반도체·디스플레이 실측기반 온실가스 배출계수 114건 개발

국내 산학연 컨소시엄이 반도체·디스플레이 산업현장 특성을 반영한 온실가스 배출계수와 감축계수 114건을 개발, 국제 데이터베이스(DB)에 등재됐다. 한국환경산업기술원(원장 남광우)은 기후에너지환경부의 '신기후체제대응 환경기술개발사업' 지원으로 국내 반도체·디스플레이 생산현장 특성을 반영한 배출계수 80건과 감축계수 34건 등 총 114건의 온실가스 계수를 개발, '기후변화에 관한 정부 간 협의체(IPCC)' 배출계수 데이터베이스(EFDB)에 국내 최초로 등재했다고 16일 밝혔다. 연구에는 KTR(한국화학융합시험연구원·주관기관)·세종대학교 산학협력단·에코에이블·이엘 등이 참여했다. 환경산업기술원 관계자는 “그동안 반도체·디스플레이 산업의 온실가스 배출량 산정에는 국제적으로 제시된 기본계수를 주로 활용해 왔으나 공정과 저감시설 종류·운전조건에 따라 실제 배출·저감 특성이 달라 국내 생산 현장 특성을 충분히 반영하는 데 한계가 있었다”고 설명했다. 연구진은 2022년부터 국내 반도체·디스플레이 생산 현장에서 공정가스가 제조과정에서 분해·소모되는 비율, 공정 과정에서 새롭게 발생하는 부생가스 비율, 저감시설을 거치면서 제거되는 비율 등을 측정하고 관련 데이터를 축적했다. 이를 토대로 국내 산업의 실제 공정과 설비 운전조건을 반영한 배출·감축계수를 개발했다. 개발된 감축계수 34건은 연소식 및 플라스마식 배출가스 제거장치(스크러버) 가스 종류와 운전조건에 따른 저감효율을 반영했다. 배출계수 80건은 반도체 식각공정에서 사용하는 불소계가스(CF4, C4F6, C4F8)의 공정파괴율과 부생가스 발생비율 등을 반영했다. 개발한 114건의 계수는 지난 7월 IPCC EFDB에 등재돼 각국 온실가스 배출량 관리 이해관계자가 검색·참고할 수 있는 자료로 제공되고 있다. 특히 개발 계수를 적용한 온실가스 배출량 산정값이 기존 보다 약 26% 낮게 나타났다. 국제 기본계수와 국내 산업 현장 간 배출 특성 차이가 있음을 보여줌과 동시에 국내 여건을 반영한 배출계수 필요성을 뒷받침한다. 이번 연구에서 확보한 배출계수와 온실가스 측정기준은 국가 온실가스 배출량 산정체계 고도화와 국가 고유계수 개발 등에 활용될 수 있을 것으로 기대된다. 남광우 환경산업기술원장은 “이번 연구는 국내 생산현장의 데이터를 바탕으로 온실가스 배출량을 더욱 정확하게 산정할 수 있는 기반을 마련했다는 데 의미가 있다”며 “연구성과가 산업계의 온실가스 관리와 저감기술 개선에 활용되고, 나아가 국가 온실가스 배출량 산정의 정확성을 높일 수 있도록 성과 확산을 지원하겠다”고 밝혔다.