"고 밝혔다. 펨트론은 지난해 SK하이닉스에 고대역폭메모리(HBM) 검사장비를 공급했고, 글로벌파운드리에서 수주했다. 최근에는 미국 마이크론의 소캠2 검사장비 품질 테스트 통과, 추가 수주 등이 확정됐다. 펨트론은 "글로벌 전자제품제조서비스(EMS) 업체로부터 AIDC 서버용 3D 검사장비를 수주했다"며 "3D 검사 고객과 제품군이 다양해졌다"고 밝혔다. 이어 "현재 3D 반도체 검사장비, 반도체 패키징용 X-레이(AXI) 검사장비 등 라인업을 확대하고 있다"며 "최근에는 새로운 종합반도체 고객을 통해 영업 채널과 제품군을 확대하고 있고, 플립칩(FC)-볼그리드어레이(BGA) 부문도 사업을 확대하고 있다"고 덧붙였다.

2026.05.18 08:00이기종 기자

반도체 미세 발열 잡는 열영상 현미경 기술, 에이치비솔루션에 이전

한국기초과학지원연구원(KBSI)은 에이치비솔루션(대표 이재원)에 '열영상 현미경 기술'을 이전하는 협약을 체결했다고 24일 밝혔다. 이번 협약은 KBSI가 개발한 첨단 분석기술을 사업화하기 위해 이루어졌다. 대상은 산업 현장에서 활용 가능한 고정밀 불량분석 장비다. 기술 개발은 전략장비개발연구단(단장 장기수) 연구팀이 진행했다. 이 기술은 '고분해능열영상 현미경 기술'로, 전자소자 미세 발열을 비접촉 방식으로 측정·영상화하는 첨단 분석 기술이다. 기존 적외선 현미경 기반 불량분석 장비는 전량 수입에 의존하고 있다. 수 마이크로미터 수준의 공간분해능 한계로 미세 결함의 정확한 위치 특정에 제약이 있는 반면, 이 기술은 이를 뛰어넘는 정밀도로 불량 위치를 특정할 수 있다. 전략장비개발연구단은 이 기술을 반도체 불량검사 관련 대기업과 협력 연구를 통해 실용화 가능성을 검증했다. 에이치비솔루션은 국내 MI(머신비전) 및 잉크젯, 도포기술 강소기업이다. 업력이 26년을 넘는다. 디스플레이에서 인정받은 기술력을 토대로 반도체 분야에서도 경쟁력을 확보했다. 에이치비솔루션은 “이번 기술이전을 통해 열영상 현미경 기술을 기반으로 반도체 분야뿐만 아니라 다양한 산업분야에 폭넓게 결함검사 및 불량분석 장비의 상용화를 추진할 계획”이라고 밝혔다. 장기수 단장은 "차세대 열영상 현미경 기술로 발열 기반 반도체 미세소자 결함을 정밀하게 검출 및 분석할 수 있어 수율 개선에 직접적으로 기여할 수 있다”며, “차세대 AI 반도체 등 고집적 소자 신뢰성 확보를 위한 핵심 분석 기술로 활용될 것"으로 기대했다. 양성광 원장은 “반도체 산업은 발열 제어와 수율 향상이 핵심 과제이며, 이번 기술은 이를 정밀하게 분석할 수 있는 세계 최고 수준의 성능을 갖춘 기술”이라며, “기술이전을 통한 사업화로 국내 반도체 산업 경쟁력 강화에 기여할 것으로 기대한다”고 밝혔다.

2026.04.24 10:09박희범 기자

탑런에이피솔루션, LG디스플레이서 첫 양산 검사장비 수주

전장 및 디스플레이용 첨단 부품 제조 전문기업 탑런토탈솔루션의 계열사 탑런에이피솔루션이 LG디스플레이의 공식 장비 협력사로 벤더 등록을 완료 이후 첫 양산 검사장비 수주에 성공했다고 2일 밝혔다. 탑런에이피솔루션은 이번 수주를 통해 LG디스플레이 주요 양산 라인에 공식 공급업체로 진입하는 데 성공했다. 이는 회사가 LG디스플레이와의 협력사 등록 이후 거둔 첫 성과로 단순한 거래 개시 이상의 의미를 보유하고 있다. 공급 품목에는 OLED 모듈 조립 라인에 투입되는 광학 보상 장비와 EEPROM 검사 장비, 패널을 안전하게 고정·이송하는 캐리어 지그(Jig)까지 포함돼 있다. EEPROM 검사 장비는 OLED 모듈의 EEPROM 칩에 저장된 패턴 데이터를 불러내 정상 구동 여부를 점검하는 장비다. 해당 장비들은 디스플레이 모듈의 점등·패턴 검사, 광학 특성 보정, 조립 안정성 확보에 이르기까지 양산 품질을 좌우하는 핵심 공정 장치들이다. 이를 통해 탑런에이피솔루션은 향후 라인 증설이나 모델 교체 과정에서 반복적인 수주가 가능한 안정적 매출 구조를 마련했으며 동시에 디스플레이 검사장비 분야에서 시장 내 입지를 본격적으로 확대하는 출발점을 확보했다. 그 중에서도 이번 수주의 특징은 탑런에이피솔루션이 자체 개발한 스마트폰용 패턴 제너레이터를 검사장비에 처음 적용했다는 점이다. 패턴 제너레이터는 디스플레이 패널이 정상적으로 작동하는지 확인하기 위해 다양한 색상과 영상을 화면에 띄우는 구동 신호 발생 장치로 불량 화소나 색상·휘도 편차를 조기에 잡아내는 데 핵심적인 역할을 하고 있다. 이번 적용을 통해 탑런에이피솔루션은 고객사의 실제 양산 라인에서 장치 성능을 직접 검증받을 수 있으며 이를 통해 독자 기술력을 공식적으로 입증하고 향후 사업 안정성을 높일 수 있는 기반을 마련했다. 또한 이번 수주에는 이번 수주에는 캐리어 지그 공급 계약도 포함됐다. Carrier Jig는 디스플레이 모듈 조립·검사 라인에서 얇은 패널을 안전하게 고정·이송하는 핵심 장치로 그동안 단일 업체가 독점해 온 시장이었다. 이번 신규 진입으로 LG디스플레이는 가격 경쟁력과 안정성을 동시에 갖춘 공급망을 확보하게 됐다. 탑런에이피솔루션 역시 새로운 매출 성장의 발판을 마련했으며 이번 스마트폰용 캐리어 지그 진입을 계기로 향후 다양한 아이템의 자동화 라인 우선 공급업체로 선정될 가능성까지 확보했다. 이번 수주를 통해 탑런 그룹은 부품·모듈에 더해 검사장비와 캐리어지그까지 사업 영역을 확장하며 전후공정 밸류체인을 한층 강화하게 됐다. 이를 기반으로 고객사에는 부품 공급부터 최종 검사까지 이어지는 통합 대응 체계를 제공할 수 있게 됐으며 이는 경쟁사와의 차별화를 강화하고 글로벌 고객사와의 협력 확대에도 기여할 것으로 기대되고 있다. 박영근 탑런토탈솔루션 대표이사는 “이번 성과는 단순한 신규 수주가 아니라, 탑런 그룹이 디스플레이 장비 밸류체인을 본격적으로 확장하는 전환점”이라며 “계열사 간 기술 시너지를 극대화해 글로벌 디스플레이 장비 시장에서 입지를 강화해 나가겠다”고 밝혔다.

2025.10.02 09:44장경윤 기자

팸텍, 'KPCAshow 2025'서 차세대 AI반도체 검사 솔루션 공개

자동화 솔루션 전문기업 팸텍은 오는 3일부터 5일까지 인천 송도 컨벤시아에서 열리는 'KPCAshow 2025'에 참가해 차세대 반도체 검사 기술을 선보인다고 1일 밝혔다. KPCAshow 2025는 한국PCB&반도체패키징산업협회가 주최하는 국내 최대 규모의 PCB 및 반도체 소재·장비 전문 전시회로, 글로벌 반도체 및 전자 부품 산업 관계자들이 한자리에 모이는 행사다. 팸텍은 이번 전시회에서 펠티어(Peltier) 기술 기반 차세대 반도체 검사 솔루션을 중심으로 다양한 라인업을 공개한다. 이번에 선보이는 펠티어 기술기반 차세대 반도체 검사 솔루션은 팸텍이 최근 개발을 완료한 제품으로, 고성능 메모리 반도체와 AP칩 등 AI용 반도체 발열 문제를 해결하기 위한 차세대 신뢰성 검사 시스템이다. 테스트 대상에 직접 접촉해 온도를 인가하는 방식으로 기존 대류방식 대비 속도·정확도·균일도를 크게 향상 시켰으며, 이와 더불어 팸텍만의 기술로 내구성까지 강화해 고객사의 신뢰성 확보와 공정 효율성 개선에 기여할 것으로 기대된다. 함께 공개되는 CIS용 검사 시스템과 DToF 센서 검사 시스템은 반도체 칩 기반 전자 부품을 대상으로 한 초고속·고정밀 검사 솔루션으로 검사 효율성·신뢰성·생산성 극대에 초점을 맞췄다. 팸텍 관계자는 "이번 KPCAshow2025 전시회를 통해 차세대 반도체 검사 솔루션을 소개 하고, 국내외 고객사와 협력 기회를 확대할 것”이라며 “앞으로도 혁신적인 자동화·검사 시스템 개발을 통해 반도체 산업의 경쟁력을 강화하겠다”고 밝혔다.

2025.09.01 10:39장경윤 기자

엠오티, 이너아이와 이차전지 검사 장비 개발 맞손

글로벌 이차전지 조립 설비 전문 기업 엠오티가 이너아이와 이차전지 전극과 용접부 전수 검사 장비 개발에 나선다. 엠오티는 지난 10일 경남 양산 본사에서 다자간 업무협약(MOU)을 체결했다고 11일 밝혔다. 협약식에는 마점래 엠오티 대표와 이너아이 김승곤 대표 등이 참석했다. 이너아이는 비파괴검사 장비 전문 기업으로 이차전지 셀, 부품, 배터리 모듈 제조사의 품질검사를 위한 비파괴검사 장비를 개발 및 공급하고 있다. 비파괴검사(NDT)는 제품이나 구조물의 내부 결함, 균열, 용접 상태 등을 손상 없이 검사하는 기술이다. 이너아이는 국내 이차전지 검사장비 제조업체 및 배터리 셀 제조업체에 비파괴검사 장비를 공급한 레퍼런스를 보유하고 있다. 이번 상호 협력을 통해 이차전지 제조사의 품질검사를 위한 비파괴검사 시스템의 개발 및 공급을 확대할 계획이다. 협약의 주요 내용은 ▲기술경쟁력 강화를 위한 공동개발 이슈 발굴 및 실행 ▲제품 개발 및 판매다. 현재 이차전지 검사 공정은 비전과 엑스레이 방식이 주를 이루며 제한적인 샘플링 검사에 의존하는 한계가 있다. 그러나 이너아이가 자체 개발한 전자기유도형 센서를 활용한 자동화 검사 장비가 상용화될 경우 전극 용접 품질을 자동으로 전수 검사할 수 있어 결함 방지 및 생산성 향상에 기여할 수 있다고 회사 측은 설명했다. 특히 이번 협력은 비전 검사 솔루션과 전자기유도형 검사 솔루션을 결합해 수요처의 다양한 용접 품질 요구 사항을 충족시키는 것은 물론 기존 시장 점유율 확대와 전·후방 시장 확장도 가능할 것으로 관측했다. 엠오티 관계자는 “이번 MOU 체결은 양사의 전략적 협력을 공고히 하며 개발 협력의 신호탄이 될 것”이라며 “엠오티가 보유한 세계 최고 수준의 자동화 설비 설계·제작 능력과 이너아이의 독보적인 지능형 검사 장비 제조 기술을 융합해 배터리 제조사의 수율 향상과 제조 원가 절감에 기여할 것”이라고 설명했다. 한편 엠오티는 지난 2월 11일 잠정실적 공시를 통해 지난해 연결기준 역대 최대 실적을 발표한 바 있다.

2025.03.11 08:46류은주 기자